具有低寄生电感的LIDARVCSEL激光器模块的制作方法

本发明涉及特别用于光探测和测距(即，lidar)应用的光模块lm，特别是激光模块，其在vcsel激光器阵列中具有vcsel激光器，这里vcsel激光器是指垂直腔面发射激光器。

背景技术：

1、wo 2021 140 160a1公开了一种用于汽车应用的光模块和lidar设备。wo 2021140 160a1的技术启示描述了一种具有电容器阵列和可阵列排布的驱动器ic的激光模块，驱动器ic驱动lidar系统的多个激光器。在此提供的激光器在光模块的激光二极管的晶体的前侧发射光。因此，在此提出的激光器的辐射面积与垂直方向上的pn阻挡层厚度处于同一数量级，这导致激光束在垂直方向上变宽，并导致各种其他缺点。

2、然而，在现有技术中，vcsel激光器可通过vcsel激光器裸片vcsela的晶体表面(即，具有垂直于vcsel激光器裸片vcsela的上部表面的指向矢量的表面)发射光。

3、因此，期望寻找一种与wo 2021 140 160a1的技术启示等效的技术方案，该技术方案具有wo 2021 140 160a1的技术启示的优点，同时能够利用使用vcsel激光器的优点。然而，这并非易事。

4、在具有vcsel阵列的vcsel激光器裸片vcsela中，用于电连接vcsel激光器裸片vcsela的激光二极管的2×n个触点区域(接合焊盘)la0至lan和ra0至ran如今通常以最小距离ptl布置，vcsel激光器阵列裸片vcsela的激光二极管l0至ln的最小距离例如约为50μm。本文将vcsel激光器阵列裸片vcsela的激光二极管l0至ln的该最小距离ptl在下面称为激光器裸片间距ptl。激光器通常沿平行于vcsel激光器裸片vcsela的左边缘和右边缘的两条线以该激光器裸片间距布置在vcsel激光器裸片vcsela上。vcsel激光器裸片vcsela可以例如具有5mm×5mm的尺寸并且可以具有10至100个激光器，这些激光器优选地以多个由多个激光器组成的条带l1至ln的方式条从左到右带形地布置在vcsel激光器裸片vcsela上。

5、vcsel激光器裸片vcsela上的电气触点的触点区域la0至lan和ra0至ran均布置在vcsel激光器裸片vcsela的顶表面上。在提供电能时，vcsel激光器裸片vcsela的激光器条带l1至ln的激光二极管以垂直于vcsel激光器裸片vcsela的该顶表面的方式发射它们的光。

6、vcsel激光器裸片vcsela具有与顶侧相反的具有底表面的底侧。示例性vcsel激光器裸片vcsela优选地具有vcsel激光器裸片vcsela的激光器的公共阴极的公共阴极电气触点c。该阴极触点c电气地、导热地连接到电路基板pcb的公共阴极电极c。它位于vcsel激光器裸片vcsela的下表面上。在进一步的说明中，本文假设vcsel激光器裸片vcsela包括n个vcsel激光器l1至ln。

7、如在wo 2021 140 160a1中已知，这里提出的设备应包括电容器阵列cap。电容器阵列cap存储用于向vcsel激光器裸片vcsela的vcsel激光器阵列的激光器提供脉冲式能量的电能。优选地，电容器阵列cap为单片设计。单个示例性分立电容的空间要求(间距)为300μm×300μm。

8、因此，问题在于电容器阵列cap的电容器的300μm的间距与vcsel激光器裸片vcsela的vcsel激光器阵列的vcsel激光器的端子的触点区域la0至lan和ra0至ran的50μm的间距之间存在巨大差异。如wo 2021 140 160a1所述，vcsel激光器裸片vcsela通常也大于在侧面上进行辐射的多个激光器。

9、关于控制器，本文参考了wo 2021 140 160a1的技术启示，在国家的法律允许的范围内(例如，在此提出的技术启示是在要求本文的优先权的情况下申请保护的)，其技术内容是本文提出的公开内容的整个部分。

10、左侧电容器阵列capl的电容器lc0至lcn和右侧电容器阵列capr的电容器rc0至rcn必须与vcsel激光器阵列裸片vcsela的vcsel激光器l0至ln的端子的触点区域la0至lan和ra0至ran间隔较短的距离。这样做的目的是使接合线bdl0至bdln和bdr0至bdrn的长度最小化。在此，接合线bdl0至bdln和bdr0至bdrn将vcsel激光器裸片vcsela的vcsel激光器阵列的vcsel激光器的端子的触点区域la0至lan和ra0至ran连接到电容器阵列cap的电容器lc0至lcn和rc0至rcn的相应触点区域lca0至lcan和rca0至rcan。优选地，电容器阵列cap的背侧具有表示公共电气节点的背侧触点，该公共电气节点优选地表示电容器阵列cap的所有电容lc0至lcn和rc0至rcn的另一电气触点。这允许通过激光器l0至ln优选地根据wo2021 140 160a1的技术启示产生短光脉冲。

11、图1以平面图示意性和简化地示出了根据现有技术的用于具有vcsel激光器裸片vcsela的lidar系统的激光模块的现有技术设备的布置。

12、vcsel激光器裸片vcsela利用激光器l1至ln的公共阴极触点电气地、导导热地安装在vcsel激光器裸片vcsela的所有vcsel激光器l1至ln共有的阴极电极c上。

13、vcsel激光器裸片vcsela的每个vcsel激光器l1至ln在左侧通过其左侧触点la0至lan中的一者经由相对较长的相应接合线bdl0至bdln连接到相应左侧电容器lc0至lcn的相应顶侧触点lca0至lcan。vcsel激光器裸片vcsela的每个vcsel激光器l1至ln在右侧通过其右触点ra0至ran中的一者经由相对较长的相应接合线bdr0至bdrn连接到相应右侧电容器rc0至rcn的相应顶侧触点rca0至rcan。每个电容器lc0至lcn和rc0至rcn的底侧触点作为这些电容器lc0至lcn和rc0至rcn的第二电气触点电气地、导热地连接到公共接地面gndp。因此，电容器lc0至lcn和rc0至rcn的底侧触点电气互连，以形成星点。该星点是接地节点gnd。

14、驱动电路ic也放置在接地面gndp上。驱动电路包括放电晶体管tdis。驱动电路ic的放电晶体管tdis具有第一端子gndt，第一端子gndt通过接合线bdgnd以向下接合的方式电连接到接地面gndp。驱动电路ic的放电晶体管tdis具有第二端子ct，第二端子ct通过接合线bdct电连接到阴极电极c，并因此电连接到vcsel激光器阵列裸片vcsela的激光器l0至ln的阴极触点。通常，驱动电路还包括充电电路。为了更好的概览，该充电电路在示例性的图1中未示出。本文在此示例性地参考了已提及的wo 2021 140 160a1的技术启示。

15、在图1中，在放电晶体管tdis导通的情况下，每两个电容器(即，一个左侧电容器和一个右侧电容器)分别为vcsel激光器阵列裸片vcsela的激光器条带提供电能。由在放电晶体管tdis闭合时这些电容器lc0至lcn和rc0至rcn的充电状态决定激光器l0至ln中的哪个激光器发射光。

16、在图1的示例中，两个电容器中的左侧电容器总是从左侧为与该电容器关联的激光器提供电能，并且两个电容器中的另一右侧电容器总是从右侧为与该电容器关联的激光器提供电能。因此，缩短了开启激光器的时间。

17、图2示出了示例性电路。充电电路supl为该电路提供充电电流。充电电路supl优选为驱动电路ic的一部分。驱动电路ic的控制器闭合充电开关s0至sn中的其激光器l0至ln接下来要发射光脉冲的充电开关。同时，驱动电路ic的放电开关tdis通常是断开的。然后，驱动电路ic的充电电路supl利用充电电路supl的充电电流给电容器c0至cn中的连接到充电电路supl的电容器充电。在此，参考图1，电容器c0至cn是并联电路，这些并联电路分别由左侧电容器lc0至lcn中的一个左侧电容器和右侧电容器rc0至rcn中的一个右侧电容器组成。这些电容器c0至cn分别用第一端子连接到公共接地点gnd。图1的相应电容器lc0至lcn和rc0至rcn的相应触点区域rca0至rcan和lca0至lcan形成相应电容器c0至cn的相应第二端子和图2的相应节点a0至an。为了使电容器c0至cn放电，如果充电开关s0至sn在电容器充电之后仍应闭合，则驱动电路ic的控制器优选地断开充电开关s0至sn。如果驱动电路ic的控制器现在闭合放电晶体管tdis，则电容器c0至cn中的电容器通过放电开关tdis和接合线bdl0至bdln和bdr0至bdrn的接合线电感lbd0至lbdn并通过激光器l0至ln中的相应激光器以及通过阴极触点c放电。因此，激光器l0至ln中的相应激光器发射激光辐射。

18、用于从充电电路supl对电容器c0至cn中的相应关联的电容器进行相应预充电的相应充电开关s0至sn之间的电流传输经由相应的相对较长的接合线进行，但这些接合线的电感与相应电容器的放电的时间动态特性无关。这本身不是问题，因为在此出现的寄生电感在脉冲产生期间能够良好地将充电电路supl与电容器c0至cn中的正在放电的相应电容器动态隔离。在这种情况下，本文再次参考了wo 2021 140 160a1的技术启示。

19、问题是vcsel激光器l0至ln的端子la0至lan和ra0至ran与电容器的顶侧触点te之间的接合线bdl0至bdln和bdr0和bdrn相对较长，并具有不同的排线路径，这导致激光模块由于其非常高的电感而性能严重劣化，因此与wo 2021 140 160a1的技术启示相矛盾。另一个问题是左侧电容器lc0至lcn可以很好地布置在第一左侧电容器阵列capl上，并且右侧电容器rc0至rcn可以很好地布置在第二右侧电容器阵列capr上。

技术实现思路

1、任务

2、因此，该提案的目的是提供一种解决方案，该解决方案不具有现有技术的上述缺点并且具有其他优点。

3、任务的解决方案

4、现在提出的解决方案是在vcsel激光器阵列裸片vcsela下方放置公共电容器阵列cap。因此，本文提出了一种具有电容器阵列cap的vcsel激光器阵列裸片vcsela的堆叠式裸片组件。

5、如上所述，通常，vcsel激光器阵列裸片vcsela优选地在其表面上具有两排端子la0至lan。vcsel激光器阵列裸片vcsela的vcsel激光器l0至ln可以以垂直于vcsel激光器阵列裸片vcsela的该表面的方式发射它们的光脉冲。

6、优选地，左排端子la0至lan中的左侧端子和右排端子ra0至ran中的相关右侧端子通常分别与vcsel激光器阵列裸片vcsela的vcsel激光器l0至ln中的与它们关联的恰好一个相应vcsel激光器的恰好一个相应内顶侧触点接触。优选地，vcsel激光器l0至ln具有公共阴极形式的公共下部触点，该公共下部触点电连接到公共阴极电极c，并优选地热连接到该公共阴极电极c。

7、在电容器阵列cap上，例如在第三金属化层中以电隔离的方式施加金属化表面，该金属化表面电气地、导热地连接到公共阴极电极c，并且与电容器阵列cap的其他导电部分电分离(隔离)，但没有热分离(隔离)。

8、所提出的电容器阵列cap还具有左排的左侧端子lca0至lcan和右排的右侧端子rca0到racn。现在，电容器阵列cap的左侧端子lca0至lcan和右侧端子rca0至racn通过电容器阵列cap的表面上的第二金属化层中的电线电连接。电容器阵列cap的第二金属化层中的用于电容器阵列cap的这些驱动线位于电容器阵列cap的第三金属化层的下方。电容器阵列cap的电容器c0至cn的实际顶部电极te被制造在电容器阵列cap的位于电容器阵列cap的第二和第三金属化层下方的第一金属化层中。现在，每个激光器l0至ln仅分别需要恰好一个电容器c0至cn。现在，不再需要分成左侧电容器和右侧电容器。通孔互连部选择性地将电容器阵列cap的驱动线连接到电容器阵列cap的电容器c0至cn的位于底侧的顶部电极te。根据提案，电容器阵列cap的驱动线icl之间的距离icla取决于vcsel激光器阵列裸片vcsela中的激光器l0至ln之间的最小距离ptl。优选地，电容器阵列cap的驱动线icl之间的距离icla等于vcsel激光器阵列裸片vcsela中的激光器l0至ln之间的最小距离ptl。优选地，电容器c0至cn在电容器阵列cap中按照行和列分组地布置。现在，电容器阵列cap的多个驱动线位于电容器阵列cap的一行相邻电容器的上方。电容器阵列cap的一行中的每个电容器通过通孔互连部电连接到电容器阵列cap中的恰好一条驱动线。因此，在电容器阵列cap的一行中，电容器阵列cap中的彼此相邻的电容器的数量恰好与以与它们的顶部触点电隔离的方式跨过它们的驱动线的数量相同。在此，这些驱动线中的恰好一条驱动线总是通过通孔互连部与相关电容器电连接。因此，首先，电容器阵列cap中的电容器c0至cn之间的间距可以与vcsel激光器阵列裸片vcsela的激光器l0至ln之间的间距一致。其次，这允许将来自电容器c0至cn的激光电流idis从左侧和右侧对称地供应到激光器l0至ln中。由于电容器阵列cap的主要部分位于vcsel激光器阵列裸片vcsela下方，因此也减少了安装空间。由于电容器放电电流idis的电流方向不同，无论是平面图还是侧视图，这些放电电流的远磁场在更远的距离上基本上都得到了补偿，这提高了emc特性并降低了电感。因此，改善了激光器l0至ln的发射激光器的发射激光脉冲的边缘陡度。

9、短的接合线bdl0至bdln将电容器阵列cap的左侧端子lca0至lcan连接到vcsel激光器阵列裸片vcsela的左侧端子la0至lan。

10、短的接合线bdr0至bdrn将电容器阵列cap的右侧端子rca0至rcan连接到vcsel激光器阵列裸片vcsela的右侧端子ra0至ran。

11、在电容器阵列cap上，一个阴极板被金属化为公共阴极电极c的形式，以作为vcsel激光器阵列裸片vcsela的vcsel激光器l0至ln的公共阴极。公共阴极电极c用作从驱动电路ic的放电晶体管tdis的第二端子ct到公共阴极电极c并因此到vcsel激光器阵列裸片vcsela的激光器l0至ln的公共阴极的接合线bdct的接合球的接合区域。

12、该公共阴极电极c通过多个接合线bdct连接到驱动电路ic的放电晶体管tdis的相应第二端子ct。该第二端子是wo 2021 140 160a1的技术启示中的开关晶体管tdis的公共星点。

13、在一变形例中，驱动电路ic的驱动线连接到印刷电路板pcb的连接点。其他电路部件以及电气和电子部件优选地位于印刷电路板上。wo2021 140 160a1的充电电路未在附图中示出。这些充电电路位于驱动电路ic中，或优选地位于印刷电路板pcb上的其它电路中。优选地，电容器阵列cap的电容器c0至cn经由pcb上的其它接合线和可能的线路连接到它们各自的位于pcb上或驱动电路ic中的充电电路。这些其它接合线通常相对较长并且未在附图中示出。

14、此外，本文提出的技术启示建议将电容器阵列cap的背面触点连接到导热和导电的接地面gndp(例如，由铝或铜制成)，而不是导热性差的印刷电路板pcb。镀金的铜将是这种接地面gndp的理想材料。例如，它可以是散热器hs(散热片)。

15、例如，印刷电路板pcb也可以附接在散热器hs上。接合线优选地在驱动电路ic和印刷电路板pcb之间建立电连接。

16、电容器阵列cap优选地包括三个金属层。在电容器阵列cap的第一金属层m1中制造有电容器阵列cap的电容器c0至cn的顶部电极(顶部电极te)。绝缘体ins将第一金属层m1与第二金属层m2电分离。在第二金属层m2中制造有电容器阵列cap的电容器c0至cn的连接线icl。穿过绝缘体ins的通孔互连部dk将第二金属层m2中的连接线icl电连接到第一金属层m1中的顶部电极te。电容器阵列cap还包括基板sub。该基板sub优选地包括电容器阵列cap的电容器c0至cn的电介质。电容器阵列cap的底侧由基板触点subc形成。第一金属层m1中的顶部电极te和基板触点subc之间的区域分别形成电容器阵列cap的电容c0至cn的垂直电容。因此，这种电容分别是第一金属层m1和电容器阵列cap的所有电容器c0至cn所共有的位于电容器阵列cap的底侧上的基板触点subc之间的垂直电容。该基板触点subc优选地电连接到接地面gndp。因此，在背面上，电容器阵列cap的所有电容c0至cn短接。相应电容的相应顶部电极te分别被制造在第一金属层m1中。横向连接线icl被制造在第二金属层m2中。vcsel激光器阵列裸片vcsela的公共阴极电极c可以优选地被制造在第三金属层m3中。

17、主变形例a

18、因此，本文说明了一种第一光模块lm，其包括载体、电容器阵列cap和vcsel激光器阵列裸片vcsela。载体具有顶表面。优选地，载体在其顶表面上具有导电的、可电接触的接地面gndp。vcsel激光器阵列裸片vcsela优选地具有顶侧和底侧。优选地，vcsel激光器阵列裸片vcsela包括n个激光器l0至ln，其中，n是大于0的正整数。优选地，vcsel激光器阵列裸片vcsela在其表面上具有左排的n个可电接触的左侧触点区域la0至lan。优选地，vcsel激光器阵列裸片vcsela在其表面上具有右排的n个可电接触的右侧触点区域ra0至ran。优选地，vcsel激光器阵列裸片vcsela的激光器l0至ln中的每个激光器的阳极电连接到左排的n个触点区域la0至lan中的相应左侧触点区域，并且电连接到右排的n个触点区域la0至lan中的相应右侧触点区域。优选地，vcsel激光器阵列裸片vcsela在其底侧具有公共阴极触点。优选地，vcsel激光器阵列裸片vcsela的激光器l0至ln中的每个激光器的阴极电连接到vcsel激光器阵列裸片vcsela的底侧上的该公共阴极触点。通常，vcsel激光器阵列裸片vcsela的激光器l0至ln彼此之间具有第一距离ptl。电容器阵列cap具有顶侧和底侧。电容器阵列cap通常包括一个或多个电容器，优选地包括n个电容器c0至cn。电容器阵列cap包括基板sub。电容器阵列cap在其底侧上具有可电接触的基板触点(subc)。电容器阵列cap包括n个电容器c0至cn，其中，n为大于0的正整数。电容器阵列cap在其顶侧上，通常在第三金属层m3中具有阴极电极c。优选地，电容器阵列cap在其表面上具有左排的可电接触的左侧触点区域lc0至lcn。优选地，电容器阵列cap在其表面上具有右排的可电接触的右侧触点区域lc0至lcn。对于n个电容器c0至cn中的每者，电容器阵列cap通常分别具有恰好一个上侧顶部电极te。优选地，每个顶部电极te与电容器阵列cap的基本上由顶部电极te的范围确定的区域中的基板sub的材料一起并且与基板电极subc一起形成电容器阵列cap的电容器c0至cn中的与顶部电极关联的相应电容器。上侧顶部电极te优选地被制造在基板sub上的第一金属层m1中。电容器阵列cap的n个顶部电极以及因此n个电容器c0至cn优选地在电容器阵列cap的基板sub中以j行k列布置，其中，j*k＝m，且j和k为正整数。行电容器阵列cap中的各行电容器c0至cn具有第二距离ptc。优选地，电容器阵列cap通常在第二金属层m2中具有m个连接线icl，其中，m为正整数。连接线icl优选地以平行于电容器c0至cn的行的方式对齐。连接线icl彼此之间的第三距离ptcc通常基本上等于第二距离ptc乘以列数k并除以电容器c0至cn的数量n。第一距离ptl优选地相对于第三距离ptcc的偏差不超过25％、更好地不超过10％、更好地不超过5％、更好地不超过2％，且/或更好地不超过1％。第三金属层m3通常位于基板sub的表面上的第二金属层m2和第一金属层m1的上方。第二金属层m2通常位于基板sub的表面上的第一金属层m1的上方，并且通常位于第三金属层m3的下方。第三金属层m3优选地通过绝缘体ins与第二金属层m2和第一金属层m1以及基板sub电隔离。第二金属层m2优选地通过绝缘体ins或所述绝缘体ins与第一金属层m1和基板sub电隔离。优选地，m个连接线icl中的每条连接线icl经由相应的通孔互连部dk至少将电容器c0至cn中的与该连接线icl关联的电容器的相应顶部电极te电连接到电容器阵列cap的左排的可电接触的左侧触点区域lc0至lcn中的相应左侧触点区域并且电连接到电容器阵列cap的右排的可电接触的右侧触点区域rc0至rcn中的相应右侧触点区域。优选地，vcsel激光器阵列裸片vcsela的左排的n个左侧触点区域la0至lan中的每个左侧触点区域电连接到电容器阵列cap的左排的可电接触的左侧触点区域lc0至lcn的相应左侧触点区域。优选地，vcsel激光器阵列裸片vcsela的右排的n个右侧触点区域ra0至ran中的每个右侧触点区域电连接到电容器阵列cap的右排的可电接触的右侧触点区域rc0至rcn中的相应右侧触点区域。vcsel激光器阵列裸片vcsela的公共阴极触点优选地放置在电容器阵列cap的阴极电极c上，并且电连接到电容器阵列cap的阴极电极c。电容器阵列cap的基板触点subc优选地放置在接地面gndp上并电连接到该接地面gndp，并且优选地机械固定地连接到该接地面gndp。

19、在第一子变形例中，光模块lm还包括驱动电路ic。驱动电路ic通常具有顶侧和底侧。驱动电路ic优选地包括放电晶体管tdis。放电晶体管tdis优选地具有放电晶体管tdis的第一端子gndt。放电晶体管tdis优选地具有放电晶体管tdis的第二端子ct。放电晶体管tdis通常具有控制端子。根据控制端子的电气状态，放电晶体管tdis可以将其第一端子gndt与其第二端子ct电隔离，或者可以将其第一端子gndt电连接到其第二端子ct。放电晶体管tdis的第一端子gndt优选地电连接到接地面gndp。放电晶体管tdis的第二端子ct优选地电连接到阴极电极c。驱动电路ic的底侧优选地附接到载体的表面。

20、在作为第一子变形例的子变形例的第二子变形例中，当放电晶体管tdis关断时，驱动电路可以通过充电电路supl利用充电电流向电容器阵列cap的电容器c0至cn充电。

21、在作为第二子变形例的子变形例的第三子变形例中，驱动电路ic的设备部件和/或附接在载体上或作为载体的一部分的其它电路可以驱动放电晶体管tdis的控制端子，使得放电晶体管tdis通过vcsel激光器阵列裸片vcsela的与电容器阵列cap的这些电容器c0至cn关联的相应激光器l0至ln利用相应激光器特定放电电流idis使电容器阵列cap的这些电容器c0至cn放电。在此，然后，vcsel激光器阵列裸片vcsela的流过放电电流idis的激光器l0至ln以垂直于vcsel激光器阵列裸片vcsela的表面的方式发射光。

22、在作为前一子变形例的子变形例的第四子变形例中，载体包括印刷电路板pcb和/或散热器hs。

23、主变形例b(倒装芯片组件)

24、因此，本文说明了一种第一光模块lm，其包括载体、电容器阵列cap和vcsel激光器阵列裸片vcsela。载体具有顶表面。优选地，载体在其顶表面上具有导电的、可电接触的接地面gndp。vcsel激光器阵列裸片vcsela优选地具有顶侧和底侧。优选地，vcsel激光器阵列裸片vcsela包括n个激光器l0至ln，其中，n是大于0的正整数。优选地，vcsel激光器阵列裸片vcsela在其表面上具有左排的n个可电接触的左侧触点区域la0至lan。优选地，vcsel激光器阵列裸片vcsela在其表面上具有右排的n个可电接触的右侧触点区域ra0至ran。优选地，vcsel激光器阵列裸片vcsela的激光器l0至ln中的每个激光器的阳极电连接到左排的n个触点区域la0至lan中的相应左侧触点区域并且电连接到右排的n个触点区域la0至lan中的相应右侧触点区域。优选地，vcsel激光器阵列裸片vcsela在其底侧上具有公共阴极触点。优选地，vcsel激光器阵列裸片vcsela的激光器l0至ln中的每个激光器的阴极电连接到vcsel激光器阵列裸片vcsela的底侧上的该公共阴极触点。通常，vcsel激光器阵列裸片vcsela的激光器l0至ln彼此之间具有第一距离ptl。电容器阵列cap具有顶侧和底侧。电容器阵列cap通常包括一个或多个电容器，优选地包括n个电容器c0至cn。电容器阵列cap包括基板sub。电容器阵列cap在其底侧上具有可电接触的基板触点subc。电容器阵列cap包括n个电容器c0至cn，其中，n为大于0的正整数。优选地，电容器阵列cap在其表面上具有左排的可电接触的左侧触点区域lc0至lcn。优选地，电容器阵列cap在其表面上具有右排的可电接触的右侧触点区域lc0至lcn。针对n个电容器c0至cn中的每者，电容器阵列cap通常具有恰好一个上侧顶部电极te。优选地，每个顶部电极te与电容器阵列cap的基本上由顶部电极te的范围确定的区域中的基板sub的材料一起并且与基板电极subc一起形成电容器阵列cap的电容器c0至cn中的与该顶部电极关联的相应电容器。上侧顶部电极te优选地被制造在基板sub上的第一金属层m1中。电容器阵列cap的n个顶部电极以及因此n个电容器c0至cn优选地在电容器阵列cap的基板sub中以j行k列布置，其中，j*k＝m，且j和k为正整数。行电容器阵列cap中的各行电容器c0至cn具有第二距离ptc。优选地，电容器阵列cap通常在第二金属层m2中具有m个连接线icl，其中，m为正整数。连接线icl优选地以平行于电容器c0至cn的行的方式对齐。连接线icl彼此之间的第三距离ptcc通常基本上等于第二距离ptc乘以列数k并除以电容器c0至cn的数量n。第一距离ptl优选地相对于第三距离ptcc的偏差不超过25％、更好地不超过10％、更好地不超过5％、更好地不超过2％、且/或更好地不超过1％。第二金属层m2通常位于基板sub的表面上的第一金属层m1的上方。第二金属层m2优选地通过绝缘体ins或所述绝缘体ins与第一金属层m1和基板sub电隔离。优选地，m个连接线icl中的每个连接线icl经由相应的通孔互连部dk将电容器c0至cn中的与该连接线icl相关的电容器的至少一个相应顶部电极te电连接到电容器阵列cap的左排的可电接触的左侧触点区域lc0至lcn中的相应左侧触点区域，并且电连接到电容器阵列cap的右排的可电接触的右侧触点区域rc0至rcn中的相应右侧触点区域。

25、优选地，vcsel激光器阵列裸片vcsela的左排的n个左侧触点区域la0至lan中的每个左侧触点区域电连接到电容器阵列cap的左排的可电接触的左侧触点区域lc0至lcn中的相应左侧触点区域。优选地，vcsel激光器阵列裸片vcsela的右排的n个右侧触点区域ra0至ran中的每个右侧触点区域经由焊球sb电气地、机械固定地连接到电容器阵列cap的右排的可电接触的右侧触点区域rc0至rcn中的相应右侧触点区域。vcsel激光器阵列裸片vcsela的公共阴极触点优选地放置在电容器阵列cap的阴极电极c上，并且经由焊球sb电气地、机械固定地连接到电容器阵列cap的阴极电极c。vcsel激光器阵列裸片vcsela的公共阴极触点形成阴极电极c。电容器阵列cap的基板触点subc优选地放置在接地面gndp上并电连接到该接地面gndp，并且优选地机械固定地连接到该接地面gndp。

26、在第一子变形例中，光模块lm还包括驱动电路ic。驱动电路ic通常具有顶侧和底侧。驱动电路ic优选地包括放电晶体管tdis。放电晶体管tdis优选地具有放电晶体管tdis的第一端子gndt。放电晶体管tdis优选地具有放电晶体管tdis的第二端子ct。放电晶体管tdis通常具有控制端子。根据控制端子的电气状态，放电晶体管tdis可以将其第一端子gndt与其第二端子ct电隔离，或者可以将其第一端子gndt电连接到其第二端子ct。放电晶体管tdis的第一端子gndt优选地电连接到接地面gndp。放电晶体管tdis的第二端子ct优选地电连接到阴极电极c。驱动电路ic的底侧优选地附接在载体的表面上。

27、在作为第一子变形例的子变形例的第二子变形例中，当放电晶体管tdis关断时，驱动电路可以通过充电电路supl利用充电电流为电容器阵列cap的电容器c0至cn充电。

28、在作为第二子变形例的子变形例的第三子变形例中，驱动电路ic的设备部件和/或附接在载体上或作为载体的一部分的其它电路可以驱动放电晶体管tdis的控制端子，使得放电晶体管tdis通过vcsel激光器阵列裸片vcsela的与电容器阵列cap的电容器c0至cn关联的相应激光器l0至ln利用相应激光器特定放电电流idis使电容器阵列cap的这些电容器c0至cn放电。在此，然后，vcsel激光器阵列裸片vcsela的流过放电电流idis的激光器l0至ln以垂直于vcsel激光器阵列裸片vcsela表面的方式发射光。

29、在作为前一子变形例的子变形例的第四子变形例中，载体包括印刷电路板pcb和/或散热器hs。

30、优点

31、因此，这种设备的特点在于它提供了非常小的电感，同时具有高安装密度和结构的紧凑性。此外，反向的放电电流idis减小了电磁干扰辐射，这进一步降低了电感。另一优点是减少安装空间。然而，优点不限于此。