器件剥离辅助装置、显示器件与载体基板剥离的方法与流程

本发明涉及显示器件制造，特别是涉及一种器件剥离辅助装置、显示器件与载体基板剥离的方法。

背景技术：

1、柔性显示器件包括电子纸、柔性液晶显示器件和柔性有机电致发光显示器件等，因其可折叠、可挠曲、轻薄、方便携带、视角广等特点，正成为显示技术的研究热点。

2、目前，柔性显示器件的生产工艺主要是以硬质片材(如玻璃片)为载体基板，在该载体基板上制备柔性显示器件的各个功能层，制备完成后，再将柔性显示器件从载体基板上剥离下来。该工艺不影响柔性显示器件的制作精度，且与传统的tft-lcd的生产工艺相仿，不必做太多的调整，有利于短期内量产应用。

3、柔性显示器件与载体基板的剥离工艺主要有激光剥离工艺(laser lift-off，llo)和机械剥离工艺(mechanical lift-off，mlo)。激光剥离工艺是利用激光作用在器件衬底与载体基板的界面处，破坏器件衬底与载体基板的结合力，从而进行分离。机械剥离工艺是利用特殊离型层与器件衬底和载体基板的结合力不同，通过将边缘结合力强的部分切割去除，从而进行分离。

4、如图1所示，采用激光剥离工艺剥离柔性显示器件时，将待剥离的器件10放置在真空平台20上，真空平台20上设有吸附孔21，以吸附固定待剥离的器件。激光的焦平面30对准显示器件11与载体基板12之间的界面后进行灼烧，再通过上方的吸附装置将载体基板吸附拉起，实现分离。然而，对于大尺寸柔性显示器件，尺寸越大则器件的内应力越大，基板边缘翘曲严重。在分离过程中，对于中间平坦区域，激光能够聚焦于显示器件11与载体基板12之间的界面，可以正常分离。而对于边缘翘曲的区域，激光不能聚焦于显示器件11与载体基板12的界面，可能聚焦于显示器件11的发光层、薄膜封装层以及保护膜层，导致显示器件11受损，且无法与载体基板12剥离。

技术实现思路

1、基于此，有必要提供一种器件剥离辅助装置、显示器件与载体基板剥离的方法，以解决激光不能聚焦于显示器件与载体基板的界面的问题。

2、本发明的其中一个目的是提供一种器件剥离辅助装置，方案如下：

3、一种器件剥离辅助装置，包括：

4、固定平台，用于固定放置待剥离器件；以及

5、升降吸附机构，数量有多个，多个所述升降吸附机构围绕所述固定平台设置，所述升降吸附机构包括升降部件以及吸附部件，所述吸附部件设置在所述升降部件上，所述升降部件用于带动所述吸附部件上升或下降。

6、在其中一个实施例中，所述器件剥离辅助装置具有多组所述升降吸附机构，各组的多个所述升降吸附机构围绕所述固定平台设置，多组所述升降吸附机构层层嵌套，当所述升降部件带动所述吸附部件上升时，位于外层的所述升降吸附机构的上升高度高于位于内层的所述升降吸附机构的上升高度。

7、在其中一个实施例中，所述器件剥离辅助装置还包括基座，所述基座设有中部凹槽以及外围凹槽，所述外围凹槽围绕所述中部凹槽设置，所述固定平台设置在所述中部凹槽中，所述升降部件和所述吸附部件设置在所述外围凹槽中；当所述升降部件带动所述吸附部件上升时，所述吸附部件能够伸出于所述外围凹槽外，当所述升降部件带动所述吸附部件下降时，所述吸附部件能够收容于所述外围凹槽中。

8、在其中一个实施例中，所述升降部件包括驱动电机以及竖杆，所述驱动电机连接于所述竖杆以用于驱动所述竖杆上升或下降，所述吸附部件连接于所述竖杆的上端。

9、在其中一个实施例中，所述固定平台上分布有真空吸附孔，用于吸附固定所述待剥离器件。

10、本发明的其中一个目的是提供一种显示器件与载体基板剥离的方法，方案如下：

11、一种显示器件与载体基板剥离的方法，使用上述任一实施例所述的器件剥离辅助装置，所述方法包括以下步骤：

12、取待剥离器件，所述待剥离器件包括载体基板以及设置在所述载体基板上的显示器件，将所述待剥离器件固定放置在所述固定平台上，使所述显示器件位于所述载体基板和所述固定平台之间；

13、使所述升降部件带动所述吸附部件上升以吸附所述载体基板的翘曲的端部；

14、使所述升降部件带动所述吸附部件下降，以使所述载体基板的端部下降；

15、对所述载体基板和所述显示器件之间的界面进行分离处理。

16、在其中一个实施例中，所述分离处理是利用激光进行灼烧。

17、在其中一个实施例中，在所述分离处理之后，所述方法还包括以下步骤：

18、使所述升降部件带动所述吸附部件上升，以抬高所述载体基板的端部，并使所述吸附部件停止吸附；

19、通过拾取装置拾取所述载体基板，以使所述载体基板和所述显示器件分离。

20、在其中一个实施例中，所述升降吸附机构抬高所述载体基板的端部至所述端部与水平面的夹角为3°～5°。

21、在其中一个实施例中，所述显示器件的衬底包括第一聚合物层、无机连接层和第二聚合物层，所述第一聚合物层与所述载体基板连接，所述无机连接层设置在所述第一聚合物层和所述第二聚合物层之间。

22、与传统方案相比，上述器件剥离辅助装置具有以下有益效果：

23、上述器件剥离辅助装置可应用于显示器件剥离载体基板的工作中。工作时，将待剥离器件放置在固定平台上，使显示器件位于载体基板和固定平台之间。使升降部件带动吸附部件上升以吸附载体基板的翘曲的端部，再使升降部件带动吸附部件下降，以使载体基板的端部下降。通过控制吸附部件下降的距离，使载体基板的端部不再发生翘曲，载体基板平坦化，此时载体基板和显示器件的界面基本在一个平面上，如此，便于对载体基板和显示器件的界面进行分离处理。例如采用激光剥离工艺对待剥离器件进行处理，使激光的焦平面与载体基板和显示器件的界面对齐，灼烧该界面以破坏显示器件和载体基板之间的键合力，避免显示器件受损、无法剥离的情况。

技术特征：

1.一种器件剥离辅助装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的器件剥离辅助装置，其特征在于，所述器件剥离辅助装置具有多组所述升降吸附机构，各组的多个所述升降吸附机构围绕所述固定平台设置，多组所述升降吸附机构层层嵌套，当所述升降部件带动所述吸附部0件上升时，位于外层的所述升降吸附机构的上升高度高于位于内层的所述升降吸附机构的上升高度。

3.如权利要求1所述的器件剥离辅助装置，其特征在于，所述器件剥离辅助装置还包括基座，所述基座设有中部凹槽以及外围凹槽，所述外围凹槽围绕所述中部凹槽设置，所述固定平台设置在所述中部凹槽中，所述升降部件和所述5吸附部件设置在所述外围凹槽中；

4.如权利要求1所述的器件剥离辅助装置，其特征在于，所述升降部件包括0驱动电机以及竖杆，所述驱动电机连接于所述竖杆以用于驱动所述竖杆上升或下降，所述吸附部件连接于所述竖杆的上端。

5.如权利要求1～4中任一项所述的器件剥离辅助装置，其特征在于，所述固定平台上分布有真空吸附孔，用于吸附固定所述待剥离器件。

6.一种显示器件与载体基板剥离的方法，其特征在于，使用权利要求1～5中任一项所述的器件剥离辅助装置，所述方法包括以下步骤：

7.如权利要求6所述的显示器件与载体基板剥离的方法，其特征在于，所述分离处理是利用激光进行灼烧。

8.如权利要求6所述的显示器件与载体基板剥离的方法，其特征在于，在所述分离处理之后，所述方法还包括以下步骤：

9.如权利要求8所述的显示器件与载体基板剥离的方法，其特征在于，所述升降吸附机构抬高所述载体基板的端部至所述端部与水平面的夹角为3°～5°。

10.如权利要求6～9中任一项所述的显示器件与载体基板剥离的方法，其特征在于，所述显示器件的衬底包括第一聚合物层、无机连接层和第二聚合物层，所述第一聚合物层与所述载体基板连接，所述无机连接层设置在所述第一聚合物层和所述第二聚合物层之间。

技术总结
本发明涉及一种器件剥离辅助装置、显示器件与载体基板剥离的方法。该器件剥离辅助装置包括固定平台以及升降吸附机构，升降吸附机构的数量有多个，多个升降吸附机构围绕固定平台设置，升降吸附机构包括升降部件以及吸附部件，吸附部件设置在升降部件上，升降部件用于带动吸附部件上升或下降。工作时，将待剥离器件放置在固定平台上，使显示器件位于载体基板和固定平台之间。使升降部件带动吸附部件上升以吸附载体基板的端部，再使升降部件带动吸附部件下降，以使载体基板的端部下降。通过控制吸附部件下降的距离，使载体基板的端部不再发生翘曲，此时载体基板和显示器件的界面基本在一个平面上，便于对载体基板和显示器件的界面进行分离处理。

技术研发人员：高卓,付东,庄锦勇,王磊
受保护的技术使用者：广东聚华印刷显示技术有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/12