一种蚀刻设备的制作方法

1.本实用新型涉及蚀刻领域，特别涉及一种蚀刻设备。


背景技术：

2.可折叠手机的盖板玻璃需要用到极薄的ultra thin glass(简称为utg，该材料解决了当前的盖板材料cpi存在的问题)，ultra thin glass类产品要求精密且均匀的玻璃厚度和表面品质，玻璃厚度需保证在0.1mm以下。现在市面上制造薄玻璃使用的装置设备，是先将玻璃基板固定在篮具，将篮具只按照进行方向的左右移动进行蚀刻。
3.这时由于玻璃基板的厚度较厚，当玻璃蚀刻量增多时，由从上往下流动的溶液和因蚀刻溶液的喷射压力偏差造成的各区域蚀刻条件不同，最终导致厚度偏差增高、表面品质低下等缺点。因此，需要制定出均匀蚀刻玻璃的蚀刻喷淋装置方案，才能够有效提升蚀刻良率及产能。


技术实现要素：

4.针对现有技术中存在的问题，提供了一种蚀刻设备，能够确保玻璃基板每个角落的蚀刻均匀性，有效提升蚀刻良率及产能。
5.本实用新型采用的技术方案如下：一种蚀刻设备，包括：蚀刻仓、设置于蚀刻仓内的圆筒管道、多个玻璃基板固定组件以及多个防酸喷头；多个玻璃基板固定组件环绕分布设置在圆筒管道外表面，所述玻璃基板固定组件由防酸支架、防酸管以及防酸夹具组成，所述防酸管一端固定安装在圆筒管道外表面，另一端与防酸支架活动连接，防酸夹具设置在防酸支架上，用于将玻璃基板固定在防酸支架上；所述多个防酸喷头均匀分布设置在蚀刻仓内壁与圆筒管道外表面，用于喷淋蚀刻液。
6.进一步的，所述防酸支架通过防酸转轴实现与防酸管的活动连接。
7.进一步的，所述防酸转轴通过驱动电机控制实现无角度限制的转动，驱动电机通过防酸管内部通道实现线路互连。
8.进一步的，相邻的防酸喷头之间间隔为10cm，每个防酸喷头的喷淋范围覆盖该防酸喷头与相邻防酸喷头之间的间隔区域。
9.进一步的，所述防酸喷头为喷雾类喷头。
10.进一步的，所述防酸支架、防酸管、防酸转轴均采用不锈钢制成。
11.进一步的，所述防酸夹具采用聚四氟乙烯制成。
12.进一步的，所述蚀刻仓底部设有排液孔，并通过防酸管道连接至外部。
13.与现有技术相比，采用上述技术方案的有益效果为：本实用新型提出的蚀刻设备在蚀刻时，待蚀刻玻璃基板通过不锈钢防酸支架转动从而让蚀刻液均匀喷淋，蚀刻完成的玻璃基板具有高品质及高平整度；喷雾状的喷头能够从减少因常规蚀刻设备雨滴状喷淋造成蚀刻液浪费，节省成本、资源。
附图说明
14.图1为本实用新型提出的蚀刻设备俯视图。
15.图2为本实用新型提出的蚀刻设备侧视图。
16.附图标记：1-蚀刻仓，2-圆筒管道，3-防酸管，4-防酸支架，5-防酸夹具，6-防酸转轴，7-防酸喷头，8-玻璃基板。
具体实施方式
17.下面详细描述本申请的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的模块或具有相同或类似功能的模块。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本申请，而不能理解为对本申请的限制。相反，本申请的实施例包括落入所附加权利要求书的精神和内涵范围内的所有变化、修改和等同物。
18.如图1、图2所示，本实施例提出了一种蚀刻设备，能够有效改善现有技术中玻璃基板表面蚀刻不均匀的情况，其具体包括：蚀刻仓1、设置于蚀刻仓内的圆筒管道2、多个玻璃基板固定组件以及多个防酸喷头7；多个玻璃基板固定组件环绕分布设置在圆筒管道2外表面，所述多个防酸喷头7均匀分布设置在蚀刻仓1内壁与圆筒管道2外表面，用于喷淋蚀刻液。在蚀刻时，可同时将多张待蚀刻的玻璃基板8固定在玻璃基板固定组件上，由外部控制设备运行，蚀刻液从防酸喷头7中喷淋至玻璃基板8表面进行蚀刻。在本实施例中，蚀刻仓1为圆筒状蚀刻仓，圆筒管道2直立放在圆筒蚀刻仓内中心位置；所述蚀刻仓1底部设有排液孔，并通过防酸管道连接至外部，用于排除蚀刻液。
19.具体的，玻璃基板固定组件由防酸支架4、防酸管3以及防酸夹具5组成，所述防酸管3一端固定安装在圆筒管道2外表面，另一端与防酸支架4活动连接，防酸夹具5设置在防酸支架4上，用于将玻璃基板8固定在防酸支架4上；由于防酸支架4与防酸管3活动连接，能够使得在蚀刻时，固定在防酸支架4上的玻璃基板8自由转动，从而让蚀刻液均匀喷淋在玻璃基板8表面。
20.在本实施例中，玻璃基板固定组件环绕固定于圆筒管道上，同时，设置在圆通管道上的防酸喷头安装高度与玻璃基板固定组件相同，并且环绕分布在圆筒管道上。
21.进一步的，防酸夹具5设置在防酸支架4两边，玻璃基板8通过防酸夹具5固定在防酸支架4上。
22.在本实施例中，防酸支架4通过防酸转轴6实现与防酸管3的活动连接，其中，防酸转轴6通过驱动电机控制实现无角度限制的转动，驱动电机通过防酸管3内部通道与外部线路互连，实现驱动电机的控制。
23.为了保证蚀刻效果以及避免浪费，本实施例中的防酸喷头7直径尺寸为2-3cm，相邻的防酸喷头之间间隔为10cm，相邻防酸喷头之间的间隔区域正好是喷淋液体的喷洒范围，喷洒范围不重叠不造成浪费，且喷洒均匀。并且，防酸喷头7采用喷雾类喷头，能够实现液体喷淋效果接近雾状。
24.需要注意的是，在本实施例中，各部件之间的连接部位均进行防酸处理，避免因蚀刻液造成部件损坏。
25.具体的，防酸支架4、防酸管3及防酸转轴6均采用不锈钢制成。而防酸夹具5采用聚
四氟乙烯制成，该材料为一种抗酸抗碱的人工合成高分子材料。
26.在蚀刻设备运行时，可通过防酸转轴6控制防酸支架4转动从而让蚀刻液均匀喷淋在防酸支架4上的玻璃基板8表面，使得蚀刻的玻璃基板8表面具有高品质及高平整度。
27.本实施例中，圆筒状蚀刻仓壁上及内置圆筒管道壁上布满防酸喷头8，并且各个防酸喷头之间间隔10cm，蚀刻液可通过防酸喷头均匀喷淋接近雾状，从而减少因常规蚀刻设备雨滴状喷淋造成蚀刻液浪费，节省成本、资源。
28.需要说明的是，在本实用新型实施例的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介间接连接。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义；实施例中的附图用以对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
29.尽管上面已经示出和描述了本申请的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本申请的限制，本领域的普通技术人员在本申请的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。


技术特征：
1.一种蚀刻设备，其特征在于，包括：蚀刻仓(1)、设置于蚀刻仓(1)内的圆筒管道(2)、多个玻璃基板固定组件以及多个防酸喷头(7)；多个玻璃基板固定组件环绕分布设置在圆筒管道(2)外表面，所述玻璃基板固定组件由防酸支架(4)、防酸管(3)以及防酸夹具(5)组成，所述防酸管(3)一端固定安装在圆筒管道(2)外表面，另一端与防酸支架(4)活动连接，防酸夹具(5)设置在防酸支架(4)上，用于将玻璃基板(8)固定在防酸支架(4)上；所述多个防酸喷头(7)均匀分布设置在蚀刻仓(1)内壁与圆筒管道(2)外表面，用于喷淋蚀刻液。2.根据权利要求1所述的蚀刻设备，其特征在于，所述防酸支架(4)通过防酸转轴(6)实现与防酸管(3)的活动连接。3.根据权利要求2所述的蚀刻设备，其特征在于，所述防酸转轴(6)通过驱动电机控制转动，驱动电机通过防酸管(3)内部通道实现与外部线路的互连。4.根据权利要求1或2所述的蚀刻设备，其特征在于，相邻的防酸喷头之间间隔为10cm，每个防酸喷头的喷淋范围覆盖该防酸喷头与相邻防酸喷头之间的间隔区域。5.根据权利要求4所述的蚀刻设备，其特征在于，所述防酸喷头(7)为喷雾类喷头。6.根据权利要求1所述的蚀刻设备，其特征在于，所述防酸支架(4)、防酸管(3)以及防酸转轴(6)均采用不锈钢制成。7.根据权利要求1所述的蚀刻设备，其特征在于，所述防酸夹具(5)采用聚四氟乙烯制成。8.根据权利要求1所述的蚀刻设备，其特征在于，所述蚀刻仓(1)底部设有排液孔，并通过防酸管道连接至外部。

技术总结
本实用新型提供了一种蚀刻设备，包括：蚀刻仓、设置于蚀刻仓内的圆筒管道、多个玻璃基板固定组件以及多个防酸喷头；多个玻璃基板固定组件环绕分布设置在圆筒管道外表面，所述玻璃基板固定组件由防酸支架、防酸管以及防酸夹具组成，所述防酸管一端固定安装在圆筒管道外表面，另一端与防酸支架活动连接，防酸夹具设置在防酸支架上，用于将玻璃基板固定在防酸支架上；所述多个防酸喷头均匀分布设置在蚀刻仓内壁与圆筒管道外表面，用于喷淋蚀刻液。本实用新型提出的蚀刻设备能够保证蚀刻的玻璃基板具有高品质及高平整度，并且能够减少蚀刻液的浪费，节省蚀刻成本。节省蚀刻成本。节省蚀刻成本。


技术研发人员：凌洁
受保护的技术使用者：成都拓米智能系统技术有限公司
技术研发日：2022.03.18
技术公布日：2022/8/16