一种溅射镀膜螺线管结构的制作方法

1.本实用新型涉及溅射镀膜装备技术领域，具体涉及一种溅射镀膜螺线管结构。


背景技术：

2.neg(英文全称non-evaporable getter，中文名称：非蒸散型吸气剂)溅射镀膜螺线管结构应用于neg膜的溅射镀膜，溅射镀膜螺线管结构的线圈通电后产生磁场，产生的磁场来改变电子的运动方向，束缚和延长电子的运动路径，提高了电子的电离概率和有效的利用了电子的能量，现有的溅射镀膜螺线管结构均为小型结构，无法实现大型结构，因此无法实现大型产品的镀膜。


技术实现要素：

3.针对现有技术中存在的上述问题，旨在提供一种溅射镀膜螺线管结构。
4.具体技术方案如下：
5.一种溅射镀膜螺线管结构，主要包括：底座及若干个螺线管；
6.若干所述螺线管依次轴向连接，其中一个所述螺线管设置在所述底座上，每个所述螺线管包括管本体，所述管本体的轴向两端各设置有一个连接法兰，相邻两个所述螺线管之间通过所述连接法兰进行连接，所述管本体包括从内到外依次设置的内支撑管、绝缘管与磁轭，所述绝缘管内部沿轴向方向设置有第一线圈和第二线圈，所述第一线圈与所述第二线圈的两端各自伸出所述磁轭，所述第一线圈与所述第二线圈均为空心管结构，所述第一线圈与所述第二线圈伸出所述磁轭的端部与一分水器连接，所述分水器设置在所述磁轭外侧，用于实现对所述第一线圈和所述第二线圈的冷却。
7.上述的一种溅射镀膜螺线管结构中，还具有这样的特征，所述第一线圈的第一端通过一连接件与所述第二线圈的第一端连接，所述第一线圈的第二端设置有第一引出件，所述第二线圈的第二端设置有第二引出件，所述第一引出件与所述第二引出件用于与外部电连接使得所述第一线圈和所述第二线圈通电。
8.上述的一种溅射镀膜螺线管结构中，还具有这样的特征，所述分水器包括安装架，所述安装架上设置有第一分水管和第二分水管，所述第一分水管分别与所述第一线圈的第一端、所述第二线圈的第一端相连通，所述第二分水管分别与所述第一线圈的第二端、所述第二线圈的第二端相连通。
9.上述的一种溅射镀膜螺线管结构中，还具有这样的特征，所述第一线圈缠绕设置在第一骨架上，所述第二线圈缠绕设置在第二骨架上。
10.上述的一种溅射镀膜螺线管结构中，还具有这样的特征，所述第一线圈和所述第二线圈在所述绝缘管内沿所述轴向方向对称设置，所述绝缘管与所述第一线圈、所述第二线圈、所述内支撑管、所述磁轭注塑在一起。
11.上述的一种溅射镀膜螺线管结构中，还具有这样的特征，所述连接法兰上均匀分布有若干安装孔。
12.上述的一种溅射镀膜螺线管结构中，还具有这样的特征，相邻的两所述连接法兰之间通过紧固件可拆卸连接。
13.上述的一种溅射镀膜螺线管结构中，还具有这样的特征，所述磁轭采用铁轭。
14.上述的一种溅射镀膜螺线管结构中，还具有这样的特征，所述螺线管的数量为至少两个。
15.上述技术方案的积极效果是：
16.本实用新型提供的一种溅射镀膜螺线管结构，可以实现多个螺线管的堆叠，进而实现多种长度的螺线管结构，而且镀膜口径可以设置比较大，能满足大型产品的镀膜需求。
附图说明
17.图1为本实用新型提供的溅射镀膜螺线管结构的立体结构示意图；
18.图2为本实用新型提供的溅射镀膜螺线管结构的平面结构示意图；
19.图3为图2中的溅射镀膜螺线管结构沿中心轴线的剖视结构示意图；
20.图4为图3中的溅射镀膜螺线管结构的局部结构示意图；
21.图5为本实用新型提供的单个螺线管的第一方向结构示意图；
22.图6为本实用新型提供的单个螺线管的第二方向结构示意图；
23.图7为本实用新型提供的磁轭、第一线圈与第二线圈的结构示意图；
24.图8为本实用新型提供的单个螺线管的第二方向结构示意图。
25.附图中：1、底座；2、螺线管；21、管本体；211、内支撑管；212、绝缘管；213、磁轭；22、连接法兰；221、安装孔；222、定位销孔；23、第一线圈；231、第一骨架；232、第一引出件；24、第二线圈；241、第二骨架；242、第二引出件；25、分水器；251、安装架；252、第一分水管；253、第二分水管；26、连接件；27、固定夹；28、连接块；3、紧固件；4、管路；a、第一线圈的第一端；b、第二线圈的第一端；c、第一线圈的第二端；d、第二线圈的第二端；e、插孔。
具体实施方式
26.为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下通过实施例，并结合附图，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
27.本文中为组件所编序号本身，例如“第一”、“第二”等，仅用于区分所描述的对象，不具有任何顺序或技术含义。而本技术所说“连接”、“联接”，如无特别说明，均包括直接和间接连接(联接)。在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
28.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以
是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
29.请参阅图1至图8，本实用新型公开了一种溅射镀膜螺线管结构，该溅射镀膜螺线管结构包括：底座1及若干个螺线管2；
30.若干螺线管2依次轴向连接，若干个螺线管2连接成一个比较长的管结构。可选地，螺线管2的数量为至少两个，例如，在本实施例中，螺线管2的数量为四个，最大长度可达到4米。当然，还可以为其他数量，本实施例中只是列举，不用于限制本技术。
31.每个螺线管2包括管本体21，管本体21的轴向两端各设置有一个连接法兰22，相邻两个螺线管2之间通过连接法兰22进行连接，具体地，连接法兰22上均匀分布有若干安装孔221。相邻的两连接法兰22之间通过紧固件3可拆卸连接。可选地，紧固件3为螺钉。可选地，连接法兰22上还设置有定位销孔222，两个连接法兰22之间通过定位销实现定位。
32.管本体21包括从内到外依次设置的内支撑管211、绝缘管212与磁轭213，绝缘管212内部沿轴向方向设置有第一线圈23和第二线圈24。
33.可选地，磁轭213采用铁轭，磁轭213一方面起支撑作用，另一方面能够加强磁场。
34.其中，内支撑管211主要起支撑作用。
35.可选地，在本实施例中，第一线圈23和第二线圈24在绝缘管212内沿轴向方向对称设置，绝缘管212与第一线圈23、第二线圈24、内支撑管211、磁轭213注塑在一起。因此，在生产时，可以先装第一线圈23、第二线圈24、内支撑管211、磁轭213，装好后第一线圈23、第二线圈24、内支撑管211、磁轭213之间形成环状空隙，向环状空隙内注塑入塑料溶液，固化即可。可选地，绝缘管212采用环氧树脂。
36.可选地，在本实施例中，为了实现第一线圈23和第二线圈24的支撑，第一线圈23缠绕设置在第一骨架231上，第二线圈24缠绕设置在第二骨架241上。
37.第一线圈23与第二线圈24的两端各自伸出磁轭213。具体而言，在本实施例中，第一线圈23的两端由磁轭213的一端(例如图中的上端)伸出，第二线圈24的两端由磁轭213的另一端(例如图中的下端)伸出。
38.具体地，在本实施例中，第一线圈23的第一端a通过一连接件26与第二线圈24的第一端b连接，第一线圈23的第二端c设置有第一引出件232，第二线圈24的第二端d设置有第二引出件242，第一引出件232与第二引出件242用于与外部电连接使得第一线圈23和第二线圈24通电。其中，为了实现第一线圈23和第二线圈24通电，第一线圈23、第二线圈24、连接件26、第一引出件232与第二引出件242均采用铜材质。第一引出件232与第二引出件242上各自设置有一个插孔e。
39.在本实施例中，为了实现第一线圈23、第二线圈24伸出的部分的固定与支撑，在本实施例中，在磁轭213外侧设置有若干个固定夹27。
40.进一步地，为了实现第一线圈23与第二线圈24的散热，第一线圈23与第二线圈24均为空心管结构，第一线圈23与第二线圈24伸出磁轭213的端部与一分水器25连接，分水器25设置在磁轭213外侧，用于实现对第一线圈23和第二线圈24的冷却。
41.具体地，在本实施例中，分水器25包括安装架251，安装架251上设置有第一分水管252和第二分水管253，第一分水管252分别与第一线圈23的第一端、第二线圈24的第一端通过管路4相连通，第二分水管253分别与第一线圈23的第二端、第二线圈23的第二端通过管路4相连通。
42.进一步地，可以在每个磁轭213外侧设置连接块28，用于实现螺线管2与外部结构的连接。
43.本实用新型提供的溅射镀膜螺线管结构，可以实现多个螺线管2的堆叠，进而实现多种长度的螺线管结构，而且镀膜口径可以设置比较大，能满足大型产品的镀膜需求，结构简单而且容易批量生产。
44.以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
45.以上实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。