一种硅片片篮承载装置的制作方法

1.本实用新型属于半导体材料技术领域，尤其是涉及一种硅片片篮承载装置。


背景技术：

2.随着集成电路产业的发展，硅片的尺寸不断增大，硅片产品的成本越来越高，这对硅片的产出良率要求也越来越高。目前使用的装载12英寸硅片片蓝open cassette在运输过程中或人工倒片时存在硅片之间边缘部分轻微碰撞或接触摩擦，进而影响硅片边缘品质，降低产品良率。


技术实现要素：

3.鉴于上述问题，本实用新型提供一种硅片片篮承载装置，以解决现有技术存在的以上或者其他前者问题。
4.为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种硅片片篮承载装置，包括承托底座、第一支撑部和第二支撑部，第一支撑部与第二支撑部均设于承托底座的一侧面，第一支撑部与第二支撑部沿着承托底座的第一方向依次设置，且第一支撑部与第二支撑部相对设置，对片篮底部和硅片卡槽底部进行支撑。
5.进一步的，第一支撑部包括至少一个支撑件，多个支撑件沿着承托底座的第二方向依次设置，第一方向与第二方向相交设置。
6.进一步的，支撑件的数量为两个，两个支撑件设于第二支撑部的两侧。
7.进一步的，支撑件的面向第二支撑部的一侧面倾斜设置。
8.进一步的，第二支撑部的面向支撑件的一侧面至少部分倾斜设置。
9.进一步的，支撑件的面向第二支撑部的倾斜侧面与第二支撑部的面向支撑件的一侧面的倾斜部分之间的夹角大于等于90
°
小于180
°
。
10.进一步的，支撑件的面向第二支撑部的倾斜侧面与第二支撑部的面向支撑件的一侧面的倾斜部分垂直设置。
11.进一步的，第二支撑部还包括与承托底座相垂直部分，与承托底座相垂直部分的一端与第二支撑部的倾斜部分相连接，另一端与承托底座相连接。
12.进一步的，支撑件与第二支撑部均设置有中空结构。
13.进一步的，中空结构的轴线沿着第二方向设置。
14.由于采用上述技术方案，该硅片片篮承载装置结构简单，制备方便，具有第一支撑部和第二支撑部，第一支撑部与第二支撑部均具有倾斜设置的侧边，且第一支撑部与第二支撑部相对设置，第一支撑部的倾斜侧面与第二支撑部的倾斜侧面面对面设置，第一支撑部与片篮底部接触，对片篮进行阻挡、支撑，第二支撑部与硅片卡槽底部接触，对片篮进行支撑，以使得片篮倾斜设置，放置于片篮内的硅片保持倾斜状态，以减少硅片在片篮中边缘的碰撞或摩擦造成的不良，减少了硅片在运输或人工倒片过程中因为边缘碰撞或摩擦导致的不良，提高硅片的产出良率。
附图说明
15.图1是本实用新型的一实施例的硅片片篮承载装置的结构示意图；
16.图2是本实用新型的一实施例的片篮放置于承载装置上时的状态示意图。
17.图中：
18.1、承托底座
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2、第一支撑部
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3、第二支撑部
19.4、中空结构
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20、支撑件
具体实施方式
20.下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步的说明。
21.图1示出了本实用新型一实施例的结构示意图，本实施例涉及一种硅片片篮承载装置，用于对硅片片篮进行承载，硅片片篮在该承载装置上呈倾斜状态，使得放置于片篮内的硅片呈倾斜状态，使得相邻两个硅片之间具有间隙，不接触，避免在运输过程中或人工倒片过程中硅片之间的边缘部分的轻微碰撞或接触摩擦，避免对硅片边缘品质的影响。
22.一种硅片片篮承载装置，如图1和2所示，包括承托底座1、第一支撑部2和第二支撑部3，第一支撑部2与第二支撑部3均设于承托底座1的一侧面，第一支撑部2与第二支撑部3沿着承托底座1的第一方向依次设置，且第一支撑部2与第二支撑部3相对设置，第一支撑部2对片篮底部进行支撑，第二支撑部3对硅片卡槽底部进行支撑，以使得片篮倾斜设置在承载装置上，承托底座1的设置，便于第一支撑部2和第二支撑部3的安装，第一支撑部2与第二支撑部3固定安装在承托底座1的一侧面上，第一支撑部2对片篮进行阻挡，第二支撑部3对片篮进行支撑，以使得片篮在承托装置上呈倾斜状态，进而使得位于片篮内的硅片呈倾斜状态，相邻两片硅片的边缘不接触，使得硅片在运输过程中或人工倒片过程中硅片之间的边缘不会发生碰撞或摩擦，保证硅片边缘的品质。
23.在本实施例中，以片篮上载在设备上的状态(片篮竖直放置)对片篮分别与第一支撑部2和第二支撑部3的相接触的部位进行设定，设定：第一支撑部2与片篮的相接触的位置为片篮底部，第二支撑部3与片篮的相接触的位置为硅片卡槽底部。
24.具体地，上述的承托底座1起到骨架的作用，便于第一支撑部2与第二支撑部3的安装，该承托底座1为板状结构，该承托底座1的形状可以是长方形，也可以是圆形，或者是椭圆形，或者是其他形状，根据实际需求进行选择，这里不做具体要求，在本实施例中，该承托底座1的形状优选为长方形，以便于第一支撑部2与第二支撑部3安装在承托底座1上，且第一支撑部2与第二支撑部3之间具有一定的距离，便于片篮倾斜放置在第一支撑部2与第二支撑部3之间，且片篮分别与第一支撑部2与第二支撑部3接触，第一支撑部2对片篮进行阻挡，第二支撑部3对片篮进行支撑，以保持片篮的倾斜状态。该承托底座1具有一定的长度、宽度和厚度，该长度、宽度和厚度根据实际需求进行选择，这里不做具体要求。
25.第一方向与第二方向相交设置，优选的，在本实施例中，第一方向与第二方向垂直设置，即，在本实施例中，承托底座1的长度方向为第一方向，承托底座1的宽度方向为第二方向。
26.所以，在本实施例中，第一支撑部2与第二支撑部3沿着承托底座1的长度方向依次设置，第一支撑部2与第二支撑部3分别固定设置在承托底座1的在长度方向上的两端处，第一支撑部2与片篮底部接触，第二支撑部3与硅片卡槽底部接触，以使得第一支撑部2对片篮
底部进行阻挡，第二支撑部3对硅片卡槽底部进行支撑，以使得片篮保持倾斜状态设置。
27.上述的第一支撑部2包括至少一个支撑件20，多个支撑件20沿着承托底座1的第二方向依次设置，在本实施例中，多个支撑件20沿着承托底座1的宽度方向依次设置，多个支撑件20可以是等间距设置，也可以是非等间距设置，根据实际需求进行选择设置，这里不做具体要求。多个支撑件20在设置时，多个支撑件20位于同一直线上，以便于多个支撑件20均能够与片篮底部接触，对片篮进行阻挡。
28.支撑件20的数量根据承托底座1的宽度及片篮的宽度进行选择，这里不做具体要求，在本实施例中，优选的，支撑件20的数量为两个，两个支撑件20沿着承托底座1的宽度方向设置，分别位于承托底座1的两个侧边处，两个支撑件20设于第二支撑部3的两侧，两个支撑件20与第二支撑部3构成一个类似三角形结构，以使得两个支撑件20和第二支撑部3对片篮进行阻挡和支撑时片篮能够保持稳定状态，不会产生晃动、偏移。
29.上述的支撑件20为块状结构，具有一定的高度，该支撑件20的形状可以是三角形，也可以是正方形，或者是圆形，或者是其他形状，根据实际需求进行选择，这里不做具体要求。
30.上述的第二支撑部3的数量至少为一个，多个第二支撑部3沿着承托底座1的宽度方向依次设置，且多个第二支撑部3位于同一直线上，第二支撑部3的数量根据实际需求进行选择，这里不做具体要求，在本实施例中，优选的，第二支撑部3的数量为一个。
31.该第二支撑部3为块状结构，具有一定的长度，以使得第二支撑部3与片篮接触时为面接触或线接触，以便于第二支撑部3能够稳定的对片篮进行支撑。
32.支撑件20的面向第二支撑部3的一侧面倾斜设置，以使得支撑件20与片篮的接触为面接触，由于片篮在承载装置上要保持倾斜状态，片篮底部与支撑件20接触，片篮底部呈倾斜状态，所以，支撑件20的面向第二支撑部3的一侧面倾斜设置，以便于支撑件20的该侧面与片篮底部直接接触，对片篮施加支撑力，对片篮进行支撑的同时，对片篮进行阻挡。
33.第二支撑部3的面向支撑件20的一侧面至少部分倾斜设置，以使得第二支撑部3与片篮接触时为面接触，鉴于片篮在承载装置上要保持倾斜状态，所以，第二支撑部3的面向支撑件20的一侧面的至少部分呈倾斜设置，使得该侧面的倾斜部分与硅片卡槽底部直接接触，对片篮施加支撑力。
34.两个支撑件20与第二支撑部3相对设置，两个支撑件20的倾斜设置的侧面与第二支撑部3的具有倾斜部分的侧面面对面相对设置，以使得两个支撑件20与第二支撑部3同时与片篮进行支撑，支撑件20的面向第二支撑部3的一侧面与第二支撑部3的面向支撑件20的一侧面的倾斜部分之间的夹角大于等于90
°
小于180
°
，优选的，在本实施例中，支撑件20的面向第二支撑部3的一侧面与第二支撑部3的面向支撑件20的一侧面的倾斜部分之间的夹角为90
°
，即，支撑件20的面向第二支撑部3的一侧面与第二支撑部3的面向支撑件20的一侧面的倾斜部分垂直设置，以使得支撑件20与第二支撑部3分别与片篮的接触为面接触。因此，在本实施例中，支撑件20的形状为三角形，为三角形块状结构。
35.进一步优化方案，第二支撑部3的面向支撑件20的一侧面还包括与承托底座1相垂直部分，与承托底座1相垂直部分的一端与倾斜部分相连接，另一端与承托底座1相连接，也就是，第二支撑部3的面向支撑件20的一侧面具有一垂直部分和一倾斜部分，垂直部分的设置，以控制第二支撑部3的高度和倾斜部分的倾斜角度，以使得第二支撑部3能够与片篮的
接触为面接触，同时保证片篮在承载装置上呈倾斜状态。因此，在本实施例中，第二支撑部3的形状为梯形，为梯形块状结构。
36.支撑件20与承托底座1固定连接，该固定连接方式可以是通过螺栓等连接件固定连接，或者是一体成型，或者铆接，或者是其他固定连接方式，根据实际需求进行选择，这里不做具体要求。
37.第二支撑部3与承托底座1固定连接，该固定连接方式可以是通过螺栓等连接件固定连接，或者是一体成型，或者铆接，或者是其他固定连接方式，根据实际需求进行选择，这里不做具体要求。
38.为了减轻支撑件20的重量和第二支撑部3的重量，进而减轻承载装置的整体重量，支撑件20与第二支撑部3均设置有中空结构4，设于支撑件20上的中空结构4贯穿支撑件20，设于第二支撑部3上的中空结构4贯穿第二支撑部3，即，该中空结构4为两端与外界连通的孔结构，该中空结构4的形状可以是圆形，也可以是三角形，或者是方形，或者是其他形状，根据实际需求进行选择，这里不做具体要求。在本实施例中，优选的，位于支撑件20上的中空结构4的形状为圆形，位于第二支撑部3上的中空结构4的形状为三角形。
39.在本实施例中，中空结构4的轴线沿着第二方向设置，即，中空结构4沿着承托底座1的宽度方向设置，中空结构4的轴线与承托底座1平行设置。
40.该硅片片篮承载装置在使用时，沿承托底座1的宽度方向设置两个支撑件20，两个支撑件20固定安装在承托底座1的两个侧边处，沿承托底座1的长度方向，将两个支撑件20和第二支撑部3分别固定安装在承托底座1的两侧边处，且支撑件20倾斜设置的侧面与第二支撑部3的有部分倾斜设置的侧面相对设置；在对片篮进行承托时，片篮倾斜放置在该承载装置上，且片篮底部与两个支撑件20接触，硅片卡槽底部与第二支撑部3接触，通过支撑件20对片篮底部的阻挡及第二支撑部3对硅片卡槽底部的支撑，使得片篮稳定的放置在承载装置上，且片篮呈倾斜状态，使得放置在片篮内的硅片也处于倾斜状态，使得相邻的两硅片的边缘不接触，具有间隙，避免硅片在运输过程中和人工倒片过程中造成硅片边缘的碰撞或摩擦，降低硅片的不良率。
41.由于采用上述技术方案，该硅片片篮承载装置结构简单，制备方便，具有第一支撑部和第二支撑部，第一支撑部与第二支撑部均具有倾斜设置的侧边，且第一支撑部与第二支撑部相对设置，第一支撑部的倾斜侧面与第二支撑部的倾斜侧面面对面设置，第一支撑部与片篮底部接触，对片篮进行阻挡、支撑，第二支撑部与硅片卡槽底部接触，对片篮进行支撑，以使得片篮倾斜设置，放置于片篮内的硅片保持倾斜状态，以减少硅片在片篮中边缘的碰撞或摩擦造成的不良，减少了硅片在运输或人工倒片过程中因为边缘碰撞或摩擦导致的不良，提高硅片的产出良率。
42.以上对本实用新型的实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。