调整补正系统的制作方法

1.本实用新型涉及芯片贴合技术领域，特别是指一种调整补正系统。


背景技术：

2.芯片贴合技术或基板黏合技术，为半导体产业、电子产业或触控显示产业相当重要的技术或制程。现有的贴合技术选择性通过一视觉单元，以视觉定位基板的欲黏合处，或者预先以程序设定基板的欲黏合处，并将胶水点至欲黏合处，再进行压合制程，而使两个基板相互黏合或晶粒黏合于基板。
3.然上述的黏合技术仍存在有溢胶或胶水不足的问题，因胶水点至欲黏合处的胶水量会因很多变量而产生无法定量的缺点，如胶水的密度、胶水的黏度、环境的湿度、环境的温度等。当有溢胶或胶水不足的情况发生时，于黏合制程进行时是无法及时发现，要待接续的质量检验(quality control)才能发现上述的溢胶或胶水不足，所以黏合的产品无法达到应有的质量造成成本的耗损。
4.综合上述，现有的实时回馈并于黏合制程中调整胶水量是目前业界极为重要的项目。


技术实现要素：

5.本实用新型的技术人员鉴于上述现有技术的各项缺点，提供本实用新型的调整补正系统。
6.本实用新型提供一种调整补正系统，包含有：一光学量测单元；一出胶控制单元；以及一演算单元，电性连接该光学量测单元与该出胶控制单元；其中，光学量测单元量测一胶水，并得到一第n三维胶水讯号，n为一常数，演算单元接收第n三维胶水讯号，并得出胶水的体积或重量，演算单元将胶水的体积或重量与一胶水预设数值比对，若胶水的体积或重量不符胶水预设数值，则演算单元传送一第n胶水量变更讯号给出胶控制单元，以使出胶控制单元依据第n胶水量变更讯号调整所提供的胶水量。
7.于一实施例，出胶控制单元提供胶水给一出胶单元，以使出胶单元对一第n+1基板的欲黏合处点胶。
8.于一实施例，光学量测单元为一镭射测量仪、一三角雷射测距、一光学干涉量测、一共聚焦雷射扫描显微镜、一飞秒红外激光器与一共聚焦显微镜的组成或一共轭雷射。
9.于一实施例，光学量测单元包含有至少一上视觉模块与至少一侧视觉模块，上视觉模块与侧视觉模块为一电荷耦合器件相机或一电荷耦合器件影像传感器。
10.于一实施例，所提供的胶水的体积或重量在胶水预设数值的99％至101％之间。
11.上述本实用新型的调整补正系统，是将光学量测单元、出胶控制单元与演算单元设计为一闭回路，故于每次点胶后，演算单元能够依据光学量测单元所量测的胶水的三维信息(三维胶水讯号)，而得出胶水的体积或重量。演算单元将胶水的体积或重量与一胶水预设数值进行比对，若不符胶水预设数值，则提供一胶水量变更讯号给出胶控制单元，以使
microscopy，clsm)的原理主要是利用针孔光圈(pinhole)将非聚焦面的光排除在外。共聚焦雷射扫描显微镜的技术可去除传统荧光显微镜影像中的非具焦面的光，可将样品一层一层观察，大大增加了影像的对比、分辨率以及荧光侦测讯噪比。
28.第一三维胶水讯号传送给演算单元13，演算单元13依据第一三维胶水讯号进行演算，而得出位于第一基板15的欲黏合处的胶水的体积或重量。演算单元13将演算所得的胶水的体积或重量与一胶水预设数值进行比对。若胶水的体积或重量不符合胶水预设数值，即胶水的体积或重量超过或低于一胶水预设数值时，演算单元13传送一胶水量变更讯号(为了便于阅读，以下称为第一胶水量变更讯号)给出胶控制单元12。出胶控制单元12依据第一胶水量变更讯号变更提供给出胶单元11的胶水量，以使位于基板的欲黏合处的胶水的体积或重量符合或趋近于胶水预设数值。该趋近为胶水预设数值的99％至101％之间。换句话说，所提供的胶水的体积或重量在胶水预设数值的99％至101％之间。
29.请参阅图2，其为本实用新型的第一实施例的调整补正系统的另一动作示意图。如图2所示，输送单元14输送第一基板15离开出胶单元11的下方，并将另一欲黏合的基板(为了便于阅读，以下称为第二基板16)输送至出胶单元11的下方。出胶单元11将来自出胶控制单元12的胶水点至第二基板16的欲黏合处。
30.请参阅图3，其为本实用新型的第一实施例的调整补正系统的又一动作示意图。如图3所示，光学量测单元10对第二基板的欲黏合处的胶水进行量测，并得到一三维胶水讯号(为了便于阅读，以下称为第二三维胶水讯号)。第二三维胶水讯号传送给演算单元13，演算单元13依据第二三维胶水讯号进行演算，而得出位于第二基板16的欲黏合处的胶水的体积或重量。演算单元13将演算所得的胶水的体积或重量与一胶水预设数值进行比对。若胶水的体积或重量不符合胶水默认数值，演算单元13传送一胶水量变更讯号(为了便于阅读，以下称为第二胶水量变更讯号)给出胶控制单元12。出胶控制单元12依据第二胶水量变更讯号变更提供给出胶单元11的胶水量，以使位于基板的欲黏合处的胶水的体积或重量符合或趋近于胶水预设数值。
31.请参阅图4，其为本实用新型的第二实施例的调整补正系统的动作示意图。如图4所示，调整补正系统包含有：一光学量测单元20、一出胶单元21、一出胶控制单元22、一演算单元23与一输送单元24。
32.光学量测单元20包含有至少一上视觉模块200与至少一侧视觉模块201，上视觉模块200设于输送单元24的上方，侧视觉模块201设于输送单元24的一侧。于本实施例中，上视觉模块200与侧视觉模块201可为一电荷耦合器件(charge-coupled device，ccd)相机或一ccd影像传感器。
33.出胶单元21设于输送单元24的上方2。出胶单元21可为一点胶针头。
34.出胶控制单元22耦接出胶单元21，出胶控制单元22能够控制提供给出胶单元21的胶水的体积或重量。
35.演算单元23电性耦接出胶控制单元22与光学量测单元20。
36.输送单元24将一欲黏合的基板(为了便于阅读，以下称为第三基板25)输送至出胶单元21的下方。出胶单元21对第三基板25的欲黏合处进行点胶。光学量测单元20对第三基板的欲黏合处的胶水进行影像撷取。上视觉模块200撷取位于第三基板25的欲黏合处的胶水的上方影像。侧视觉模块201撷取位于第三基板25的欲黏合处的胶水的侧面影像。上方影
像与侧面影像提供给演算单元23，演算单元23依据上方影像与侧面影像，而得到一三维胶水讯号(为了便于阅读，以下称为第三三维胶水讯号)。
37.演算单元23依据第三三维胶水讯号进行演算，而得出位于第三基板25的欲黏合处的胶水的体积或重量。演算单元23将演算所得的胶水的体积或重量与一胶水预设数值进行比对。若胶水的体积或重量不符合胶水默认数值，演算单元23传送一胶水量变更讯号(为了便于阅读，以下称为第三胶水量变更讯号)给出胶控制单元22。
38.请参阅图5，其为本实用新型的第二实施例的调整补正系统的另一动作示意图。如图5所示，输送单元24输送第三基板25离开出胶单元21的下方，并将另一基板(为了便于阅读，以下称为第四基板26)输送至出胶单元21的下方。出胶控制单元22依据第三胶水量变更讯号变更提供给出胶单元21的胶水量。出胶单元21将来自出胶控制单元22的胶水点至第四基板26的欲黏合处。
39.请参阅图6，其为本实用新型的第二实施例的调整补正系统的又一动作示意图。如图6所示，光学量测单元20对第四基板26的欲黏合处的胶水进行影像撷取。上视觉模块200撷取位于第四基板26的欲黏合处的胶水的上方影像。侧视觉模块201撷取位于第四基板26的欲黏合处的胶水的侧面影像。上方影像与侧面影像提供给演算单元23，演算单元23依据上方影像与侧面影像，而得到一三维胶水讯号(为了便于阅读，以下称为第四三维胶水讯号)。
40.演算单元23依据第四三维胶水讯号进行演算，而得出位于第四基板26的欲黏合处的胶水的体积或重量。演算单元23将演算所得的胶水的体积或重量与一胶水预设数值进行比对。若胶水的体积或重量不符合胶水默认数值，演算单元23传送一胶水量变更讯号(为了便于阅读，以下称为第四胶水量变更讯号)给出胶控制单元22。
41.出胶控制单元22依据第四胶水量变更讯号变更提供给出胶单元21的胶水量，以使位于基板的欲黏合处的胶水的体积或重量符合或趋近于胶水预设数值。
42.本实用新型的调整补正系统应用于一调整补正方法，步骤包含有：
43.步骤a、取得第n三维胶水讯号：请再参阅图1至3，输送单元14将第n基板输送至出胶单元11的下方，n为一常数。出胶单元11对第n基板的欲黏合处进行点胶。若光学量测单元10为一共聚焦雷射扫描显微镜或一飞秒红外激光器与一共聚焦显微镜的组成。光学量测单元10对第n基板的欲黏合处的胶水进行量测，并得到一第n三维胶水讯号。
44.请再参阅图3至6，若光学量测单元20为上视觉模块200与侧视觉模块201。上视觉模块200撷取第n基板的欲黏合处的胶水的上方影像。侧视觉模块201撷取位于第n基板的欲黏合处的胶水的侧面影像。上方影像与侧面影像提供给演算单元23，演算单元23依据上方影像与侧面影像，而得到一第n三维胶水讯号。
45.步骤b、取得第n胶水量变更讯号：请再参阅图1至3，演算单元13依据第n三维胶水讯号进行演算，而得出位于第n基板的欲黏合处的胶水的体积或重量，演算单元13将演算所得的胶水的体积或重量与一胶水预设数值进行比对。若胶水的体积或重量不符合胶水默认数值，演算单元13传送一第n胶水量变更讯号给出胶控制单元12。
46.步骤c、对第n+1基板进行点胶：输送单元14输送第n基板离开出胶单元11的下方，并将第n+1基板输送至出胶单元11的下方。出胶控制单元12依据第n胶水量变更讯号调整所提供的胶水量，并将胶水提供给出胶单元11。出胶单元11将来自出胶控制单元12的胶水点
至第n+1基板的欲黏合处。再回至步骤a。
47.综上所述，本实用新型的调整补正系统，是将光学量测单元、出胶控制单元与演算单元设计为一闭回路，故于每次点胶后，演算单元能够依据光学量测单元所量测的胶水的三维信息(三维胶水讯号)，而得出胶水的体积或重量。演算单元将胶水的体积或重量与一胶水预设数值进行比对，若不符胶水预设数值，则提供一胶水量变更讯号给出胶控制单元，以使出胶控制单元调整提供给出胶单元的胶水量。本实用新型通过一闭回路达到能够依据前次的胶水量的回馈，并调整本次的胶水量，借以解决溢胶或胶水不足，进而提升黏合的质量。
48.以上所述仅为举例性，用以说明本实用新型的技术内容的可行具体实施例，而非用于限制本实用新型。本实用新型所属技领域具有通常知识者基于说明书中所揭示内容的启示所为的等效置换、修改或变更，均包含于本实用新型的申请专利范围中，未脱离本实用新型的权利范畴。