一种新型衬底片承载架的制作方法

1.本实用新型是一种新型衬底片承载架，属于衬底片承载架技术领域。


背景技术：

2.半导体工艺生长设备有很多用于科研项目的研发，其工艺多种多样。外延设备所使用的衬底片尺寸也大小不同，从2英寸到12英寸都有，传统的设备只可以放置单一尺寸的衬底片，这样的单一性给科研项目的进展带来极大的不便，现在急需一种新型衬底片承载架来解决上述出现的问题。


技术实现要素：

3.针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种新型衬底片承载架，以解决上述背景技术中提出的问题，本实用新型结构合理，方便对不同尺寸衬底片进行拆装更换，大大降低了研发和生产成本，实用性强。
4.为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：一种新型衬底片承载架，包括密封法兰盘、旋转磁流体、驱动电机、传动轴杆、随动连接杆、承载底盘、两寸衬底片压盖、定位销、固定螺丝、定位组件、四寸衬底片压盖以及六寸衬底片压盖，所述密封法兰盘下端面中间位置安装有旋转磁流体，所述旋转磁流体下端面安装有驱动电机，所述驱动电机传动端连接有传动轴杆，所述传动轴杆上端套装有随动连接杆，所述随动连接杆上端面安装有承载底盘，所述承载底盘内部左侧设置有定位组件，所述承载底盘上端面安装有两寸衬底片压盖，所述两寸衬底片压盖内部左侧穿插有定位销，所述承载底盘上端面左右两侧和前后两侧均对称安装有固定螺丝，所述密封法兰盘外部放置有四寸衬底片压盖，所述密封法兰盘外部放置有六寸衬底片压盖。
5.进一步地，所述定位组件包括挡片、定位插杆、复位弹簧和随动环，所述承载底盘环形侧面左侧安装有挡片，所述承载底盘内部左侧穿插有定位插杆，所述定位插杆环形侧面右侧设置有随动环，所述承载底盘内部左侧卡装有复位弹簧，所述随动连接杆内部左侧开设有定位孔，且定位孔与定位插杆相匹配。
6.进一步地，所述挡片为可拆装结构，所述定位插杆左端面焊接有拽拉指环，所述随动环内环形侧面与定位插杆环形侧面通过焊接方式相连。
7.进一步地，所述承载底盘上端面左右两侧和前后两侧均对称开设有内螺纹孔，且内螺纹孔与固定螺丝相啮合，所述固定螺丝等规格安装有四组。
8.进一步地，所述传动轴杆内部上侧等规格安装有两组连接螺栓，所述旋转磁流体上端面设置有硅橡胶密封圈，所述密封法兰盘上端面中间位置嵌装有轴用密封挡圈，所述驱动电机通过导线与外界控制面板相连接。
9.进一步地，所述两寸衬底片压盖内部后侧开设有第一定位插孔，所述四寸衬底片压盖内部后侧开设有第二定位插孔，所述六寸衬底片压盖内部后侧开设有第三定位插孔，所述第一定位插孔、第二定位插孔和第三定位插孔均与定位销相匹配，所述两寸衬底片压
盖、四寸衬底片压盖和六寸衬底片压盖厚度和外径均相同，所述两寸衬底片压盖、四寸衬底片压盖和六寸衬底片压盖内部左右两侧和前后两侧均对称开设有安装通孔，且安装通孔与固定螺丝相匹配。
10.进一步地，所述传动轴杆、随动连接杆、承载底盘、两寸衬底片压盖、定位销、固定螺丝、四寸衬底片压盖和六寸衬底片压盖均由高纯高强石墨制成。
11.本实用新型的有益效果：本实用新型的一种新型衬底片承载架，因本实用新型添加了承载底盘、两寸衬底片压盖、定位销、固定螺丝、四寸衬底片压盖以及六寸衬底片压盖，通过根据需求把两寸衬底片压盖、四寸衬底片压盖或六寸衬底片压盖搁置在外界衬底片上端面，紧接着把定位销穿插在第一定位插孔中，以此对两寸衬底片压盖进行定位，此时再借助外界扳手分别把四组固定螺丝固定在内螺纹孔中，以此对两寸衬底片压盖、四寸衬底片压盖或六寸衬底片压盖进一步固定，而两寸衬底片压盖、四寸衬底片压盖或六寸衬底片压盖会对外界衬底片进行按压定位，避免外界衬底片在转动过程中出现位移情况，通过我们的改进，大大降低了研发和生产成本，对生产带来极大的便利。
附图说明
12.通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
13.图1为本实用新型一种新型衬底片承载架的结构示意图；
14.图2为图1中a的放大图；
15.图3为本实用新型一种新型衬底片承载架中两寸衬底片压盖的俯视图；
16.图4为本实用新型一种新型衬底片承载架中四寸衬底片压盖的俯视图；
17.图5为本实用新型一种新型衬底片承载架中六寸衬底片压盖的俯视图；
18.图中：1-密封法兰盘、2-旋转磁流体、21-硅橡胶密封圈、3-驱动电机、4-传动轴杆、41-连接螺栓、5-随动连接杆、6-承载底盘、7-两寸衬底片压盖、71-第一定位插孔、8-定位销、9-固定螺丝、10-定位组件、101-挡片、102-定位插杆、103-复位弹簧、104-随动环、11-四寸衬底片压盖、111-第二定位插孔、12-六寸衬底片压盖、121-第三定位插孔。
具体实施方式
19.为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
20.请参阅图1-图5，本实用新型提供一种技术方案：一种新型衬底片承载架，包括密封法兰盘1、旋转磁流体2、驱动电机3、传动轴杆4、随动连接杆5、承载底盘6、两寸衬底片压盖7、定位销8、固定螺丝9、定位组件10、四寸衬底片压盖11以及六寸衬底片压盖12，密封法兰盘1下端面中间位置安装有旋转磁流体2，旋转磁流体2下端面安装有驱动电机3，驱动电机3传动端连接有传动轴杆4，传动轴杆4上端套装有随动连接杆5，随动连接杆5上端面安装有承载底盘6，承载底盘6内部左侧设置有定位组件10，承载底盘6上端面安装有两寸衬底片压盖7，两寸衬底片压盖7内部左侧穿插有定位销8，承载底盘6上端面左右两侧和前后两侧均对称安装有固定螺丝9，密封法兰盘1外部放置有四寸衬底片压盖11，密封法兰盘1外部放置有六寸衬底片压盖12，该设计解决了原有衬底片承载架使用范围有限的问题。
21.定位组件10包括挡片101、定位插杆102、复位弹簧103和随动环104，承载底盘6环形侧面左侧安装有挡片101，承载底盘6内部左侧穿插有定位插杆102，定位插杆102环形侧面右侧设置有随动环104，承载底盘6内部左侧卡装有复位弹簧103，随动连接杆5内部左侧开设有定位孔，且定位孔与定位插杆102相匹配，挡片101为可拆装结构，定位插杆102左端面焊接有拽拉指环，随动环104内环形侧面与定位插杆102环形侧面通过焊接方式相连，可拆装的挡片101方便后期对定位插杆102进行拆卸维护，而拽拉指环方便工作人员对定位插杆102进行拽拉。
22.承载底盘6上端面左右两侧和前后两侧均对称开设有内螺纹孔，且内螺纹孔与固定螺丝9相啮合，固定螺丝9等规格安装有四组，内螺纹孔方便固定螺丝9啮合固定在承载底盘6上端面，以便固定螺丝9对两寸衬底片压盖7进行固定，传动轴杆4内部上侧等规格安装有两组连接螺栓41，旋转磁流体2上端面设置有硅橡胶密封圈21，密封法兰盘1上端面中间位置嵌装有轴用密封挡圈，驱动电机3通过导线与外界控制面板相连接，两组连接螺栓41方便把随动连接杆5固定在传动轴杆4上端，硅橡胶密封圈21使旋转磁流体2与密封法兰盘1之间密封性更好，而轴用密封挡圈使传动轴杆4与密封法兰盘1之间密封性更好。
23.两寸衬底片压盖7内部后侧开设有第一定位插孔71，四寸衬底片压盖11内部后侧开设有第二定位插孔111，六寸衬底片压盖12内部后侧开设有第三定位插孔121，第一定位插孔71、第二定位插孔111和第三定位插孔121均与定位销8相匹配，两寸衬底片压盖7、四寸衬底片压盖11和六寸衬底片压盖12厚度和外径均相同，两寸衬底片压盖7、四寸衬底片压盖11和六寸衬底片压盖12内部左右两侧和前后两侧均对称开设有安装通孔，且安装通孔与固定螺丝9相匹配，第一定位插孔71方便定位销8穿插在两寸衬底片压盖7内部，第二定位插孔111方便定位销8穿插在四寸衬底片压盖11内部，第三定位插孔121方便定位销8穿插在六寸衬底片压盖12内部，而安装通孔方便固定螺丝9分别对两寸衬底片压盖7、四寸衬底片压盖11或六寸衬底片压盖12进行安装固定。
24.传动轴杆4、随动连接杆5、承载底盘6、两寸衬底片压盖7、定位销8、固定螺丝9、四寸衬底片压盖11和六寸衬底片压盖12均由高纯高强石墨制成，由高纯高强石墨制成的传动轴杆4、随动连接杆5、承载底盘6、两寸衬底片压盖7、定位销8、固定螺丝9、四寸衬底片压盖11和六寸衬底片压盖12具有耐高温、耐腐蚀、抗热震、热膨胀系数小、自润滑、电阻系数小及易于机械加工等优点。
25.作为本实用新型的一个实施例：工作人员首先外界衬底片平放在承载底盘6上端面，而后根据需求把两寸衬底片压盖7、四寸衬底片压盖11或六寸衬底片压盖12搁置在外界衬底片上端面，紧接着把定位销8穿插在第一定位插孔71中，以此对两寸衬底片压盖7进行定位，此时再借助外界扳手分别把四组固定螺丝9固定在内螺纹孔中，以此对两寸衬底片压盖7、四寸衬底片压盖11或六寸衬底片压盖12进一步固定，而两寸衬底片压盖7、四寸衬底片压盖11或六寸衬底片压盖12会对外界衬底片进行按压定位，避免外界衬底片在转动过程中出现位移情况；然后通过外界控制面板启动驱动电机3，便可以使驱动电机3通电转动并带动传动轴杆4转动，使传动轴杆4带动随动连接杆5转动，而随动连接杆5会带动承载底盘6转动，进而使承载底盘6带动外界衬底片一同转动，使外界衬底片成膜均匀性更好；在承载底盘6使用过程中，复位弹簧103会对随动环104施加挤压力，以便定位插杆102紧密插装在随动连接杆5内部，避免承载底盘6在使用过程中出现松动滑脱情况；当需要把外界衬底片取
走时，工作人员先关闭驱动电机3工作，而后再借助外界扳手分别松开四组固定螺丝9并把定位销8拔出，此时便可以对两寸衬底片压盖7、四寸衬底片压盖11或六寸衬底片压盖12进行拿取拆卸，而后即可把外界衬底片取走，并且在此时，工作人员只需一只手捏住承载底盘6，另一只手对定位插杆102进行拽拉，使定位插杆102向外侧移动并与随动连接杆5分离，此时即可对承载底盘6进行单独拆卸清洗。
26.以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点，对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
27.此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。