一种具有晶圆推片结构的机械手臂的制作方法

1.本技术涉及晶圆制造技术领域，特别是涉及一种具有晶圆推片结构的机械手臂。


背景技术：

2.在晶圆制造的过程中，良率是晶圆制造厂追求的一个关键指标，良率由多种因素决定，除了工艺腔室等硬件因素以及工艺条件等因素影响外，晶圆在传输过程中还可能存在产生偏移的情况，而晶圆偏移后继续传片，容易造成晶圆发生碎裂导致晶圆损坏，影响生产效率和公司效益。
3.目前已存在用于检测晶圆盒内晶圆是否偏移的装置，但是当检测到晶圆偏移时却没有相应的设计可以不经人员直接触碰而将晶圆导正。


技术实现要素：

4.本技术的目的在于克服上述问题或者至少部分地解决或缓减解决上述问题。
5.根据本技术的一个方面，提供了一种具有晶圆推片结构的机械手臂，包括：
6.机械手臂本体，其端部具有牙叉固定座，所述牙叉固定座前端安装有牙叉；
7.两个推片结构，每一所述推片结构包括推杆支撑座和推杆，两个所述推杆支撑座分别安装于所述牙叉固定座的两侧，所述推杆安装于所述推杆支撑座的自由端上，所述自由端从所述牙叉固定座向前在所述牙叉侧面延伸。
8.可选地，所述两个推片结构对称安装在所述牙叉固定座的两侧。
9.可选地，所述推杆垂直安装于所述推杆支撑座上。
10.可选地，所述推杆的底部通过紧固件固定于所述推杆支撑座。
11.可选地，所述紧固件为固定螺丝。
12.可选地，所述推杆采用聚醚醚酮材质制成。
13.可选地，所述推杆为圆柱状结构。
14.本技术的具有晶圆推片结构的机械手臂，当晶圆于设备工艺过程中产生偏移的情况下，利用推杆往前动作，由推杆推动晶圆往前，将偏移的晶圆推到正常位置后，再进行取片的动作，这样就可以减少因晶圆偏移而导致的晶圆破损或是摆放歪斜的状况，增加晶圆传送的稳定性。
15.根据下文结合附图对本技术的具体实施例的详细描述，本领域技术人员将会更加明了本技术的上述以及其他目的、优点和特征。
附图说明
16.后文将参照附图以示例性而非限制性的方式详细描述本技术的一些具体实施例。附图中相同的附图标记标示了相同或类似的部件或部分。本领域技术人员应该理解，这些附图未必是按比例绘制的。附图中：
17.图1是根据本技术一个实施例的具有晶圆推片结构的机械手臂的结构示意图；
18.图2是图1所示具有晶圆推片结构的机械手臂的俯视图；
19.图3是图1所示具有晶圆推片结构的机械手臂在导正晶圆时的晶圆移动示意图。
20.附图标记
21.机械手臂本体-1，牙叉固定座-2，推杆支撑座-3，推杆-4，
22.固定螺丝-5，晶圆-6，偏移晶圆-6
″
，突片感测器-7，牙叉-8。
具体实施方式
23.图1是根据本技术一个实施例的具有晶圆推片结构的机械手臂的结构示意图。参见图1，该机械手臂一般性地可包括：机械手臂本体1和两个推片结构。机械手臂本体1端部具有一牙叉固定座2，牙叉8安装在牙叉固定座2的前端。每一推片结构包括推杆支撑座3和推杆4，两个推杆支撑座3分别安装于所述牙叉固定座2的两侧，所述推杆4安装于所述推杆支撑座3的自由端，该自由端从牙叉固定座2向前、在牙叉8的侧面延伸。
24.由于晶圆盒的底部结构会使得晶圆在晶圆盒内仅向一个方向，即朝向机械手臂本体1的方向偏移，而阻止其向相反的方向偏移，故本技术的机械手臂中的推杆4设置于牙叉两侧靠后的位置，当晶圆6于设备工艺过程中产生偏移的情况下，利用推杆4往前动作，由推杆4推动晶圆6往前，将偏移晶圆6
″
推到正常位置后，再进行取片的动作，这样就可以减少因晶圆6偏移而导致的晶圆6破损或是摆放歪斜的状况，增加晶圆6传送的稳定性。
25.如图1所示，本实施例中，所述推杆4垂直安装于推杆支撑座3上，其底部通过紧固件固定于所述推杆支撑座3上，紧固件可以为固定螺丝5。本实施例中，推杆4或者说推片结构左右对称地安装在牙叉固定座2上。
26.本实施例中，所述推杆4采用聚醚醚酮(peek)材质制成，其特性为耐磨耗、低发尘。并且如图1所示，本实施例中，所述推杆4为圆柱状结构，推杆4采用圆柱状的结构是为了使接触面积较小，摩擦系数较低。
27.图2是图1所示机械手臂的俯视图。参见图2，正常情况下，机械手臂不进行推片动作，牙叉8伸至晶圆盒取晶圆6的标准位置，牙叉8伸入后推杆4与晶圆6会有一定的间距，本实施例中为2mm，此时取片位置是在牙叉8的中心位置。
28.图3是图1所示机械手臂在导正晶圆6时的晶圆6移动示意图。参见图3，晶圆盒处设置有突片感测器7，其例如设置于晶圆所在的晶圆盒前方1mm位置处。突片感测器7以由下往上或由上往下的对照方式来确认晶圆6是否突出晶圆盒，相关技术为本领域成熟技术，此处不再赘述。当感测到晶圆6突出晶圆盒时，突出感测器7发出信号，由控制器控制机械手臂向前使得牙叉8超过标准取片位置，具体到本实施例则为在标准取片位置伸入量基础上再伸入2mm的距离，当机械手臂往前移动时，歪斜或偏移晶圆6
″
会碰到推杆4，此时推杆4即可将偏移晶圆6
″
导正并推至正常晶圆6的位置。所述前推动作完成后，机械手臂再退后2mm至标准取片伸入量进行取片动作，如此即可将晶圆6取片至牙叉8的中心位置，减少搬送后偏移或歪斜而产生破片，而摆放的位置更精准也可以让工艺制程良率更高。
29.在其他实施例中，也可以不借助突片感测器对晶圆是否偏移进行检测，而是直接在取片操作前加入推片操作，以此可以简化对于机械手臂的控制。
30.需要注意的是，除非另有说明，本技术使用的技术术语或者科学术语应当为本技术所属领域技术人员所理解的通常意义。
31.在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
32.此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个以上，除非另有明确具体的限定。
33.在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
34.在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
35.以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本技术揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本技术的保护范围之内。因此，本技术的保护范围应该以权利要求的保护范围为准。