工艺设备的制作方法

1.本公开涉及制造设备领域，具体而言，涉及一种工艺设备，例如为喷墨成膜设备。


背景技术：

2.随着5g的普及，智能手机普及越来越广泛，作为手机的关键部件，屏幕被越来越重视，而oled(有机发光二极管)屏幕由于轻薄、省电、显示效果好等特性，被越来越多的手机厂商所采用。而平板显示有机膜喷墨成膜设备作为oled屏幕生产的核心设备，在生成制造过程中需要提供特定的制造环境。


技术实现要素：

3.本公开提供一种工艺设备，包括：
4.壳体，所述壳体内的工作环境为非大气环境；
5.密封传输箱体，自所述壳体的表面嵌入至所述壳体内部，所述密封传输箱体包括：
6.第一密封门，配置为连通和/或隔离所述密封传输箱体的内部环境和外界大气；以及
7.第二密封门，配置为连通和/或隔离所述密封传输箱体的内部环境和所述壳体的内部环境；以及
8.气体控制装置，设置在所述壳体上，配置为改变所述密封传输箱体的内部环境。
9.在一些实施例中，所述密封传输箱体包括相邻的第一箱壁和第二箱壁，所述第一密封门和第二密封门分别设置在所述第一箱壁和第二箱壁上。
10.在一些实施例中，所述第一箱壁嵌设在所述壳体的表面上，所述第二箱壁位于所述壳体内部。
11.在一些实施例中，所述壳体的表面上开设有操作口，所述操作口上设置有密封手套。
12.在一些实施例中，所述操作口的数量为1个或更多个，至少一个操作口临近所述第二密封门，使得操作人员可以通过密封手套在所述密封传输箱体内执行操作。
13.在一些实施例中，所述第一密封门上设置有第一把手。
14.在一些实施例中，所述第二密封门上设置有第二把手。
15.在一些实施例中，气体控制装置包括与所述密封传输箱体连接的抽气装置。
16.在一些实施例中，气体控制装置包括与所述密封传输箱体连接的工作气体生成装置。
17.在一些实施例中，所述工艺设备包括喷墨成膜设备。
18.本公开实施例的上述方案可以有以下有益效果：
19.通过在工艺设备上设置密封传输箱体以及气体控制装置，使得工艺设备无需改变其内部的工作环境的情况下与外界完成耗材和/或配件交互，可以实现工艺设备的耗材和/或配件快速更换，尽量避免影响正常生成制造。
附图说明
20.此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施例，并与说明书一起用于解释本公开的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中：
21.图1为本公开一些实施例提供的工艺设备的结构示意图；
22.图2为图1中的密封传输箱体的结构示意图；
23.图3为图1中的密封传输箱体的结构示意图。
具体实施方式
24.为了使本公开的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本公开作进一步地详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本公开一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本公开中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本公开保护的范围。
25.在本公开实施例中使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本公开。在本公开实施例和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义，“多种”一般包含至少两种。
26.应当理解，本文中使用的术语“和/或”仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，a和/或b，可以表示：单独存在a，同时存在a和b，单独存在b这三种情况。另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
27.应当理解，尽管在本公开实施例中可能采用术语第一、第二、第三等来描述，但不应限于这些术语。
28.还需要说明的是，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的商品或者装置不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种商品或者装置所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个”限定的要素，并不排除在包括所述要素的商品或者装置中还存在另外的相同要素。
29.在相关技术中，对于工工艺设备，例如为有机膜喷墨成膜设备等来说，在制造工艺中因为需要排除水、氧等环境因素对产品的影响，很多工艺设备在生产制造过程中都需要纯氮气(n2)环境，纯氮气环境的工艺设备在使用过程中存在以下问题：
30.工艺设备在执行生产制造的过程中不允许有高于5ppm氧气或10ppm水进入工艺设备避免对产品操作影响，由于日常大气中含有大量氧和水，工艺设备在在执行生产制造的过程中要保证完全密闭。
31.工艺设备在使用过程中，如果需要进行更换耗材和/或配件，相关技术中的更换耗材和/或配件的操作主要包括以下步骤：首先切换工艺设备内部环境自纯氮气环境(含氧量0％)到大气环境(含氧量约21％)，操作人员从专门的维修门进入工艺设备内部进行耗材和/或配件更换，耗材和/或配件更换完成后，还需要将切换工艺设备内部环境自大气环境切换回纯氮气环境。这个更换耗材和/或配件的过程会花费3-5小时，大大的降低了工艺设备的利用率。如何能在纯氮气的生产环境中快速更换耗材和/或配件，又不会让空气进入到
工艺设备内部，是非常重要的发展方向。
32.为了克服上述问题，本公开提供一种工艺设备，包括：壳体，所述壳体内的工作环境为非大气环境；密封传输箱体，自所述壳体的表面嵌入至所述壳体内部，所述密封传输箱体包括：第一密封门，配置为连通和/或隔离所述密封传输箱体的内部环境和外界大气；以及第二密封门，配置为连通和/或隔离所述密封传输箱体的内部环境和所述壳体的内部环境；以及气体控制装置，设置在所述壳体上，配置为改变所述密封传输箱体的内部环境。通过在工艺设备上设置密封传输箱体以及气体控制装置，使得工艺设备无需改变其内部的工作环境的情况下与外界完成耗材和/或配件交互，可以实现工艺设备的耗材和/或配件快速更换，尽量避免影响正常生成制造。
33.下面结合附图详细说明本公开的可选实施例。
34.图1为本公开一些实施例提供的工艺设备的结构示意图；图2为图1中的密封传输箱体的结构示意图，其中第一密封门处于开启状态，第二密封门处于关闭状态；图3为图1中的密封传输箱体的结构示意图，其中第一密封门处于关闭状态，第二密封门处于开启状态。
35.如图1至图3所示，本公开提供一种工艺设备100，所述工艺设备100包括壳体10、密封传输箱体20以及气体控制装置30。
36.壳体10内部具有容置空间，工艺设备100例如为喷墨成膜设备，用于平板显示面板的生产制造，该生成工艺在所述容置空间中执行，所述壳体10内的工作环境为非大气环境，例如为纯氮气环境。
37.密封传输箱体20自所述壳体10的表面11嵌入至所述壳体10内部，密封传输箱体20用于耗材和/或配件在外界与壳体10内部之间的传送。
38.所述密封传输箱体20包括第一密封门21和第二密封门22。第一密封门21配置为连通和/或隔离所述密封传输箱体20的内部环境和外界大气。第一密封门21可以在开启状态和关闭状态之间切换，当第一封闭门21处于开启状态时，所述密封传输箱体20的内部环境和外界大气相互连通。当第一封闭门21处于关闭状态时，所述密封传输箱体20的内部环境和外界大气相互隔。
39.第二密封门22可以在开启状态和关闭状态之间切换，当第二封闭门22处于开启状态时，所述密封传输箱体20的内部环境和所述壳体10的内部环境相互连通。当第二封闭门22处于关闭状态时，所述密封传输箱体20的内部环境和所述壳体10的内部环境相互隔离。
40.气体控制装置30设置在所述壳体10上，配置为改变所述密封传输箱体20的内部环境。例如将密封传输箱体20的内部抽成真空，或者将密封传输箱体20的内部充满氮气。
41.在一些实施例中，所述密封传输箱体20包括相邻的第一箱壁23和第二箱壁24，所述第一密封门21和第二密封门22分别设置在所述第一箱壁23和第二箱壁23上。
42.在一些实施例中如图1至图3所示，所述第一箱壁23嵌设在所述壳体10的表面上，所述第二箱壁24位于所述壳体10内部。在一些实施例中，第一箱壁23的外表面与所述壳体10的表面共面。
43.在一些实施例中，所述壳体10的表面上开设有操作口40，所述操作口40上设置有密封手套41。在壳体10外部操作人员的可以通过密封手套将手伸入壳体10内进行操作，壳体10外和壳体10内相互隔离处于不同的气体环境。壳体10外例如为大气环境，壳体10内例如为纯氮气环境。
44.在一些实施例中，所述操作口40的数量为1个或更多个，至少一个操作口40临近所述第二密封门22，使得操作人员可以通过密封手套41在所述密封传输箱体20内执行操作。例如手动开启密封传输箱体20的第二密封门22，将配件或者耗材放入密封传输箱体20或自密封传输箱体20中取出。
45.在一些实施例中，所述壳体10的表面上还可以设有观察窗口50，便于操作人在壳体10外部观察壳体10内部的情况。在一些实施例中，所述第一密封门21上设置有第一把手211，操作人员可以通过把持第一把手211开启或关闭所述第一密封门21。第二密封门22上设置有第二把手221，操作人员可以通过把持第二把手221开启或关闭所述第一密封门22。
46.在一些实施例中，气体控制装置30可以包括与所述密封传输箱体20连接的抽气装置，其可以将密封传输箱体20内的密闭空间抽成真空。
47.在一些实施例中，气体控制装置30可以包括与所述密封传输箱体20连接的工作气体生成装置，其可以生成特定气体，例如氮气，将密封传输箱体20内充满氮气。
48.在一些实施例中，所述工艺设备100包括喷墨成膜设备，例如为平板显示有机膜喷墨成膜设备。
49.采用本公开提供的工艺设备进行配件和/或耗材更换时，可以始终使得工艺设备内部处于特定的生产环境，工艺设备壳体外部的操作人员通过密封手套在工艺设备内部进行配件和/或耗材更换，可以快速的完成配件和/或耗材的更换操作，提高工艺设备的利用率。
50.具体地，产线上的执行生产作业的工艺设备内部处于特定生产环境，例如氮气环境。工艺设备100上的密封传输箱体20处于密闭状态，即第一密封门21和第二密封门22均处于关闭状态，工艺设备100内部与外界大气处于隔离状态。
51.当工艺设备100需要更换配件和/或耗材时，密封传输箱体20的第一密封门21打开，密封传输箱体20与外界环境相连通，外界环境气体充入密封传输箱体20内，操作人员将配件和/或耗材装入密封传输箱体20内中。
52.随后，将密封传输箱体20的第一密封门21关闭，使得密封传输箱体20处于密闭状态，利用气体控制装置30将密封传输箱体20的抽成真空状态，在一些实施例中，还可以利用气体控制装置30在密封传输箱体20中充入氮气，使得密封传输箱体20的气体环境与工艺设备100内部的气体环境一致。
53.然后，操作人员利用密封手套将第二密封门22打开，使得密封传输箱体20与工艺设备100内部的气体环境相连通，将配件和/或耗材自密封传输箱体20中取出。
54.操作人员可以利用密封手套来完成配件和/或耗材的更换，接着，将更换下来的配件和/或耗材放回密封传输箱体20，将第二密封门22关闭，使得密封传输箱体20处于密闭状态，此时密封传输箱体20内的气体环境与工艺设备100内部的气体环境基本相同。
55.接下来，将密封传输箱体20的第一密封门21开启，将更换下来的配件和/或耗材自密封传输箱体20取出，随后将第一密封门21关闭。
56.如上所述，采用本案中的工艺设备100，在更换配件和/或耗材时可以避免整体更换工艺设备100内部的工作的环境，可以快速的完成配件和/或耗材的更换操作，提高工艺设备的利用率。
57.最后应说明的是：本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点
说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。对于实施例公开的系统或装置而言，由于其与实施例公开的方法相对应，所以描述比较简单，相关之处参见方法部分说明即可。
58.以上实施例仅用以说明本公开的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本公开进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本公开各实施例技术方案的精神和范围。