高温槽体双开盖装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体自动化设备技术领域，具体是涉及一种高温槽体双开盖装置。


背景技术：

2.在半导体制程，经常使用高温腐蚀液体来做晶圆清洗、蚀刻、去胶等，一般腐蚀液体在高温状态下会产生大量气体(例:磷酸蚀刻制程需使用200度磷酸，会产生大量磷酸蒸汽)，不仅会对人体产生危害、对设备机台腐蚀损坏，大量蒸汽也会造成不必要的药液(酸、碱)浪费、损失掉的热能浪费。一般的开盖机构在清洗制程外能盖上，但在施作清洗制程中盖子必须打开，这就导致大量有害气体排出，严重危害工作人员的健康。
3.为此，提出一种高温槽体双开盖装置。


技术实现要素：

4.本实用新型以解决背景技术中提出的问题为目的，提供了一种高温槽体双开盖装置。
5.具体技术方案如下：
6.一种高温槽体双开盖装置，包括：
7.固定安装在高温槽体槽口处的封口框；
8.设于所述高温槽体上的第一封口组件以及第二封口组件，所述第一封口组件以及所述第二封口组件用于共同对所述封口框封口。
9.作为本实用新型的一种优选方案，所述第一封口组件包括两个第一配装座、第一转轴、两个第一连接座、第一盖板以及第一驱动机构，两个所述第一配装座均固定安装在所述高温槽体的槽口上部一侧，所述第一转轴转动安装在两个所述第一配装座上，两个所述第一连接座均固定安装在所述第一转轴上，所述第一盖板固定安装在两个所述第一连接座上，所述第一驱动机构用于驱动所述第一转轴转动带动所述第一盖板盖合在所述封口框的内部一侧或者离开所述封口框。
10.作为本实用新型的一种优选方案，所述第一驱动机构包括第一伸缩气缸以及第一连杆，所述第一伸缩气缸通过第一铰接座铰接在所述高温槽体的一外侧壁上，且所述第一伸缩气缸的活塞杆外端固定安装有第一u形座，所述第一连杆的一端铰接在所述第一u形座内，且所述第一连杆的另一端与所述第一转轴的一端固定连接。
11.作为本实用新型的一种优选方案，所述第一盖板上嵌装有透明玻璃板。
12.作为本实用新型的一种优选方案，所述第二封口组件包括两个第二配装座、第二转轴、两个第二连接座、第二盖板以及第二驱动机构，两个所述第二配装座均固定安装在所述高温槽体的槽口上部另一侧，所述第二转轴转动安装在两个所述第二配装座上，两个所述第二连接座均固定安装在所述第二转轴上，所述第二盖板固定安装在两个所述第二连接座上，所述第二驱动机构用于驱动所述第二转轴转动带动所述第二盖板盖合在所述封口框
的内部另一侧或者离开所述封口框。
13.作为本实用新型的一种优选方案，所述第二驱动机构包括第二伸缩气缸以及第二连杆，所述第二伸缩气缸通过第二铰接座铰接在所述高温槽体的另一外侧壁上，且所述第二伸缩气缸的活塞杆外端固定安装有第二u形座，所述第二连杆的一端铰接在所述第二u形座内，且所述第二连杆的另一端与所述第二转轴的一端固定连接。
14.作为本实用新型的一种优选方案，所述第二盖板为透明玻璃盖板。
15.作为本实用新型的一种优选方案，所述第一转轴位于两个所述第一配装座之间的部分纵截面为方形，所述第二转轴位于两个所述第二配装座之间的部分纵截面为方形。
16.本实用新型具有以下有益效果：
17.本实用新型提供的高温槽体双开盖装置主要由固定安装在高温槽体槽口处的封口框以及设于高温槽体上的第一封口组件以及第二封口组件组成，在清洗制程中，将第一封口组件以及第二封口组件全部打开，然后采用机械手将被清洗工件(被清洗工件可为晶圆)送入高温槽体的内部进行清洗、蚀刻、去胶等，当被清洗工件进入高温槽体的内部后，将第一封口组件关闭，第二封口组件打开的位置用于容纳机械手，此时可以大幅度降低有害气体从高温槽体的内部排出，当被清洗工件清洗、蚀刻、去胶等完毕后，及时将第二封口组件关闭，因此，通过第一封口组件以及第二封口组件的相互配合，可以大幅度降低有害气体从高温槽体的内部排出，尽可能降低有害气体的排出对工作人员的健康危害。
附图说明
18.图1为本实用新型一实施例提供的高温槽体双开盖装置的结构示意图；
19.图2为本实用新型实施例提供的高温槽体双开盖装置的另一视角的结构示意图；
20.图3为本实用新型实施例提供的高温槽体双开盖装置的剖视结构示意图；
21.图4为本实用新型实施例提供的高温槽体双开盖装置中第二盖板打开时的结构示意图。
22.附图中：
23.1、高温槽体；101、封口框；
24.2、第一封口组件；201、第一伸缩气缸；202、第一铰接座；203、第一u 形座；204、第一连杆；205、第一连接座；206、第一转轴；207、第一配装座； 208、第一盖板；209、透明玻璃板；
25.3、第二封口组件；301、第二伸缩气缸；302、第二铰接座；303、第二u 形座；304、第二连杆；305、第二转轴；306、第二配装座；307、第二连接座； 308、第二盖板。
具体实施方式
26.下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。
27.其中，附图仅用于示例性说明，表示的仅是示意图，而非实物图，不能理解为对本专利的限制；为了更好地说明本实用新型的实施例，附图某些部件会有省略、放大或缩小，并不代表实际产品的尺寸；对本领域技术人员来说，附图中某些公知结构及其说明可能省略是可以理解的。
28.本实用新型实施例的附图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件；在本实用
新型的描述中，需要理解的是，若出现术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。
29.在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，若出现术语“连接”等指示部件之间的连接关系，该术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个部件内部的连通或两个部件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
30.本实用新型实施例提供的高温槽体双开盖装置，如图1-图4所示，其主要由固定安装在高温槽体1槽口处的封口框101以及设于高温槽体1上的第一封口组件2以及第二封口组件3组成，其中，第一封口组件2以及第二封口组件3 用于共同对封口框101封口。
31.其中，第一封口组件2主要由两个第一配装座207、第一转轴206、两个第一连接座205、第一盖板208以及第一驱动机构组成，两个第一配装座207均固定安装在高温槽体1的槽口上部一侧，第一转轴206转动安装在两个第一配装座207上，两个第一连接座205均固定安装在第一转轴206上，第一盖板208 固定安装在两个第一连接座205上，第一驱动机构用于驱动第一转轴206转动带动第一盖板208盖合在封口框101的内部一侧或者离开封口框101，第一驱动机构主要第一伸缩气缸201以及第一连杆204组成，第一伸缩气缸201通过第一铰接座202铰接在高温槽体1的一外侧壁上，且第一伸缩气缸201的活塞杆外端固定安装有第一u形座203，第一连杆204的一端铰接在第一u形座203内，且第一连杆204的另一端与第一转轴206的一端固定连接。
32.其中，第二封口组件3主要由两个第二配装座306、第二转轴305、两个第二连接座307、第二盖板308以及第二驱动机构组成，两个第二配装座306均固定安装在高温槽体1的槽口上部另一侧，第二转轴305转动安装在两个第二配装座306上，两个第二连接座307均固定安装在第二转轴305上，第二盖板308 固定安装在两个第二连接座307上，第二驱动机构用于驱动第二转轴305转动带动第二盖板308盖合在封口框101的内部另一侧或者离开封口框101，第二驱动机构主要由第二伸缩气缸301以及第二连杆304，第二伸缩气缸301通过第二铰接座302铰接在高温槽体1的另一外侧壁上，且第二伸缩气缸301的活塞杆外端固定安装有第二u形座303，第二连杆304的一端铰接在第二u形座303内，且第二连杆304的另一端与第二转轴305的一端固定连接。
33.采用上述技术方案的高温槽体双开盖装置主要由固定安装在高温槽体1槽口处的封口框101以及设于高温槽体1上的第一封口组件2以及第二封口组件3 组成，在清洗制程中，将第一封口组件2以及第二封口组件3全部打开，然后采用机械手将被清洗工件(被清洗工件可为晶圆)送入高温槽体1的内部进行清洗、蚀刻、去胶等，当被清洗工件进入高温槽体1的内部后，将第一封口组件2关闭，第二封口组件3打开的位置用于容纳机械手，此时可以大幅度降低有害气体从高温槽体1的内部排出，当被清洗工件清洗、蚀刻、去胶等完毕后，及时将第二封口组件3关闭，因此，通过第一封口组件2以及第二封口组件3 的相互配合，可以大幅度降低有害气体从高温槽体1的内部排出，尽可能降低有害气体的排出对工作人员的
健康危害。
34.其中，第一封口组件2的工作原理为：当第一伸缩气缸201的活塞杆处于伸长状态时，第一盖板208盖合在封口框101的内部一侧，完成关闭目的，当第一伸缩气缸201的活塞杆处于缩短状态时，第一伸缩气缸201的活塞杆拉动第一连杆204围绕第一转轴206转动，由于第一连杆204与第一转轴206固定连接，此时第一转轴206转动带动两个第一连接座205驱动第一盖板208离开封口框101，完成打开目的；
35.其中，第二封口组件3的工作原理为：当第二伸缩气缸301的活塞杆处于伸长状态时，第二盖板308盖合在封口框101的内部另一侧，完成关闭目的，当第二伸缩气缸301的活塞杆处于缩短状态时，第二伸缩气缸301的活塞杆拉动第二连杆304围绕第二转轴305转动，由于第二连杆304与第二转轴305固定连接，此时第二转轴305转动带动两个第二连接座307驱动第二盖板308离开封口框101，完成打开目的。
36.具体的，为了方便透过第一盖板208查看高温槽体1内部的情况，在本实施例中，第一盖板208上嵌装有透明玻璃板209。
37.具体的，为了方便透过第二盖板308查看高温槽体1内部的情况，在本实施例中，第二盖板308为透明玻璃盖板。
38.具体的，在本实施例中，为了防止两个第一连接座205相对于第一转轴206 转动，第一转轴206位于两个第一配装座207之间的部分纵截面为方形，为了防止两个第二连接座307相对于第二转轴305转动，第二转轴305位于两个第二配装座306之间的部分纵截面为方形，上述设置可以提高该高温槽体双开盖装置的稳定性。
39.综上，本实施例提供的高温槽体双开盖装置，具有如下优点：
40.该高温槽体双开盖装置主要由固定安装在高温槽体1槽口处的封口框101 以及设于高温槽体1上的第一封口组件2以及第二封口组件3组成，在清洗制程中，将第一封口组件2以及第二封口组件3全部打开，然后采用机械手将被清洗工件(被清洗工件可为晶圆)送入高温槽体1的内部进行清洗、蚀刻、去胶等，当被清洗工件进入高温槽体1的内部后，将第一封口组件2关闭，第二封口组件3打开的位置用于容纳机械手，此时可以大幅度降低有害气体从高温槽体1的内部排出，当被清洗工件清洗、蚀刻、去胶等完毕后，及时将第二封口组件3关闭，因此，通过第一封口组件2以及第二封口组件3的相互配合，可以大幅度降低有害气体从高温槽体1的内部排出，尽可能降低有害气体的排出对工作人员的健康危害。
41.以上仅为本实用新型较佳的实施例，并非因此限制本实用新型的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本实用新型说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本实用新型的保护范围内。