适用于一次刻蚀两块蓝宝石的刻蚀篮的制作方法

1.本实用新型涉及蓝宝石衬底加工技术领域，具体涉及一种适用于一次刻蚀两块蓝宝石的刻蚀篮。


背景技术：

2.蓝宝石的化学成分是al2o3，其独特的晶格结构、优异的力学性能、良好的热学性能使蓝宝石作为用于半导体照明理想的衬底材料，蓝宝石是目前gan基led的主流衬底材料，一直占据着gan基led衬底应用领域的主要地位。图形化蓝宝石衬底是通过在蓝宝石制程面上涂布光刻胶—显影—刻蚀，最终在制程面上得到需要的理想图案。
3.在蓝宝石衬底图形化的生产加工过程中，需要对显影后的蓝宝石衬底表面进行刻蚀工艺，使其表面形成固定的图案。目前常用的蓝宝石衬底刻蚀工艺主要分为干法刻蚀和湿法刻蚀，传统的湿刻法因考虑到刻蚀蓝宝石制程面的同时，蓝宝石背面与边部也会与刻蚀液反应，所以需要在刻蚀前对蓝宝石背面和边部做防酸处理，如贴附防酸膜等。但对每片蓝宝石分别做防酸处理会使得刻蚀效率低，因此需要一种能同时对两片蓝宝石衬底进行防酸处理及刻蚀的工艺。而现有的对蓝宝石衬底进行刻蚀的刻蚀篮都只适用于单独对每片蓝宝石衬底进行刻蚀，不适用于同时对两片蓝宝石衬底进行刻蚀的需求。


技术实现要素：

4.本实用新型要解决的技术问题是：克服现有技术的不足，提供一种适用于一次刻蚀两块蓝宝石的刻蚀篮，可提高刻蚀效率。
5.本实用新型的技术方案为：
6.适用于一次刻蚀两块蓝宝石的刻蚀篮，包括刻蚀篮本体，刻蚀篮本体内设置有插片槽，刻蚀篮本体内对应插片槽两端的位置设置有滑轨，插片槽设置有滑杆，滑杆的底部设置有滑块，滑块在滑轨中滑动；插片槽一侧设置有手杆。
7.优选地，所述刻蚀篮本体包括第一底板，第一底板的四角处设置有第一立杆，相邻的第一立杆之间通过第一横杆连接；插片槽包括第二底板，第二底板的四角处设置有第二立杆，相邻的第二立杆之间通过第二横杆连接。
8.优选地，所述滑轨内位于滑块的底部设置有若干个滚珠。
9.优选地，所述滑轨的两端分别设置有限位块。
10.优选地，所述刻蚀篮本体的相对两端设置有把手。
11.优选地，所述插片槽宽度为1.5~2mm。
12.本实用新型与现有技术相比，具有以下有益效果：
13.本实用新型的刻蚀篮适用于一次刻蚀两片蓝宝石衬底，结构简单实用，节省刻蚀时间，大大提升了刻蚀效率。
附图说明
14.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
15.图1是本实用新型的结构示意图。
16.图2是本实用新型的滑轨的结构示意图。
17.图3是自动点胶机的结构示意图。
18.图中，1-刻蚀篮本体、2-插片槽、3-滑轨、4-滑杆、5-滑块、6-手杆、7-第一底板、8-第一立杆、9-第一横杆、10-第二底板、11-第二立杆、12-第二横杆、13-滚珠、14-限位块、15-把手、16-自动点胶机、17-自动点胶机工作台、18-自动点胶机操作台、19-自动点胶机针筒、20-紫外灯头。
具体实施方式
19.为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型中的技术方案，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本实用新型保护的范围。
20.实施例1
21.如图1-2所示，本实施例提供了一种适用于一次刻蚀两块蓝宝石的刻蚀篮，包括刻蚀篮本体1，刻蚀篮本体1内设置有插片槽2，刻蚀篮本体1内对应插片槽2两端的位置设置有滑轨3，插片槽2设置有滑杆4，滑杆4的底部设置有滑块5，滑块5在滑轨3中滑动；插片槽2一侧设置有手杆6。
22.其中，刻蚀篮本体1及插片槽2的具体结构只要满足能使放入插片槽2内的蓝宝石衬底完全浸入酸液以进行刻蚀即可，优选地，本实施例的刻蚀篮本体1包括第一底板7，第一底板7的四角处设置有第一立杆8，相邻的第一立杆8之间通过第一横杆9连接；插片槽2包括第二底板10，第二底板10的四角处设置有第二立杆11，相邻的第二立杆11之间通过第二横杆12连接。这种结构设计，能够快速地将蓝宝石衬底浸入酸液中开始刻蚀。
23.工作原理：
24.为了克服刻蚀前对每片蓝宝石衬底的背面和边部做防酸处理，导致刻蚀效率低的问题，本实用新型提供了一种新的图形化蓝宝石湿刻工艺。两片蓝宝石衬底采用背靠背的方式贴合在一起，通过自动点胶机16对两片蓝宝石衬底背面贴合缝隙处进行一周的uv胶涂布，涂布uv胶的同时使用紫外灯光照射固化，实现同时对两片蓝宝石衬底的背面和边部做防酸处理，实现了可一次湿刻两块蓝宝石衬底的目的，大大提升了刻蚀效率。
25.具体工艺为：
26.s1：准备显影后的蓝宝石衬底，显影是图形化蓝宝石衬底必经的一个工艺，显影后蓝宝石衬底制程面已经有目标图形，不需要刻蚀的地方都被光刻胶覆盖保护。
27.s2：人工手动将两片蓝宝石背靠背贴合在一起，使用如图3所示的英舟航针筒式自动点胶机对贴合缝隙涂布uv胶。
28.s21；将两片蓝宝石衬底的定位边平靠自动点胶机工作台17，使用手指轻推蓝宝石衬底左右两侧即可准确贴合两片蓝宝石衬底。
29.s22：通过自动点胶机操作台18设置自动点胶机为固定位置线性出胶，出胶量为0.1g/s，贴合好的两片蓝宝石衬底放在自动点胶机针筒19点胶口正下方；启动自动点胶机16，将贴合缝隙与蓝宝石衬底边部均匀涂布上uv胶。
30.s3：uv胶涂布的同时，使用固定在自动点胶机针筒19上的紫外线点光源机的紫外灯头20进行uv光固；紫外灯头20安装在自动点胶机针筒19的正前方，自动点胶机针筒19出胶均匀涂布在蓝宝石衬底缝隙后即刻被紫外灯头20的紫外光进行光固，保证了uv涂布质量；紫外线点光源机设置为：光强2200mw/cm
²
，光斑直径3mm。
31.s4：将涂布并光固好的蓝宝石衬底插入本实施例的刻蚀篮本体1内的插片槽2中，贴合后的蓝宝石衬底厚度是单片厚度的2倍，需将插片槽2宽度设置为1.5~2mm。插好后将刻蚀篮放入刻蚀槽进行刻蚀即可。考虑到刻蚀槽中的酸液腐蚀性较强，本实施例的刻蚀篮由现有的抗腐蚀材料制成。
32.s5：刻蚀完，将刻蚀篮放入除胶槽中去除uv胶，除胶槽中放有丙酮类有机溶剂。除胶时手持手杆6来回推动插片槽2，插片槽2在滑轨3的作用下前后移动，加快除胶反应速度，提升除胶效率。
33.s6：除胶后进入常规清洗流程，清洗后打包出货。
34.本实施例的刻蚀篮可满足一次刻蚀两块蓝宝石衬底的需求，提高了蓝宝石衬底前期的防酸处理效率，也提高了刻蚀效率。此外，本实施例通过滑轨3的设计，能够进一步提高刻蚀后除胶的效率。
35.实施例2
36.在实施例1的基础上，如图2所示，所述滑轨3内位于滑块5的底部设置有若干个滚珠13，便于滑块5在滑轨3中的滑动。
37.实施例3
38.在实施例1的基础上，所述滑轨3的两端分别设置有限位块14，起到滑动限位的作用。
39.实施例4
40.在实施例1的基础上，所述刻蚀篮本体1的相对两端设置有把手15，便于刻蚀篮的搬移。
41.尽管通过参考附图并结合优选实施例的方式对本实用新型进行了详细描述，但本实用新型并不限于此。在不脱离本实用新型的精神和实质的前提下，本领域普通技术人员可以对本实用新型的实施例进行各种等效的修改或替换，而这些修改或替换都应在本实用新型的涵盖范围内/任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应所述以权利要求的保护范围为准。