不规则晶圆盒的夹持装置及晶圆盒装载仓的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆盒固定装置结构，具体地，涉及不规则晶圆盒的夹持装置及晶圆盒装载仓。


背景技术：

2.p5000机台装载仓会设置固定晶圆盒的夹持装置，防止机械手在取放片时晶圆盒出现移动。目前现有的p5000机台夹持装置的海绵垫之间的距离为固定距离，不可调整，仅能夹持上方两侧为水平的晶圆盒。对于形状不规则的晶圆盒，该夹持装置很难进行固定，进而导致晶圆盒位置不正或者机械手在取放片过程中使晶圆盒发生位置上的偏移，甚至可能导致晶圆的破碎。所以需要提供一种能固定不规则晶圆盒的夹持装置。
3.专利文献cn111244022a涉及晶圆盒夹持装置及晶圆清洗机。该夹持装置包括底板、支撑组件、夹持杆、夹持手臂、运动轨迹筒、推板和动力机构，其中：两个夹持杆通过支撑组件可转动地安装于底板上；至少一对夹持手臂分别安装于夹持杆上，与夹持杆同轴转动；两个运动轨迹筒分别安装于两个夹持杆上，运动轨迹筒与夹持杆同轴转动，运动轨迹筒上设有导向槽，导向槽与运动轨迹筒的轴线不平行；动力机构与推板连接，推板的两端分别插入导向槽中，动力机构驱动推板移动，以带动运动轨迹筒和夹持杆转动，进而带动夹持手臂转动。
4.专利文献cn212934570u揭示了一种晶圆盒全自动夹持装置，包括机架，机架上设有一可沿其轴线上下移动的驱动壳体，驱动壳体上枢轴设有夹持轴，夹持轴上设有用以将晶圆盒夹持的夹持件，夹持轴可由设置在驱动壳体内的驱动组件驱动其相向或相背转动。
5.目前，现有专利未能解决不规则晶圆盒难以夹持的问题。


技术实现要素：

6.针对现有技术中的缺陷，本实用新型的目的是提供一种不规则晶圆盒的夹持装置及晶圆盒装载仓。
7.根据本实用新型提供的不规则晶圆盒的夹持装置，包括：移动滑块、主体框架、固定夹块、移动滑轨；
8.所述移动滑轨安装在所述主体框架上，所述移动滑块滑配连接所述移动滑轨，所述移动滑块侧面安装所述固定夹块；
9.当对表面形状不规则的晶圆盒进行固定时，多个所述移动滑块带动所述固定夹块移动并在晶圆盒的表面寻找多个在同一水平面的点，找到对应的点后，所述主体框架受朝向晶圆盒的力，所述固定夹块按压在晶圆盒上，实现对晶圆盒的固定。
10.优选地，所述移动滑轨侧边设置为波纹状，所述移动滑轨两端安装在所述主体框架上。
11.优选地，所述移动滑轨两端设置轨道挡头，所述轨道挡头固定安装在所述主体框架上，当需要更换或者增加所述移动滑块时，将其中一个所述轨道挡头的螺丝松开，所述移
动滑块从拆下的所述轨道挡头处进行更换或增加。
12.优选地，所述移动滑块设置有多个。
13.优选地，所述移动滑块套装在所述移动滑轨上并允许沿所述移动滑轨的波纹状侧边滑动，波纹状侧边便于对所述移动滑块进行定位，当所述移动滑块移动至波纹状的低峰时，在不受外力情况下，所述移动滑块受低峰两侧侧壁限位，只有当所述移动滑块受力后，所述移动滑块才能克服低峰两侧侧壁的阻力进入下一个低峰。
14.优选地，所述固定夹块采用弹性材质的材料，所述固定夹块可以采用海绵垫、橡胶垫或弹簧片。
15.优选地，所述移动滑块、所述主体框架、所述移动滑轨以及轨道挡头采用不锈钢材质。
16.优选地，一种晶圆盒装载仓采用不规则晶圆盒的夹持装置，包括：装载平台，晶圆盒放置在所述装载平台上，晶圆盒背向装载平台一侧为晶圆盒不平整表面。
17.优选地，主体框架上安装有多个移动滑块，多个移动滑块的固定夹块按压在晶圆盒不平整表面上，晶圆盒不平整表面与固定夹块接触的位置处于同一平面上。
18.优选地，在夹持时，所述晶圆盒放置在夹持装置和所述装载仓之间，所述夹持装置受朝向所述装载仓方向的力，所述固定夹块按压在晶圆盒不平整表面。
19.与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：
20.1、本技术解决了不规则晶圆盒难以固定夹持的问题，避免难以加持导致的晶圆盒位置不正或位置偏移的问题；
21.2、本技术通过移动移动滑块的位置，可适应多种晶圆盒的固定夹持。
附图说明
22.通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
23.图1为夹持装置主视图；
24.图2为夹持装置俯视图；
25.图3为夹持装置侧视图；
26.图4为夹持装置夹持时原理图；
27.图中所示：
28.具体实施方式
29.下面结合具体实施例对本实用新型进行详细说明。以下实施例将有助于本领域的技术人员进一步理解本实用新型，但不以任何形式限制本实用新型。应当指出的是，对本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变化和改进。
这些都属于本实用新型的保护范围。
30.实施例1
31.如图1和图3所示，本实施例包括：移动滑块1、主体框架2、固定夹块3、移动滑轨4；移动滑轨4安装在主体框架2上，移动滑轨4上滑配连接多个移动滑块1，移动滑块1侧面安装固定夹块3。当对表面形状不规则的晶圆盒进行固定时，多个移动滑块1带动固定夹块3移动并在晶圆盒的表面寻找多个在同一水平面的点，找到对应的点后，主体框架2受朝向晶圆盒的力，固定夹块3按压在晶圆盒上，实现对晶圆盒的固定。
32.如图2所示，移动滑轨4侧边设置为波纹状，移动滑轨4两端安装在主体框架2上。移动滑块1套装在移动滑轨4上并允许沿移动滑轨4的波纹状侧边滑动。波纹状侧边便于对移动滑块1进行定位，当移动滑块1移动至波纹状的低峰时，在不受外力情况下，移动滑块1受低峰两侧侧壁限位，只有当移动滑块1受力后，移动滑块1才能克服低峰两侧侧壁的阻力进入下一个低峰。
33.移动滑轨4两端设置轨道挡头5，轨道挡头5固定安装在主体框架2上。当需要更换或者增加移动滑块1时，将其中一个轨道挡头5的螺丝松开，移动滑块1从拆下的轨道挡头5处进行更换或增加。固定夹块3采用弹性材质的材料，固定夹块3可以采用海绵垫、橡胶垫或弹簧片，本实施例中固定夹块3采用海绵垫。移动滑块1、主体框架2、移动滑轨4以及轨道挡头5采用不锈钢材质。
34.如图4所示，晶圆盒7放置在装载仓和夹持装置之间，装载仓设置装载平台8，晶圆盒7放置在装载平台8上，晶圆盒7背向装载平台8一侧为晶圆盒不平整表面6。主体框架2上安装有多个移动滑块1，多个移动滑块1的固定夹块3按压在晶圆盒不平整表面6上，晶圆盒不平整表面6与固定夹块3接触的位置处于同一平面上。夹持装置可以直接安装在装载仓上，并通过常规的驱动装置(如电机配合丝杆)驱动朝向装载仓移动，或是将晶圆盒7放好后，再将夹持装置夹持在晶圆盒不平整表面6并相对装载仓固定，或是可以采用其他方式，只要能够将夹持装固定夹持在晶圆盒不平整表面6表面即可。
35.实施例2
36.实施例2作为实施例1的优选例。
37.本实施例通过调整移动滑块1位置解决不同形状的晶圆盒难以固定在装载仓的问题，同时可增加移动滑块1数量来适应各种形状或尺寸的晶圆盒。
38.移动滑轨4一个侧边设置为波纹状，使得固定夹块3可以根据需要进行固定距离移动，使多个固定夹块3压在不规则晶圆盒表面位置都处于一个水平面，进而夹紧晶圆盒。在主体框架2的两端都有轨道挡头5，防止移动滑块1在移动时掉落，需要更换或者增加移动滑块1时，将其中一个轨道挡头5的螺丝松开然后拆下即可。
39.当晶圆盒表面形状没有足够的水平位置时，可以增加移动滑块1的数量，使移动滑块1均压在处在同一水平面的点上。如果在一时间段中仅使用一种晶圆盒，则移动滑块1位置无需变动；若切换不同类型的晶圆盒时，可根据晶圆盒上面的形状来确定移动滑块1之间的距离和数量来更好的夹持。如果仅使用两个移动滑块1时，两移动滑块1之间距离不宜过近，不然夹持效果会变差。
40.在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位
置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
41.以上对本实用新型的具体实施例进行了描述。需要理解的是，本实用新型并不局限于上述特定实施方式，本领域技术人员可以在权利要求的范围内做出各种变化或修改，这并不影响本实用新型的实质内容。在不冲突的情况下，本技术的实施例和实施例中的特征可以任意相互组合。