一种供料装置及电池加工系统的制作方法

1.本实用新型涉及太阳能电池制造技术领域，具体而言，涉及一种供料装置及电池加工系统。


背景技术：

2.现有生产制造异质结太阳能电池的工艺对硅片的温度有较高的要求，在对异质结太阳能电池进行行pecvd(在等离子体增强化学气相沉积)工艺时需要保证温度在200摄氏度以上，所以需要先将托盘上的产品加热到所需的工艺温度后，才能将产品送入工艺腔内进行镀膜。
3.但现有技术中，一般有两种实施办法，第一种，每次只能预热一个托盘，在托盘预热完毕后，将未预热的托盘由设备的一端送入，而预热完毕的托盘由设备的另一端取出。此办法需要等到前序托盘预热完成后，才能进行后续托盘的加热，其生产加工效率无法保障。
4.第二种，虽然能同时对多个托盘进行预热，但其只具备一个开口，也即托盘需要依次通过这一个开口进行上料或下料，上料和下料无法同时进行。并且在进行多个托盘上料时，由于开口位置固定，其内部的预热单元每放置一个托盘就需要移动一次位置，其步骤较多，无法保障加工效率。


技术实现要素：

5.本实用新型解决的问题是对产品进行工艺加工前前序工序加工效率过低。
6.一方面，为解决上述问题，本实用新型实施例提供一种供料装置，所述供料装置包括腔体结构、预热模块和第一驱动组件，所述腔体结构上开设有进料口和出料口；所述预热模块的数量为若干个，所述进料口的数量与所述预热模块的数量相匹配，所述预热模块沿第一方向依次排列，所述预热模块活动安装在所述腔体结构内，所述预热模块适于沿所述第一方向移动；所述第一驱动组件安装于所述腔体结构上，所述预热模块包括移动组件，所述第一驱动组件适于与所述移动组件驱动连接，所述第一驱动组件适于驱动所述移动组件运动以使产品由所述进料口向所述出料口移动。
7.可选地，所述移动组件包括转动件，所述产品适于放置在所述转动件上，所述第一驱动组件适于与所述转动件驱动连接，所述第一驱动组件适于驱动所述转动件转动以使所述产品由所述进料口向所述出料口移动。
8.可选地，所述转动件包括转轴和连接件，所述连接件位于所述转轴的端部，所述第一驱动组件的驱动端对称设置有两个第一限位结构，当所述连接件位于两个所述第一限位结构之间时，所述连接件与所述第一限位结构的表面相贴合。
9.可选地，所述预热模块还包括加热组件，所述加热组件位于所述移动组件上方，所述加热组件用于所述产品的加热。
10.可选地，所述预热模块还包括第一隔板和第二隔板，所述加热组件和所述移动组件位于所述第一隔板和所述第二隔板之。
11.可选地，所述供料装置还包括承载件，所述承载件活动安装在所述腔体结构内，所述预热模块安装于所述承载件上，所述承载件适于沿所述第一方向移动。
12.可选地，所述供料装置还包括第二驱动组件，所述第二驱动组件安装于所述腔体结构上，所述第二驱动组件与所述承载件驱动连接，所述第二驱动组件适于驱动所述承载件沿所述第一方向移动。
13.可选地，所述承载件包括顶板、底板和两块侧板，所述顶板和所述底板位于两块所述侧板之间，所述顶板、所述底板和两块所述侧板合围形成全包围结构，所述侧板的内壁开设有凹槽结构，所述预热模块的相对两端设置有安装板，所述安装板部分位于所述凹槽结构中。
14.可选地，所述腔体结构上开设有开口，所述开口适于通过管道与外部真空发生器连通。
15.另一方面，本实用新型实施例还提供一种电池加工系统，包括如上所述的供料装置。
16.相对于现有技术，本实用新型实施例提供的供料装置所具有的有益效果是：
17.通过腔体结构上的进料口同时放入多个产品，并由移动组件带动产品移动至预热模块处进行预处理，使得多个产品满足后续工艺加工的需求，在产品预处理完成后，移动组件可以将预处理完成后的产品由腔体结构上的出料口移出，便于后续工艺工序的加工，从而有效地提高了产品进行工艺加工前的效率。
附图说明
18.图1为本实用新型的供料装置的一实施例结构示意图；
19.图2为本实用新型的供料装置的一实施例截面结构示意图；
20.图3为本实用新型的预热模块的一实施例结构示意图；
21.图4为本实用新型的供料装置的另一实施例截面结构示意图；
22.图5为本实用新型的磁流体的一实施例结构示意图；
23.图6为本实用新型的磁流体与连接配合的一实施例截面结构示意图；
24.图7为本实用新型的承载件的一实施例结构示意图；
25.图8为图7中a处的局部放大图。
26.附图标记说明：
27.1-腔体结构；11-进料口；12-出料口；13-开口；2-预热模块；21-移动组件；211-转动件；2111-转轴；2112-连接件；212-滚轮结构；22-加热组件；221-加热管；222-加热丝；23-第一隔板；24-第二隔板；25-安装板；3-第一驱动组件；31-第一限位结构；32-磁流体；4-承载件；41-顶板；42-底板；43-侧板；431-凹槽结构；5-第二驱动组件；6-密封门。
具体实施方式
28.术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或转动连接；可以是机械连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
29.本实用新型的实施例的附图中设置有坐标系xyz，其中x轴的正向代表右方，x轴的反向代表左方，z轴的正向代表上方，z轴的反向代表下方，y轴的正向代表前方，y轴的反方向代表后方，且术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”和“右”等指示的方向或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
30.术语“第一”、“第二”和“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”和“第三”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。
31.为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施例做详细的说明。
32.如图1和图2所示，本实用新型的一实施例提供一种供料装置。所述供料装置包括腔体结构1、预热模块2和第一驱动组件3，所述腔体结构1上开设有进料口11和出料口12；所述预热模块2的数量为若干个，所述进料口11的数量与所述预热模块2的数量可以相同，所述预热模块2沿第一方向依次排列，所述预热模块2活动安装在所述腔体结构1内，所述预热模块2适于沿所述第一方向移动；所述第一驱动组件3安装于所述腔体结构1上，所述预热模块2包括移动组件21，所述第一驱动组件3适于与所述移动组件21驱动连接，所述第一驱动组件3适于驱动所述移动组件21运动以使产品由所述进料口11向所述出料口12移动。
33.产品可以是硅片，其放置在托盘上，托盘可以由腔体结构1上的进料口11放入到腔体结构1内部，并且由预热模块2对托盘上的产品进行预热，使得托盘上的产品能达到工艺加工所需要的温度。预热模块2的数量可以为1个、2个、3个、4个、5个或多个等，在此不作具体限定；在本实用新型的一种实施例中，预热模块2的数量为5个，同理进料口11的数量也为5个，也即其可以同时对5个托盘上的产品进行预热。
34.出料口12的数量可以为1个、2个、3个、4个、5个等，在本实用新型的一种实施例中，出料口12的数量为1个，且进料口11和出料口12分别位于腔体结构1的相对两端。如果工艺腔的数量有多个时，出料口12的数量可以随着工艺腔的数量而增加。产品可以沿x轴方向移动，由进料口11沿x轴正方向进入腔体结构1内，并且在预热完成后继续沿x轴正方向移动，并由出料口12移出。
35.当5个托盘由腔体结构1上的5个进料口11进入后，由于预热模块2的数量为5个，所以其也具有5个移动组件21，5个托盘分别放置到1个移动组件21上。第一方向可以为图中z轴的方向，预热模块2可以沿z轴方向移动。由于预热模块2沿z轴方向依次排列，因此需要出料的托盘可能并不在出料口12处，因此在托盘预热完成后，预热模块2可以沿z轴方向移动，使得需要出料的托盘移动至出料口12处，此时托盘就可以沿x轴正方向移动出料。
36.第一驱动组件3可以包括若干个磁流体32，磁流体32穿过腔体结构1，并与腔体结构1密封连接。磁流体32一部分露在腔体结构1外，露在腔体外的部分连接动力输入机构(图未示)，将动力传送到腔体结构1内。磁流体32因其本身的结构特性是不会导致腔体结构1破真空。动力输入机构可以是一对一的直接连接到电机(图未示)，也可以是将全部磁流体32通过同步带或者齿轮、齿条部件并联在一起(图未示)，然后由一个动力源提供动力。
37.通过腔体结构1上的进料口11同时放入多个产品，并由移动组件21带动产品移动
至预热模块2处进行预处理，使得多个产品满足后续工艺加工的需求，在产品预处理完成后，移动组件21可以将预处理完成后的产品由腔体结构1上的出料口12移出，便于后续工艺工序的加工，从而有效地提高了产品进行工艺加工前的效率。
38.如图2和图3所示，所述移动组件21包括转动件211，所述产品适于放置在所述转动件211上，所述第一驱动组件3适于与所述转动件211驱动连接，所述第一驱动组件3适于驱动所述转动件211转动以使所述产品由所述进料口11向所述出料口12移动。
39.转动件211的数量可以为若干个，且转动件211上可以设置有滚轮结构212，托盘放置在滚轮结构212上，在第一驱动组件3驱动转动件211转动时，位于滚轮结构212上的托盘可以移动。由此可以实现托盘由进料口11向出料口12的方向移动。
40.如图3至图6所示，在一种实施例中，所述转动件211包括转轴2111和连接件2112，所述连接件2112位于所述转轴2111的端部，所述第一驱动组件3的驱动端对称设置有两个第一限位结构31，当所述连接件2112位于两个所述第一限位结构31之间时，所述连接件2112与所述第一限位结构31的表面相贴合。此时在第一驱动组件3的驱动端转动时，第一驱动组件3可以通过连接件2112带动转轴2111转动，以此实现推盘的移动，以及托盘的进、出料。
41.其次，在远离出料口12处的托盘需要出料时，第一驱动组件3的驱动端可以驱动连接件2112转动，使得两个第一限位结构31沿x轴方向排列。此时，预热模块2可以正常沿z轴方向移动，直至需要出料的托盘移动至出料口12处时，连接件2112位于两个第一限位结构31之间。第一驱动组件3可以继续带动转轴2111转动，使得需要出料的托盘由出料口12移出。
42.在另一种实施例中，连接件2112远离转轴2111的一端可以设置有两个第二限位结构(图未示)，当第一驱动组件3的驱动端位于两个第二限位结构之间时，第一驱动组件3的驱动端与第二限位结构的表面相贴合。此时在第一驱动组件3的驱动端转动时，第一驱动组件3可以通过连接件2112带动转轴2111转动，以此实现推盘的移动，以及托盘的进、出料。
43.其次，在远离出料口12处的托盘需要出料时，第一驱动组件3的驱动端可以驱动连接件2112转动，使得两个第二限位结构沿y轴方向排列。此时，预热模块2可以正常沿z轴方向移动，直至需要出料的托盘移动至出料口12处时，第一驱动组件3的驱动端位于两个第二限位结构之间。第一驱动组件3机构可以继续带动转轴2111转动，使得需要出料的托盘由出料口12移出
44.如图3所示，所述预热模块2还包括加热组件22，所述加热组件22位于所述移动组件21上方，所述加热组件22用于所述产品的加热。加热组件22可以由加热管221和加热丝222组成，由此可以对产品进行加热，使得产品可以达到工艺所需要的温度。
45.如图3和图7所示，所述预热模块2还包括第一隔板23和第二隔板24，所述加热组件22和所述移动组件21位于所述第一隔板23和所述第二隔板24之间。
46.第一隔板23和第二隔板24可以用于阻隔热量，使得加热组件22产生的热量保持在第一隔板23与第二隔板24之间，极大程度地避免热量向其他预热模块2处散溢。通过设置第一隔板23和第二隔板24，可以有效地避免不同预热模块2之间的热量干扰，便于每个预热模块2的温度调控。
47.如图2所示，所述供料装置还包括承载件4，所述承载件4活动安装在所述腔体结构
1内，所述预热模块2安装于所述承载件4上，所述承载件4适于沿所述第一方向移动。多个预热模块2可以全部安装到承载件4上，且每个预热模块2之间的间距可以相等，在承载件4沿z轴方向移动时，承载件4可以同时带动多个预热模块2同时移动。
48.如图2所示，所述供料装置还包括第二驱动组件5，所述第二驱动组件5安装于所述腔体结构1上，所述第二驱动组件5与所述承载件4驱动连接，所述第二驱动组件5适于驱动所述承载件4沿所述第一方向移动。第二驱动组件5可以包括驱动机构和顶升杆，驱动机构与顶升杆驱动连接，顶升杆与承载件4驱动连接，驱动机构可以驱动顶升杆伸出或缩回，由此带动承载件4沿z轴方向移动。
49.如图7和图8所示，所述承载件4包括顶板41、底板42和两块侧板43，所述顶板41和所述底板42位于两块所述侧板43之间，所述顶板41、所述底板42和两块所述侧板43合围形成全包围结构，所述侧板43的内壁开设有凹槽结构431，所述预热模块2的相对两端设置有安装板25，所述安装板25部分位于所述凹槽结构431中。
50.凹槽结构431可以用于预热模块2的固定，通过设置凹槽结构431也便于预热模块2的安装，便于检修，减小维护难度。在进行预热模块2的安装时，将预热模块2相对两端的安装板25对准位于预热模块2两侧的凹槽结构431，并将预热模块2沿凹槽结构431的长度方向推入。此时预热模块2位于顶板41、底板42、两块侧板43合围形成的空间之中，凹槽结构431对预热模块2的底部进行支撑，并且在需要维护时，只需要将预热模块2抽出就可以进行维护。
51.如图2所示，所述腔体结构1上开设有开口13，所述开口13适于通过管道与外部真空发生器连通。
52.在腔体结构1的进料口11和出料口12处可以分别安装有相应数量的密封门6，密封门6只有在上料和下料的时候会打开。真空发生器可以一次性将整个腔体结构1内部抽到所需的真空度，然后将托盘上的产品加热到所需的工艺温度，之后再将产品依次送入到工艺腔内进行镀膜。从而简化真空系统构造，降低维护难度和设备成本，提升工艺准备前端的效率。
53.pecvd(等离子体增强化学气相沉积)的整体加工流程为：腔体结构1进料口11处的密封门6打开，将放置有产品的托盘由进料口11放入腔体结构1内，进料口11处的密封门6关闭。此时外部真空发生器将腔体结构1内部抽真空，使得腔体结构1内变成真空环境，此时预热模块2对托盘上的产品进行加热，从而避免托盘上的产品与空气发生反应。在对托盘上的产品加热完毕后，出料口12处的密封门6打开，托盘可以由出料口12取出进入工艺腔，在工艺腔对产品进行镀膜。
54.本实用新型的另一实施例提供一种电池加工系统，包括如上所述的供料装置。所述电池加工系统所具有的有益效果与所述供料装置相同，在此不再赘述。
55.虽然本技术披露如上，但本技术的保护范围并非仅限于此。本领域技术人员在不脱离本技术的精神和范围的前提下，可进行各种变更与修改，这些变更与修改均将落入本实用新型的保护范围。