硅片生产系统的制作方法

文档序号:32733245发布日期:2022-12-28 10:36阅读:125来源:国知局
硅片生产系统的制作方法

1.本实用新型涉及光伏产业技术领域,尤其涉及一种硅片生产系统。


背景技术:

2.硅片作为光伏电池的吸能部件,硅片在光伏产业中发挥着重要作用。因此,硅片的产能质量关系着光伏电池的性能。在硅片的生产过程中,通常需要依次历经湿法工序和高温工序。在实际生产中,湿法工序通常是在生产线上的槽式湿法机台中进行。之后,将硅片送入高温炉中进行烧结。在生产中,发现烧结后的部分硅片出现烧焦现象,同时发现高温炉中放置被烧焦硅片的石英载具也出现污染。


技术实现要素:

3.本实用新型公开一种硅片生产系统,以解决湿法工序过程中运送硅片的下料花篮粘附的带液滴洒在硅片上,导致硅片烧焦以及高温炉中石英载具被污染的问题。
4.本实用新型提供了一种硅片生产系统,包括:槽式湿法机台;下料花篮,活动连接在所述槽式湿法机台的上方;驱动装置,设置在所述槽式湿法机台内;吸液装置,连接在所述槽式湿法机台的下料位处;所述吸液装置包括:吸液层,用于吸收待吸收液体;透液层,包覆所述吸液层;其中,在所述驱动装置驱动所述下料花篮置于所述槽式湿法机台的下料位处的情况下,所述吸液装置与所述下料花篮的底部相接触。
5.在一些可选的实施方式中,所述吸液层是多孔隙材料。
6.在一些可选的实施方式中,所述多孔隙材料包括海绵或活性炭。
7.在一些可选的实施方式中,所述海绵是耐酸海绵或耐碱海绵。
8.在一些可选的实施方式中,所述透液层是渗透膜。
9.在一些可选的实施方式中,所述渗透膜包括以下之一:无纺布、无尘布、无尘纸、滤纸。
10.在一些可选的实施方式中,所述吸液装置还包括:连接件,固定连接在所述透液层上,用于与所述槽式湿法机台连接。
11.在一些可选的实施方式中,所述连接件包括以下之一:胶带、魔术贴、磁铁。
12.在一些可选的实施方式中,所述吸液装置整体呈长方体形状。
13.在一些可选的实施方式中,呈长方体形状的所述吸液装置整体尺寸取值为:长的取值范围为350mm至550mm;宽的取值范围为100mm至200mm;高的取值范围为10mm至20mm。
14.采用本实用新型采用提供硅片生产系统,驱动装置驱动下料花篮将槽式湿法机台中硅片运输至下料处(准备投入高温炉烧结,即准备从湿法工序转移至高温工序继续进行加工)时,下料花篮的底部与吸液装置接触,下料花篮底部粘附的带液通过吸液装置的透液层流入吸液层中被吸液层吸收。从而有效防止下料花篮的底部在槽式湿法机台中吸附的带液滴洒在硅片上未及时处理,导致硅片被烧焦以及石英载具被污染的现象的发生。
附图说明
15.此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解,构成本实用新型的一部分,本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中:
16.图1为本实用新型提供的硅片生成系统的结构示意图;
17.图2为本实用新型实施例提供的硅片生产系统中的吸液装置的剖视图;
18.图3本技术实施例提供的硅片生产系统的侧视图。
具体实施方式
19.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本实用新型具体实施例及相应的附图对本实用新型技术方案进行清楚、完整地描述。显然,所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
20.以下结合附图,详细说明本实用新型各个实施例公开的技术方案。
21.如图1所示,示出了本实用新型提供的硅片生成系统的结构示意图。请参见图1,该硅片生产系统包括:槽式湿法机台1、下料花篮3、驱动装置2。其中,下料花篮3活动连接在槽式湿法机台1的上方,驱动装置2可以驱动下料花篮3在槽式湿法机台1的上方活动。
22.请继续参见图1,在一些可选的实施方式中,下料花篮3连接在滑块22上,滑块22可以在滚珠丝杆上滑动,驱动电机21驱动滚珠丝杠转动时,滑块22在滚珠丝杠上滑动从而带动下料花篮3在槽式湿法机台1的上方作横向运动。在一些可选的实施方式中,滑块22中还设置有气缸或液压缸以驱动下料花篮3在纵向上作上下运动,以使下料花篮3靠近或远离槽式湿法机台1的台面。
23.但应当说明的是,凡是能实现驱动下料花篮3作多个自由度运动的驱动设备或部件均能适用,而不限于上述示例的图1中所示例的实施例,例如在其他一些实施例中是通过机械臂抓取下料花篮3或其他驱动装置实现移动。
24.请继续参见图1,在槽式湿法机台1的下料位11处还连接有多个吸液装置4。如图2所示,示出了本实用新型实施例提供的硅片生产系统中的吸液装置的剖视图。请参见图2,所述吸液装置包括内层的吸液层42和包覆吸液层42的透液层41。在一些可选的实施方式中,吸液层42是多孔隙材料。示例性地,这种多孔隙材料可以是海绵或活性炭。需要说明的是,槽式湿法机台中的带液存在一定酸碱性,因此采用海绵作为吸液层42时,因此,在一些可选的实施方式中,海绵优选采用耐酸海绵或耐碱海绵。在一些可选的实施方式中,所述透液层41是渗透膜。示例性地,可以选用无纺布、无尘布、无尘纸和滤纸中的任一渗透膜作为透液层41。
25.请继续参见图1,在一些可选的实施方中,吸液装置4还包括:连接件(图中未示出)。连接件可以是胶带、魔术贴或磁铁。示例性地,连接件是胶带时,粘接在吸液装置4的透液层41上后将吸液装置4粘接在槽式湿法机台1的下料位11处。示例性的,连接件是魔术贴时,魔术贴的粘接面固定在吸液装置1的透液层41上,魔术贴的被粘接面固定在吸液装置4粘接在槽式湿法机台1的下料位11处,吸液装置1通过魔术贴可拆卸地连接在槽式湿法机台
1的下料位11处。示例性的,连接件是磁铁时,磁铁固定在吸液装置1的透液层41上,当槽式湿法机台1的下料位11处具有铁磁性时,则连接件可以直接将吸液装置1可拆卸地吸附在槽式湿法机台1的下料位11处。示例性的,连接件是两个磁铁,一个磁铁固定在吸液装置1的透液层41上,一个磁铁固定在槽式湿法机台1的下料位11处,且两个磁铁朝外的一面的磁极相仿,则连接件可以直接将吸液装置1可拆卸地吸附在槽式湿法机台1的下料位11处。
26.在一些可选的实施方式中,优选采用魔术贴或磁铁作为连接件,以便于吸液装置的更换。当然在其他一些可选的实施方式中,优选采用胶带作为连接件,以节约成本。
27.请继续参见图1和图2,在一些可选的实施方式中,吸液装置4整体呈长方体形状,其尺寸为:长的取值范围为350mm(毫米)至550mm;宽的取值范围为100mm至200mm;高的取值范围为10mm至20mm。示例性地,吸液装置4的规格为350mm*100mm*10mm,吸液装置4的规格也可以为400mm*150mm*15mm,吸液装置4的规格还可以为550mm*200mm*20mm。
28.还需要补充说明的是,在图1和图2中示例的吸液装置4为多个,但并未排除吸液装置4也可以是一个,本领域技术人员可以根据需要灵活设置,且在吸液装置4为多个时,多个吸液装置4的排列方式并不限于图1和图2所示的排列方式。
29.请继续参见图1,下料花篮3在驱动装置2的驱动下(示例性地,驱动电机21驱动滚珠丝杠转动,以使滑块22带动花篮3向下料位11处移动,当移动至下料位11上方时,滑块22中的气缸或液压缸的活塞杆伸出,以使花篮3向槽式湿法机台1的台面移动),可以将槽式湿法机台1中硅片5运输至槽式湿法机台1的下料位11处。在此过程中,下料花篮3的底部可能粘附槽式湿法机台1中的带液。
30.如图3所示,示出本技术实施例提供的硅片生产系统的侧视图。请结合参见图1和图3,下料花篮3在驱动装置2的驱动下,下料花篮3置于槽式湿法机台1的下料位11处时,吸液装置4与下料花篮3的底部相接触。下料花篮3的底部粘附的带液通过透液层41渗透至吸液层42,吸液层42中的多孔隙材料基于毛细现象吸收掉带液。
31.采用本实用新型采用提供硅片生产系统,驱动装置2驱动下料花篮3将槽式湿法机台1中硅片运输至下料位11处(准备投入高温炉烧结,即准备从湿法工序转移至高温工序继续进行加工)时,下料花篮3的底部与吸液装置4接触,下料花篮3底部粘附的带液通过吸液装置4的透液层41流入吸液层42中被吸液层42吸收。从而有效防止下料花篮3的底部在槽式湿法机台中吸附的带液滴洒在硅片上未及时处理,导致硅片被烧焦以及石英载具被污染的现象的发生,还可以有效避免污染的石英载具对其他硅片造成交叉污染,从而减少不合格硅片以及返工量。
32.本实用新型上文实施例中重点描述的是各个实施例之间的不同,各个实施例之间不同的优化特征只要不矛盾,均可以组合形成更优的实施例,考虑到行文简洁,在此则不再赘述。
33.以上所述仅为本实用新型的实施例而已,并不用于限制本实用新型。对于本领域技术人员来说,本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原理之内所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的权利要求范围之内。
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