电离室的制作方法

1.本实用新型涉及电离监测技术领域，特别涉及一种电离室。


背景技术：

2.电离室是一种探测电离辐射的气体探测器，电离室通常包括两个平行放置的极板，分别为高压极板、收集极板。高压极板接高压，收集极板接地，高压极板与收集极板之间形成匀强电场，且高压极板与收集极板间充入一定气压的工作气体。当有射线照射电离室时，射线与气室腔内壁作用，通过光电吸收、康普顿散射和电子对生成等作用方式产生次级电子，次级电子进入气室腔体内使工作气体电离成自由电子和正离子；在电场作用下自由电子向高压极板移动，正离子向收集极板移动，形成电离电流；由于电离电流与辐射的强度成正比，测量该电离电流即可得到电离辐射的强度。
3.目前，在应用于无损检测时，如何兼顾电离室的分辨力与电离室的精度是一大难点。射线光斑为射入电离室的射线束的横截面，要提高电离室的分辨力，就要缩小射线光斑的面积。要提高检测数据的精度，就要对待测物进行更大覆盖范围的检测，以使检测结果与待测物的真实情况更加接近，但设备的运行速度往往是一定的，要对待测物进行更大覆盖范围的检测，就要增大射线光斑的面积。如何解决上述技术矛盾，成为了当下的研究重点。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种电离室，以优化相关技术中电离室的结构，提升电离室的分辨力，并提高电离室的检测精度。
5.为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：
6.根据本实用新型的一个方面，本实用新型提供一种电离室，该电离室包括：外壳，其内形成有密封的气体腔室；高压极板，设于所述气体腔室内；收集极板，设于所述气体腔室内，并与所述高压极板间隔相对；所述收集极板的面向所述高压极板的侧面形成有收集极层；所述收集极层包括相互绝缘布置的第一收集区和第二收集区；其中，所述第一收集区在第一方向上的尺寸宽度小于等于20mm；所述第二收集区布置在所述第一收集区的周侧；所述第二收集区的面积大于所述第一收集区的面积。
7.本技术一些实施例中，在所述第一方向上，所述第二收集区的位于所述第一收集区一侧的尺寸大于20mm。
8.本技术一些实施例中，所述第一收集区为正方形区域，所述第一收集区的边长小于等于20mm。
9.本技术一些实施例中，所述第二收集区为环形区域，所述环形区域的内边与所述环形区域的外边二者之间的间距大于20mm。
10.根据本实用新型的另一个方面，本实用新型提供另一种电离室，该电离室外壳，其内形成有密封的气体腔室；高压极板，设于所述气体腔室内；收集极板，设于所述气体腔室内，并与所述高压极板间隔相对；所述收集极板的面向所述高压极板的侧面形成有收集极
层；所述收集极层包括相互绝缘布置的第三收集区、第四收集区和第五收集区；其中，所述第三收集区为长条型区域，所述第三收集区的宽度尺寸小于等于20mm；所述第四收集区和所述第五收集区分设于所述第三收集区的两侧；所述第四收集区和所述第五收集区的面积大于所述第三收集区的面积。
11.本技术一些实施例中，在所述第三收集区的宽度方向上，所述第四收集区和所述第五收集区的尺寸均大于20mm。
12.本技术一些实施例中，所述第四收集区和所述第五收集区对称地设于所述第三收集区的宽度方向的两侧。
13.本技术一些实施例中，所述第四收集区和所述第五收集区均为拱形区域。
14.根据本实用新型的又一个方面，本实用新型提供又一种电离室，该电离室包括：外壳，其内形成有密封的气体腔室；高压极板，设于所述气体腔室内；收集极板，设于所述气体腔室内，并与所述高压极板间隔相对；所述收集极板的面向所述高压极板的侧面形成有收集极层；所述收集极层包括相互绝缘布置的第六收集区、第七收集区和第八收集区；其中，所述第六收集区在第一方向上的尺寸宽度小于等于20mm；所述第七收集区和所述第八收集区分设于所述第六收集区的在第一方向上两侧；所述第七收集区和所述第八收集区的面积大于所述第六收集区的面积。
15.本技术一些实施例中，在所述第一方向上，所述第七收集区和所述第八收集区的尺寸均大于20mm。
16.本技术一些实施例中，所述收集极层还包括相互绝缘的第九收集区和第十收集区，所述第九收集区和所述第十收集区分别与所述第六收集区、所述第七收集区和所述第八收集区绝缘；所述第六收集区在第二方向上的尺寸宽度小于等于20mm，所述第二方向与所述第一方向相垂直；所述九收集区和所述第十收集区分设于所述第六收集区的在第二方向上两侧；所述九收集区和所述第十收集区的面积大于所述第六收集区的面积。
17.本技术一些实施例中，在所述第二方向上，所述九收集区和所述第十收集区的尺寸均大于20mm。
18.本技术一些实施例中，所述第六收集区为为正方形区域，所述第六收集区的边长小于等于20mm；所述第一方向和所述第二方向分别为所述第六收集区的两个相互垂直的边长的方向。
19.本技术一些实施例中，所述第七收集区和所述第八收集区为长条型区域，并均沿所述第一方向延伸；所述九收集区和所述第十收集区为长条型区域，并均沿所述第二方向延伸。
20.本技术一些实施例中，所述收集极层还包括相互绝缘的第十一收集区、第十二收集区、第十三收集区和第十四收集区；所述第十一收集区和所述第十二收集区分设于所述第七收集区的在第一方向的两侧；所述第十三收集区和所述第十四收集区分设于所述第八收集区的在第一方向的两侧；所述第十一收集区和所述第十三收集区分设于所述第九收集区的在第二方向的两侧；所述第十二收集区和所述第十四收集区分设于所述第十收集区的在第二方向的两侧；所述第十一收集区、所述第十二收集区、所述第十三收集区和所述第十四收集区的面积均大于所述第六收集区、第七收集区、第八收集区、所述九收集区和所述第十收集区的面积。
21.本技术一些实施例中，所述第十一收集区、所述第十二收集区、所述第十三收集区和所述第十四收集区在所述第一方向上和所述第二方向的尺寸均大于20mm。
22.由上述技术方案可知，本实用新型实施例至少具有如下优点和积极效果：
23.本实用新型实施例的电离室中，利用将收集极板的收集极层分为面积大小不同的多个收集区，使电离室能够兼顾分辨力和精度。其中，利用其中一收集区的至少在第一方向上尺寸小于20mm，使得电离室在该第一方向上移动检测时，其能够具有较高的分辨力；同时利用其他收集区设于该收集区的周侧，且其他收集区的面积大于该收集区的面积，进而为整个收集极层提供足够的检测面积和检测范围，进而保证电离室在第一方向上移动检测时，具有较高的检测精度，最终实现电离室能够兼顾高分辨力和高精度。
附图说明
24.图1是本实用新型一实施例的电离室的结构示意图。
25.图2是图1的一剖视图。
26.图3是图2中收集极板的第一实施例的俯视图。
27.图4是图2中收集极板的第二实施例的俯视图。
28.图5是图2中收集极板的第三实施例的俯视图。
29.图6是图2中收集极板的第四实施例的俯视图。
30.附图标记说明如下：1、外壳；10、气体腔室；11、盒体；12、盖板；2、高压极板；3、收集极板；31、第一收集区；32、第二收集区；33、第三收集区；34、第四收集区；35、第五收集区；36、第六收集区；37、第七收集区；38、第八收集区；39、第九收集区；310、第十收集区；311、第十一收集区；312、第十二收集区；313、第十三收集区；314、第十四收集区；4、信号引线；5、绝缘端子。
具体实施方式
31.体现本实用新型特征与优点的典型实施方式将在以下的说明中详细叙述。应理解的是本实用新型能够在不同的实施方式上具有各种的变化，其皆不脱离本实用新型的范围，且其中的说明及图示在本质上是当作说明之用，而非用以限制本实用新型。
32.在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
33.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
34.在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是
两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
35.图1是本实用新型一实施例的电离室的结构示意图。图2是图1的一剖视图。
36.请参阅图1和图2，本实用新型实施例提供的电离室主要包括外壳1、高压极板2、收集极板3和信号引线4。
37.其中，外壳1为内部中空的壳体结构。外壳1内形成有密闭的气体腔室10，气体腔室10内填充有一定气压的工作气体。该工作气体可以空气或惰性气体。
38.在一些实施例中，外壳1包括盒体11和盖板12。盒体11的内部中空，且盒体11的顶部开口，盖板12盖合在盒体11的顶部开口处，进而在盒体11与盖板12之间密封围合形成气体腔室10。盒体11和盖板12均采用非铁磁性材料制作，如采用316不锈钢。
39.请参阅图1和图2，高压极板2和收集极板3均设于气体腔室10内，且高压极板2和收集极板3呈平行间隔布置。高压极板2用于接收高压，收集极板3用于接地，进而在高压极板2和低压极板之间形成匀强电场。
40.在一些实施例中，高压极板2设于气体腔室10的上侧，收集极板3位于气体腔室10的下侧，高压极板2和收集极板3呈上下间隔相对布置，进而在高压极板2和收集极板3之间形成上下方向的匀强电场。
41.请参阅图2，在一些实施例中，高压极板2的面向收集极板3的侧面形成有高压极层。同时，收集极板3的面向高压极板2的侧面形成有收集极层。高压极层与收集极层间隔相对。高压极板2和收集极板3均采用绝缘材料制作。高压极层与收集极层均可采用金属镀层，即高压极层为形成于高压极板2的金属镀层，收集极层为形成于收集极板3的金属镀层。高压极层用于接高压，收集极层用于接地，进而在高压极层与收集极层之间形成匀强电场。
42.在一些实施例中，高压极板2和收集极板3均采用fr-4环氧板或者绝缘的抗辐射材料。绝缘的抗辐射材料包括聚酰亚胺、聚醚醚酮、聚丙烯、聚醚酰亚胺或聚乙烯等材料。抗辐射材料的原子序数较低可以减少对射线造成的衰减。
43.请参阅图1和图2，信号引线4的一端伸入气体腔室10内，并用于与收集极板3上的收集极层相接，信号引线4的另一端伸出外壳1外，进而将收集极层上的检测信号引出。
44.在一些实施例中，外壳1的外壁上设有绝缘端子5，绝缘端子5设有多个，每根信号引线4均穿设于一绝缘端子5中，并从该绝缘端子5处伸出外壳1外。绝缘端子5能够提高信号引线4与外壳1之间的阻抗，进而避免信号引线4的检测信号收到干扰。
45.图3是图2中收集极板3的第一实施例的俯视图。
46.请参阅图3，在本实施例中，收集极层包括相互绝缘布置的第一收集区31和第二收集区32。因此，在第一收集区31与高压极层之间以及第二收集区32与高压极层之间均能够产生匀强电场，进而在第一收集区31和第二收集区32均能够接收离子信号，并产生信号电流。
47.请参阅图2和图3，在本实施例中，信号引线4设有两个，两个信号引线4分别连接收集极层上的不同的收集区。具体地，第一收集区31通过一信号引线4将信号电流引出外壳1，第二收集区32也通过另一信号引线4将信号电流引出外壳1。因此，该电流室能够分别接收收集极层上的不同收集区的检测信号。
48.请参阅图3，在本实施例中，第一收集区31和第二收集区32均只设有一个。第二收
集区32呈环状，并环绕布置在第一收集区31的周侧。第一收集区31的面积较小，第二收集区32的面积远大于第一收集区31。因此，第一收集区31能够接收横截面积较小的射线光斑，进而提高电离室的分辨力。同时，第二收集区32的面积比第一收集区31足够大，进而能够满足大覆盖范围的检测，进而保证检测数据的精度，实现电离室对分辨力和检测精度的兼顾。
49.请参阅图3，在本实施例中，第一收集区31为正方形区域。该正方形区域的边长宽度尺寸在5mm-20mm之间。其中，第一收集区31的一边长方向为第一方向，第一收集区31的另一相邻的边长方向为第二方向，第一方向与第二方向相垂直，例如第一方向为横向方向，则第二方向为纵向方向。因此，第一收集区31在第一方向和第二方向上的尺寸宽度均小于20mm，故当电离室内沿第一方向进行横向移动检测时，或沿第二方向进行纵向移动检测时，第一收集区31具有相同的检测长度，进而使电离室均具有相同的分辨力。
50.同时，第二收集区32的面积大于第一收集区31，第二收集区32在第一方向和第二方向的尺寸宽度均大于20mm。故当电离室内沿第一方向进行横向移动检测时，或沿第二方向进行纵向移动检测时，第二收集区32均具有足够的检测范围，进而使电离室均具有足够的检测精度。
51.需要说明的是，在其他一些实施例中，第一收集区31也可以为矩形结构，仅需要保持第一收集区31在第一方向或第二方向的尺寸宽度小于20mm即可。
52.还需要说明的是，在其他一些实施例中，第一收集区31也可以采用圆形、长条形等其他形状。
53.进一步地，在本实施例中，第二收集区32呈圆环形结构，第二收集区32的环形区域的内边与环形区域的外边之间的距离大于20mm。第二收集区32环绕布置在第一收集区31的周侧，第一收集区31设于第二收集区32的中心处，即第一收集区31设于第二收集区32的圆环中心。因此，电离室沿第一方向进行横向移动检测时或沿第二方向进行纵向移动检测时，电离室均具有相同的检测精度。
54.需要说明的是，在其他一些实施例中，第二收集区32可以采用矩形或多边形等其他形状。
55.在一些实施例中，第一收集区31和第二收集区32均采用低电阻率的金属镀层。
56.在一些实施例中，第一收集区31和第二收集区32均可采用金镀层、银镀层或铜镀层。
57.图4是图2中收集极板3的第二实施例的俯视图。
58.请参阅图4，在本实施例中，收集极层包括相互绝缘布置的第三收集区33、第四收集区34和第五收集区35。因此，在第三收集区33与高压极层之间、第四收集区34与高压极层之间以及第五收集区35与高压极层之间均能够产生匀强电场，进而在第三收集区33、第四收集区34和第五收集区35均能够接收离子信号，并产生信号电流。
59.请参阅图2和图4，在本实施例中，信号引线4设有三个，三个信号引线4分别连接收集极层上的不同的收集区。具体地，第三收集区33通过一信号引线4将信号电流引出外壳1，第四收集区34通过另一个信号引线4将信号电流引出外壳1，第五收集区35通过又一个信号引线4将信号电流引出外壳1。因此，该电流室能够分别接收收集极层上的不同收集区的检测信号。
60.请参阅图4，第三收集区33为长条形区域，第四收集区34和第五收集区35分设于第
三收集区33的宽度方向的两侧。如图4所示，在本实施例中，第三收集区33沿纵向方向延伸。第四收集区34和第五收集区35分设于第三收集区33的横向的两侧。
61.需要说明的是，在其他一些实施例中，第三收集区33也可以沿横向检测方向延伸，第四收集区34和第五收集区35分设于第三收集区33的纵向的两侧。
62.在本实施例中，第三收集区33的宽度方向的尺寸为5mm-20mm，第三收集区33的长度尺寸不限定。假如设定第三收集区33的宽度方向为第一方向，第三收集区33的长度方向为第二方向，则第四收集区34和第五收集区35分设于第三收集区33的第一方向的两侧。同时，第四收集区34和第五收集区35的面积大于第三收集区33的面积，第四收集区34和第五收集区35在第一方向上的尺寸均大于20mm。因此，当电离室内沿第一方向进行横向移动检测时，第一收集区31能够为电离室提供较高的分辨力，而第四收集区34和第五收集区35则能够为电离室提供足够的检测范围和检测精度。
63.在一些实施例中，第四收集区34和第五收集区35对称地设于第三收集区33的宽度方向的两侧。需要说明的是，在其他一些实施例中，第四收集区34和第五收集区35也可以不对称设置。
64.在一些实施例中，第四收集区34和第五收集区35均呈拱形区域，拱形区域的内径和外径之间的间距大于20mm。
65.需要说明的是，在其他一些实施例中，第三收集区33也可以采用其他形状结构。
66.在一些实施例中，第三收集区33、第四收集区34和第五收集区35均采用低电阻率的金属镀层。如采用金镀层、银镀层或铜镀层。
67.图5是图2中收集极板3的第三实施例的俯视图。
68.请参阅图5，在本实施例中，收集极层包括相互绝缘布置的第六收集区36、第七收集区37、第八收集区38、第九收集区39和第十收集区310。因此，在第六收集区36、第七收集区37、第八收集区38、第九收集区39和第十收集区310与高压极层之间分别能够产生匀强电场，进而在第六收集区36、第七收集区37、第八收集区38、第九收集区39和第十收集区310均能够产生相应的信号电流。
69.请参阅图2和图5，在本实施例中，信号引线4设有五个，五个信号引线4分别连接收集极层上的不同的收集区。因此，该电流室能够分别接收收集极层上的不同收集区的检测信号。
70.请参阅图5，在本实施例中，第六收集区36为正方形区域。该正方形区域的边长宽度尺寸在5mm-20mm之间。其中，第六收集区36的一边长方向为第一方向，第一收集区31的另一相邻的边长方向为第二方向，第一方向与第二方向相垂直，例如第一方向为横向方向，则第二方向为纵向方向。因此，第六收集区36在第一方向和第二方向上的尺寸宽度均小于20mm，故当电离室内沿第一方向进行横向移动检测时，或沿第二方向进行纵向移动检测时，第六收集区36具有相同的检测长度，进而使电离室均具有相同的分辨力。
71.请参阅图5，在本实施例中，第一方向为纵向方向，第二方向为横向方向。第七收集区37和第八收集区38均呈长条状，并分设于第六收集区36的在第一方向上两侧，且第七收集区37和第八收集区38均沿第一方向延伸。即第七收集区37和第八收集区38分设于第六收集区36的纵向方向上两侧。第七收集区37和第八收集区38的面积大于第六收集区36的面积，第七收集区37和第八收集区38在第一方向上的尺寸均大于20mm。因此，当电离室内沿第
一方向进行纵向移动检测时，第六收集区36能够为电离室提供较高的分辨力，而第七收集区37和第八收集区38则能够为电离室提供足够的检测范围和检测精度。
72.需要说明的是，在一些实施例中，第七收集区37和第八收集区38可以对称地设置在第六收集区36的第一方向的两侧。在其他一些实施例中，第七收集区37和第八收集区38也可以不对称地设置在第六收集区36的第一方向的两侧。
73.请参阅图5，在本实施例中，第九收集区39和第十收集区310分设于第六收集区36的第二方向的两侧。即第九收集区39和第十收集区310分设于第六收集区36的横向的两侧。同时，第九收集区39和第十收集区310的面积大于第六收集区36的面积、第七收集区37和第八收集区38，在第二方向上，第九收集区39和第十收集区310的尺寸均大于20mm。因此，当电离室内沿第二方向进行横向移动检测时，第六收集区36能够为电离室提供较高的分辨力，而第九收集区39和第十收集区310则能够为电离室提供足够的检测范围和检测精度。此外，当电离室内在第七收集区37或第八收集区38处沿第二方向进行横向移动检测时，第七收集区37或第八收集区38也能够为电离室提供较高的分辨力。
74.在一些实施例中，第九收集区39和第十收集区310分设于第七收集区37和第八收集区38的横向的两侧。
75.需要说明的是，在其他一些实施例中，第九收集区39和第十收集区310也可以仅设于第六收集区36的第二方向的两侧。第九收集区39和第十收集区310可以对称设置，也可以不对称设置。
76.还需要说明的是，在其他一些实施例中，第七收集区37和第八收集区38可以对称地设置在第六收集区36的第二方向的两侧。同时，第九收集区39和第十收集区310分设于第六收集区36的第一方向的两侧。
77.在一些实施例中，第六收集区36、第七收集区37、第八收集区38、第九收集区39和第十收集区310均采用低电阻率的金属镀层。如采用金镀层、银镀层或铜镀层。
78.图6是图2中收集极板3的第四实施例的俯视图。
79.请参阅图5和图6，在本实施例中，收集极层包括相互绝缘布置的第六收集区36、第七收集区37、第八收集区38、第九收集区39、第十收集区310、第十一收集区311、第十二收集区312、第十三收集区313和第十四收集区314。因此，在各个收集区与高压极层之间分别能够产生匀强电场，进而在各个收集区均能够产生相应的信号电流。
80.请参阅图2和图6，在本实施例中，信号引线4设有九个，九个信号引线4一一对应地分别连接在收集极层上的不同的收集区。因此，该电流室能够分别接收收集极层上的不同收集区的检测信号。
81.请参阅图5和图6，在本实施例中，第六收集区36为正方形区域。本实施例的第六收集区36的结构与第三实施例的第六收集区36相同，因此，可以参考第三实施例的第六收集区36的结构，在此不做赘述。
82.请参阅图5和图6，在本实施例中，第七收集区37和第八收集区38均为长条型区域，并均沿第一方向延伸，第七收集区37和第八收集区38分设于第六收集区36的在第一方向上两侧。本实施例的第七收集区37和第八收集的结构与第三实施例的第七收集区37和第八收集相同，因此，可以参考第三实施例的第七收集区37和第八收集区38的结构，在此不做赘述。
83.请参阅图5和图6，本实施例的第九收集区39和第十收集区310与第三实施例中的第九收集区39和第十收集区310的结构不同。在本实施例中，第九收集区39和第十收集区310均为长条型区域，并均沿第二方向延伸，第九收集区39和第十收集区310分设于第六收集区36的在第二方向上两侧。即第九收集区39和第十收集区310分设于第六收集区36的横向方向上两侧。第九收集区39和第十收集区310的面积大于第六收集区36的面积，第九收集区39和第十收集区310在第二方向上的尺寸均大于20mm。因此，当电离室内沿第二方向进行横向移动检测时，第六收集区36能够为电离室提供较高的分辨力，而第九收集区39和第十收集区310则能够为电离室提供足够的检测范围和检测精度。
84.需要说明的是，在其他一些实施例中，第九收集区39和第十收集区310也可以仅设于第六收集区36的第二方向的两侧。在其他一些实施例中，第九收集区39和第十收集区310可以对称设置，也可以不对称设置。
85.还需要说明的是，在其他一些实施例中，第七收集区37和第八收集区38可以对称地设置在第六收集区36的第二方向的两侧。同时，第九收集区39和第十收集区310分设于第六收集区36的第一方向的两侧。
86.请参阅图6，在本实施例中，第十一收集区311和第十二收集区312分设于第七收集区37的横向的两侧。即第十一收集区311和第十二收集区312分设于第七收集区37的第二方向的两侧。第十一收集区311和第十二收集区312的面积大于第六收集区36、第七收集区37的面积，第十一收集区311和第十二收集区312在第二方向的尺寸均大于20mm。因此，当电离室内在第七收集区37的纵向高度处，沿第二方向进行横向移动检测时，第七收集区37能够为电离室提供较高的分辨力，而第十一收集区311和第十二收集区312则能够为电离室提供足够的检测范围和检测精度。
87.需要说明的是，在一些实施例中，第十一收集区311和第十二收集区312可以相对第七收集区37对称设置，也可以相对第七收集区37不对称设置。
88.请参阅图6，在本实施例中，第十三收集区313和第十四收集区314分设于第八收集区38的横向的两侧。即第十三收集区313和第十四收集区314分设于第八收集区38的第二方向的两侧。第十三收集区313和第十四收集区314的面积大于第六收集区36、第八收集区38的面积，第十三收集区313和第十四收集区314在第二方向的尺寸均大于20mm。因此，当电离室内在第八收集区38的纵向高度处，沿第二方向进行横向移动检测时，第八收集区38能够为电离室提供较高的分辨力，而第十三收集区313和第十四收集区314则能够为电离室提供足够的检测范围和检测精度。
89.需要说明的是，在一些实施例中，第十三收集区313和第十四收集区314可以相对第八收集区38对称设置，也可以相对第八收集区38不对称设置。
90.请参阅图6，在本实施例中，第十一收集区311和第十三收集区313分设于第九收集区39的纵向的两侧。即第十一收集区311和第十三收集区313分设于第九收集区39的第一方向的两侧。第十一收集区311和第十三收集区313的面积大于第九收集区39的面积，第十一收集区311和第十三收集区313在第一方向的尺寸均大于20mm。因此，当电离室内在第九收集区39的横向位置处，沿第一方向进行纵向移动检测时，第九收集区39能够为电离室提供较高的分辨力，而第十一收集区311和第十三收集区313则能够为电离室提供足够的检测范围和检测精度。
91.需要说明的是，在一些实施例中，第十一收集区311和第十三收集区313可以相对第九收集区39对称设置，也可以相对第九收集区39不对称设置。
92.请参阅图6，在本实施例中，第十二收集区312和第十四收集区314分设于第十收集区310的纵向的两侧。即第十二收集区312和第十四收集区314分设于第十收集区310的第一方向的两侧。第十二收集区312和第十四收集区314面积大于第十收集区310的面积，第十二收集区312和第十四收集区314在第一方向的尺寸均大于20mm。因此，当电离室内在第十收集区310的横向位置处，沿第一方向进行纵向移动检测时，第十收集区310能够为电离室提供较高的分辨力，而第十二收集区312和第十四收集区314则能够为电离室提供足够的检测范围和检测精度。
93.需要说明的是，在一些实施例中，第十二收集区312和第十四收集区314可以相对第十收集区310对称设置，也可以相对第十收集区310不对称设置。
94.在一些实施例中，第十一收集区311、第十二收集区312、第十三收集区313和第十四收集区314均采用低电阻率的金属镀层。如采用金镀层、银镀层或铜镀层。
95.基于上述技术方案，本实用新型实施例至少具有如下积极效果：
96.本实用新型实施例的电离室中，利用将收集极板3的收集极层分为面积大小不同的多个收集区，使电离室能够兼顾分辨力和精度。其中，利用其中一收集区的至少在第一方向上尺寸小于20mm，使得电离室在该第一方向上移动检测时，其能够具有较高的分辨力；同时利用其他收集区设于该收集区的周侧，且其他收集区的面积大于该收集区的面积，进而为整个收集极层提供足够的检测面积和检测范围，进而保证电离室在第一方向上移动检测时，具有较高的检测精度，最终实现电离室能够兼顾高分辨力和高精度。
97.虽然已参照几个典型实施方式描述了本实用新型，但应当理解，所用的术语是说明和示例性、而非限制性的术语。由于本实用新型能够以多种形式具体实施而不脱离实用新型的精神或实质，所以应当理解，上述实施方式不限于任何前述的细节，而应在随附权利要求所限定的精神和范围内广泛地解释，因此落入权利要求或其等效范围内的全部变化和改型都应为随附权利要求所涵盖。