干蚀刻装置的制作方法

1.本实用新型涉及显示面板制造技术领域，尤其涉及一种干蚀刻装置。


背景技术：

2.在oled显示器的制造工艺中，通常会使用到干蚀刻装置对玻璃基板进行干蚀刻处理。干蚀刻是将特定气体置于低压状态下施加电压，将其激发成电浆(等离子体)，对玻璃基板上的膜层进行化学性蚀刻或离子轰击，以实现去除部分膜层并形成图案层的一种蚀刻方式。现有的一种干蚀刻装置，主要包括用于对玻璃基板进行蚀刻处理的蚀刻室，蚀刻室内具有容纳玻璃基板的反应腔，并向反应腔内输入蚀刻气体，蚀刻室的顶部为天线室，天线室内配置有高频天线，通过高频天线在反应腔内形成感应电场，感应电场将蚀刻气体等离子化，最终由蚀刻气体产生的等离子体对玻璃基板进行蚀刻处理。用于输送蚀刻气体的输气管道有两根，两根输气管道并排布置在天线室内，其中一根用于输送稀有气体(例如ar、xe、kr)，另一根用于输送氟碳气体(例如cf4、c2f6、c4f8)。现有技术存在以下不足：由于两根输气管道间隔较近，在干蚀刻装置运行时，两根输气管道受到外力而发生窜动，在高压电场下当两根输气管道相接触时会发生电弧放电、烧穿，进而造成设备损坏。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提出一种干蚀刻装置，其可避免气管组受到外力时窜动而发生电弧放电。
4.为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：
5.提供的一种干蚀刻装置，包括蚀刻室和设置在所述蚀刻室顶部的天线室，所述蚀刻室内设有反应腔，所述天线室内设置有天线和气管组，所述气管组通过喷嘴向所述反应腔内输送蚀刻气体，所述气管组包括第一输气管和第二输气管，所述天线室内设置有固定座，所述第一输气管和所述第二输气管通过所述固定座固定在所述天线室内，所述第一输气管和所述第二输气管间隔设置，且所述第一输气管与所述第二输气管通过绝缘的管夹隔开。
6.作为干蚀刻装置的一种优选方案，所述固定座为多个，多个所述固定座沿所述气管组的长度方向间隔分布；和/或，
7.所述管夹为多个，多个所述管夹沿所述气管组的长度方向间隔分布。
8.作为干蚀刻装置的一种优选方案，沿所述气管组的长度方向，相邻两个所述固定座之间的间距小于1m，相邻两个所述管夹之间的间距小于0.5m。
9.作为干蚀刻装置的一种优选方案，所述天线室包括第二壳体和盖板，所述第二壳体具有容纳槽，所述容纳槽的槽口朝向所述蚀刻室，所述盖板封堵所述容纳槽的槽口，所述固定座通过紧固件与所述第二壳体连接，所述固定座设置有用于容纳所述气管组的安装槽，所述第一输气管和所述第二输气管卡紧在所述安装槽内。
10.作为干蚀刻装置的一种优选方案，所述第一输气管和所述第二输气管沿水平方向
间隔设置于所述安装槽内。
11.作为干蚀刻装置的一种优选方案，沿所述容纳槽的宽度方向，所述固定座相对的两个侧面分别为第一侧面和第二侧面，所述紧固件穿设于所述安装槽与所述第一侧面或所述第二侧面之间，且所述紧固件与距离较近的所述第一侧面或所述第二侧面的间距小于所述紧固件与所述安装槽的间距。
12.作为干蚀刻装置的一种优选方案，所述第二壳体内设置有隔离罩，所述天线嵌设于所述隔离罩内，所述固定座与所述隔离罩连接。
13.作为干蚀刻装置的一种优选方案，所述管夹上间隔开设有两个通孔，所述第一输气管和所述第二输气管分别穿设于两个所述通孔内。
14.作为干蚀刻装置的一种优选方案，所述管夹包括两个夹板，两个所述夹板通过紧固件连接，所述第一输气管和所述第二输气管夹设在两个所述夹板之间，两个所述夹板相对的侧面为第三侧面，所述第三侧面上设置有两个分别用于容纳所述第一输气管和所述第二输气管的凹槽。
15.作为干蚀刻装置的一种优选方案，所述固定座和所述管夹均由树脂制成。
16.本实用新型相比于现有技术的有益效果：
17.本实用新型的干蚀刻装置，通过设置固定座和管夹，两根输气管间隔安装在固定座上，且两个输气管通过固定座安装在天线室内，避免在运行时因受到外力而使两根输气管相碰而发生电弧放电、烧穿。同时，利用管夹将两个输气管隔开，进一步起到避免两根输气管相碰的作用。该结构可避免干蚀刻装置在运行时输气管与其他零部件发生相碰或两根输气管之间发生相碰，进而避免发生电弧放电、烧穿，保证该干蚀刻装置的正常运行。
附图说明
18.图1为本实用新型实施例的干蚀刻装置的示意图。
19.图2为本实用新型实施例的天线室的示意图(盖板未示出)。
20.图3为本实用新型实施例的固定座的剖视图。
21.图4为本实用新型实施例的管夹的剖视图。
22.图5为本实用新型实施例的固定座和隔离罩的剖视图。
23.图中：
24.1、蚀刻室；10、反应腔；11、第一壳体；12、下电极；13、排气口；2、天线室；20、容纳槽；21、第一输气管；22、第二输气管；23、第二壳体；231、隔离罩；232、安装板；24、盖板；25、喷嘴；26、固定座；261、螺钉；262、安装槽；263、第一侧面；264、第二侧面；27、管夹；271、夹板；272、凹槽；28、天线；3、玻璃基板；4、第一气源；5、第二气源。
具体实施方式
25.参考下面结合附图详细描述的实施例，本实用新型的优点和特征以及实现它们的方法将变得显而易见。然而，本实用新型不限于以下公开的实施例，而是可以以各种不同的形式来实现，提供本实施例仅仅是为了完成本实用新型的公开并且使本领域技术人员充分地了解本实用新型的范围，并且本实用新型仅由权利要求的范围限定。相同的附图标记在整个说明书中表示相同的构成要素。
26.以下，参照附图来详细描述本实用新型。
27.如图1和图2所示，提供一种干蚀刻装置，用于对玻璃基板3进行蚀刻处理。干蚀刻装置包括蚀刻室1、天线室2、第一气源4和第二气源5。蚀刻室1内设置有反应腔10，反应腔10的底部设置有下电极12，玻璃基板3放置在下电极12上。天线室2设置在蚀刻室1的顶部，且天线室2与下电极12正对。天线室2内设置有天线28和气管组，气管组包括第一输气管21和第二输气管22，第一输气管21的两端分别与第一气源4和喷嘴25连接，第二输气管22的两端分别与第二气源5和喷嘴25连接，喷嘴25的出气端与反应腔10连通，以使第一气源4通过第一输气管21向反应腔10内输入氟碳气体，例如cf4、c2f6、c4f8等气体，第二气源5通过第二输气管22向反应腔10内输入稀有气体，例如ar、xe、kr等气体。本实施例中，用于进行蚀刻处理的蚀刻气体是在氟碳气体中混合至少一种稀有气体。天线28与高频电源连接，通过天线28被施加高频电压而在反应腔10内形成感应电场，感应电场将蚀刻气体等离子化，最后由蚀刻气体产生的等离子体对玻璃基板3进行蚀刻处理。下电极12上设置有偏压电极，通过偏压电极诱导等离子体对玻璃基板3进行等离子轰击。第一输气管21和第二输气管22用于输送蚀刻气体(氟碳气体、稀有气体以及两者的混合物均称作蚀刻气体)，第一输气管21和第二输气管22平行且间隔分布，喷嘴25有多个，第一输气管21和第二输气管22依次途径每个喷嘴25，且每个喷嘴25均通过连接管与第一输气管21和第二输气管22连通。天线室2内设置有固定座26，第一输气管21和第二输气管22间隔设置在固定座26上，并使第一输气管21和第二输气管22通过固定座26固定在天线室2内。该结构使得第一输气管21和第二输气管22之间相互间隔，避免两者相碰而产生电弧放电、烧穿。同时，也可以通过固定座26将第一输气管21和第二输气管22固定在天线室2的第二壳体23上，避免该装置在运行过程中气管组因受外力而发生窜动。第一输气管21和第二输气管22上还设置有管夹27，管夹27用于将第一输气管21和第二输气管22隔开，避免两者在受到外力时因发生窜动、接触而产生电弧放电。
28.可选地，参照图1、图2和图5所示，蚀刻室1包括第一壳体11，天线室2设置于第一壳体11的顶部，且天线室2与第一壳体11之间形成反应腔10。第一壳体11靠近其底部的侧壁上设置有排气口13，反应腔10通过排气口13与外部连通。干蚀刻装置还包括排气单元，排气单元包括排气管路和设置在排气管路上的涡轮分子泵，排气管路与排气口13连接。参与蚀刻处理后的蚀刻气体通过排气单元排出反应腔10。天线室2包括第二壳体23和盖板24，第二壳体23具有容纳槽20，容纳槽20的槽口朝向蚀刻室1，盖板24封堵在容纳槽20的槽口，使得天线室2内部形成密闭空间。第二壳体23包括壳本体和设置于壳本体上的隔离罩231和安装板232，隔离罩231用于固定天线28，天线28嵌设在隔离罩231内。安装板232为多个，多个安装板232在容纳槽20内纵横相交分布，以使喷嘴25、气管组、天线28以及其他零部件能够固定在安装板232上。多个喷嘴25呈阵列分布，喷嘴25固定在安装板232上，喷嘴25的出口端穿过盖板24延伸至反应腔10内。第一输气管21和第二输气管22在容纳槽20内呈“s”形往复弯折设置，以使气管组依次经过每个喷嘴25的安装位置。固定座26与安装板232可拆卸连接，第一输气管21和第二输气管22通过固定座26安装在安装板232上。第一输气管21和第二输气管22的入口端穿过第二壳体23的侧壁分别与第一气源4和第二气源5连接。
29.固定座26和管夹27均为多个，多个固定座26沿气管组的长度方向间隔分布，多个管夹27沿气管组的长度方向间隔分布。为放置气管组受到外力时发生窜动，沿气管组的长
度方向，相邻两个固定座26之间的间距小于1m，相邻两个管夹27之间的间距小于0.5m，且管夹27与固定座26间隔。在具体实施时，固定座26和管夹27的布置位置可根据第一输气管21和第二输气管22的具体尺寸、刚度做适应性选择，目的在于提高气管组的刚性，避免在受到外力时发生窜动。
30.可选地，参照图3所示，固定座26与第二壳体23的安装板232可拆卸连接。固定座26上开设有安装槽262，安装槽262的槽口朝向安装板232。安装槽262的宽度与第一输气管21和第二输气管22的直径配合设置，以使第一输气管21和第二输气管22能够被卡紧在安装槽262内。为保证第一输气管21和第二输气管22在固定座26上的安装稳固性，第一输气管21和第二输气管22沿水平方向间隔设置在安装槽262内，以避免第一输气管21或第二输气管22在重力作用下以及外力作用下相互靠拢。沿安装槽262的宽度方向，固定座26相对的两侧面分别为第一侧面263和第二侧面264，即图3中所示的固定座26的顶面和底面分别为第一侧面263和第二侧面264。固定座26通过紧固件与安装板232连接，紧固件为螺钉261，当然在其他实施例中，紧固件还可以是螺栓、螺柱、铆钉等。螺钉261为至少两个，两个螺钉261分别在安装槽262的上方和下方。位于上方的螺钉261靠近固定座26的顶部，即位于上方的螺钉261穿设在第一侧面263与安装槽262之间；位于下方的螺钉261靠近固定座26的底部，即位于下方的螺钉261穿设在第二侧面264与安装槽262之间。该结构使得螺钉261的安装位置尽量远离安装槽262，以避免固定座26被破坏后螺钉261与气管组接触而产生电弧放电。本实施例中，螺钉261与安装槽262的间距为l1，螺钉261与第一侧面263或第二侧面264的间距为l2，l2＜l1。固定座26采用树脂制成，使得固定座26具有良好的绝缘性和抗热化能力。
31.需要说明的是，安装槽262的宽度方向为图3所示的竖直方向。
32.可选地，参照图5所示，天线28嵌设于隔离罩231内，隔离罩231为绝缘材料制成。隔离罩231固定在第二壳体23的壳本体或安装板232上。本实施例中，固定座26还可以与隔离罩231通过螺钉261连接。隔离罩231上设置有用于旋拧螺钉261的螺纹孔，固定座26与隔离罩231通过螺钉261连接固定。
33.可选地，参照图4所示，管夹27包括两个夹板271，两个夹板271对扣在一起并通过紧固件可拆卸连接。紧固件为螺钉261、螺栓、螺柱或铆钉等。两个夹板271相对的侧面为第三侧面，第三侧面上设置有两个凹槽272，两个凹槽272分别用于容纳第一输气管21和第二输气管22。第一输气管21和第二输气管22夹设在两个夹板271之间，且两个输气管分别容纳在对应的凹槽272内。该结构使得两个输气管能够彼此隔开，避免在受到外力是因发生窜动而相互接触。管夹27由绝缘材料制成。本实施例中，管夹27采用树脂制成，以使管夹27具有良好的绝缘性和抗热化能力。
34.在另一实施例中，管夹27为方形块状结构，管夹27上间隔开设有两个通孔，两个通孔沿水平方向间隔分布，第一输气管21和第二输气管22分别穿设于两个通孔内，以实现第一输气管21与第二输气管22通过管夹27隔开。
35.具体地，第一壳体11和第二壳体23有铝或铝合金制成，且第一壳体11和第二壳体23的内壁进行阳极氧化处理。盖板24为陶瓷、石英材料制成。
36.本实施例的技术效果为：通过设置固定座26和管夹27，两根输气管间隔安装在固定座26上，且两个输气管通过固定座26安装在天线室2内，避免在运行时因受到外力而使两根输气管相碰而发生电弧放电、烧穿。同时，利用管夹27将两个输气管隔开，进一步起到避
免两根输气管相碰的作用。该结构可避免干蚀刻装置在运行时输气管与其他零部件发生相碰或两根输气管之间发生相碰，进而避免发生电弧放电、烧穿，保证该干蚀刻装置的正常运行。
37.尽管上面已经参考附图描述了本实用新型的实施例，但是本实用新型不限于以上实施例，而是可以以各种形式制造，并且本领域技术人员将理解，在不改变本实用新型的技术精神或基本特征的情况下，可以以其他特定形式来实施本实用新型。因此，应该理解，上述实施例在所有方面都是示例性的而不是限制性的。