可更换式晶圆吸盘的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆测试设备技术领域，具体而言，涉及一种可更换式晶圆吸盘。


背景技术：

2.目前，在晶圆加工设备、检测设备等领域都有晶圆吸盘，晶圆吸盘的作用是利用真空将晶圆吸附在其表面上。针对不同类型的晶圆产品，需要用到不同类型的晶圆吸盘进行吸附。例如常规晶圆用普通吸盘，薄晶圆、翘曲晶圆一般就要用微孔吸盘，或者一些电性能测试项目需要耐高压、低噪声吸盘等。
3.针对不同类型的晶圆需要不同类型的晶圆吸盘适配，晶圆吸盘的错装会造成晶圆吸附不紧造成晶圆检测出现误差，致使造成检测成本增大，同时晶圆吸盘频繁更换，晶圆吸盘固定安装会造成人力即时间消耗，例如现有技术在组装过程中难以识别晶圆吸盘的类型，容易造成装错的风险，晶圆吸盘通常采用螺钉固定在载台上，装错会重复增加拆卸和安装的工序，进而造成人力、资源的浪费。
4.也就是说，现有技术中的晶圆吸盘存在晶圆吸盘识别难的问题。


技术实现要素：

5.本实用新型的主要目的在于提供一种可更换式晶圆吸盘，以解决现有技术中的晶圆吸盘存在晶圆吸盘识别难的问题。
6.为了实现上述目的，根据本实用新型的一个方面，提供了一种可更换式晶圆吸盘，包括：底座；晶圆吸盘结构，晶圆吸盘结构与底座可拆卸地连接；接触式检测结构，位于底座与晶圆吸盘结构之间，用于检测晶圆吸盘结构的类型。
7.进一步地，接触式检测结构包括信号导通部和信息判断部，信号导通部与信息判断部信号连接，信息判断部接收并判断信号导通部的电信号信息，进而识别晶圆吸盘结构的类型。
8.进一步地，信号导通部包括接触件和接触端子，接触件和接触端子中的一者设置于晶圆吸盘结构上，接触端子和接触件中的另一者设置于底座上，信息判断部与接触件和接触端子中的一者信号连接。
9.进一步地，信号导通部包括设置在晶圆吸盘结构上的接触件和设置在底座上的接触端子，不同的晶圆吸盘结构具有的接触件的个数、大小、位置、结构中的至少之一不同，接触端子包括多个，接触件与对应的接触端子信号连接，以使信息判断部根据接收到的接触件与接触端子的导通信号检测晶圆吸盘结构的类型。
10.进一步地，接触件包括相互串联的第一接触件和第二接触件，接触端子的个数为多个且固定，接触端子包括接地的第一接触端子，晶圆吸盘结构与底座连接时，第一接触件和第二接触件中的一者与第一接触端子信号连接，第二接触件和第一接触件中的另一者与另一个接触端子信号连接。
11.进一步地，信息判断部包括：i/o结构，i/o结构与信号导通部信号连接，用于接收
信号导通部的导通信号；控制结构，与i/o结构信号连接，接收i/o结构传输的导通信号，并根据导通信号识别晶圆吸盘结构(10)的类型。
12.进一步地，可更换式晶圆吸盘还包括卡接结构，卡接结构为一个或多个，当卡接结构为多个时，多个卡接结构绕底座的周向间隔设置；和/或卡接结构包括卡接件和卡接槽，卡接件和卡接槽中的一个设置在底座上，卡接件和卡接槽中的另一个设置在晶圆吸盘结构上。
13.进一步地，底座具有容纳槽，晶圆吸盘结构的至少一部分位于容纳槽内，卡接结构包括：卡接槽，设置在晶圆吸盘结构的侧壁上，且在晶圆吸盘结构与底座装配时，卡接槽位于容纳槽内；卡接件，用于运动地穿设在底座的侧壁上，卡接件的卡接端伸入容纳槽内与卡接槽卡接。
14.进一步地，可更换式晶圆吸盘还包括调节螺柱，调节螺柱的至少一部分经容纳槽的底部伸入容纳槽内，且与晶圆吸盘结构的底部相抵接；和/或底座包括彼此连接大径段和小径段，大径段具有容纳槽，小径段在大径段上的投影避让调节螺柱。
15.进一步地，调节螺柱与卡接件之间呈角度设置。
16.应用本实用新型的技术方案，可更换式晶圆吸盘包括底座、晶圆吸盘结构和接触式检测结构，晶圆吸盘结构与底座可拆卸地连接；接触式检测结构位于底座与晶圆吸盘结构之间，接触式检测结构用于检测晶圆吸盘结构的类型。
17.通过设置接触式检测结构，使得可通过接触式检测结构检测晶圆吸盘结构的类型，从而判断晶圆吸盘结构是否为需要的类型，然后通过晶圆吸盘结构与底座可拆卸地连接，使得当接触式检测结构识别晶圆吸盘结构的类型不是所需的类型时，操作人员可手动将晶圆吸盘结构拆卸下来，然后将需要的晶圆吸盘结构安装在底座上，以实现晶圆吸盘结构的灵活且快速的更换，增加了更换效率。本技术通过设置接触式检测结构，使得本技术的可更换式晶圆吸盘能够识别底座上的晶圆吸盘结构类型，从而匹配待吸附晶圆的类型，保证了可更换式晶圆吸盘的使用可靠性，同时可根据待吸附晶圆的类型，快速的更换适配的晶圆吸盘结构，以使得本技术的可更换式晶圆吸盘能够选择性地安装多种晶圆吸盘结构，进而保证本技术的可更换式晶圆吸盘能够适配多种晶圆，增加了应用范围，保证了通用性，另外本技术可实现多种晶圆的吸附工作，只需更换晶圆吸盘结构即可，避免了设置多个载体的情况，节省了部件，节约成本。
附图说明
18.构成本技术的一部分的说明书附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：
19.图1示出了本实用新型的一个可选实施例的可更换式晶圆吸盘的结构示意图；
20.图2示出了图1中的卡接结构和调节螺柱的装配示意图；
21.图3示出了本实用新型的晶圆吸盘结构与底座的装配示意图；
22.图4示出了本实用新型的可更换式晶圆吸盘的接触式检测结构的示意图；
23.图5示出了本实用新型的可更换式晶圆吸盘的接触式检测结构的另一个示意图；
24.图6示出了本实用新型的可更换式晶圆吸盘的接触式检测结构的电路原理示意
图。
25.其中，上述附图包括以下附图标记：
26.10、晶圆吸盘结构；20、底座；21、容纳槽；30、接触式检测结构；31、接触件；32、接触端子；40、卡接件；41、旋钮端；50、卡接槽；60、调节螺柱。
具体实施方式
27.需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。
28.需要指出的是，除非另有指明，本技术使用的所有技术和科学术语具有与本技术所属技术领域的普通技术人员通常理解的相同含义。
29.在本实用新型中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上、下、顶、底”通常是针对附图所示的方向而言的，或者是针对部件本身在竖直、垂直或重力方向上而言的；同样地，为便于理解和描述，“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内、外，但上述方位词并不用于限制本实用新型。
30.为了解决现有技术中的晶圆吸盘存在晶圆吸盘识别难的问题，本实用新型提供了一种可更换式晶圆吸盘。
31.如图1至图6所示，可更换式晶圆吸盘包括底座20、晶圆吸盘结构10和接触式检测结构30，晶圆吸盘结构10与底座20可拆卸地连接；接触式检测结构30位于底座20与晶圆吸盘结构10之间，接触式检测结构30用于检测晶圆吸盘结构10的类型。
32.通过设置接触式检测结构30，使得可通过接触式检测结构30检测晶圆吸盘结构10的类型，从而判断晶圆吸盘结构10是否为需要的类型，然后通过晶圆吸盘结构10与底座20可拆卸地连接，使得当接触式检测结构30识别晶圆吸盘结构10的类型不是所需的类型时，操作人员可手动将晶圆吸盘结构10拆卸下来，然后将需要的晶圆吸盘结构10安装在底座20上，以实现晶圆吸盘结构10的灵活且快速的更换，增加了更换效率。本技术通过设置接触式检测结构30，使得本技术的可更换式晶圆吸盘能够识别底座20上的晶圆吸盘结构10类型，从而匹配待吸附晶圆的类型，保证了可更换式晶圆吸盘的使用可靠性，同时可根据待吸附晶圆的类型，快速的更换适配的晶圆吸盘结构10，以使得本技术的可更换式晶圆吸盘能够选择性地安装多种晶圆吸盘结构10，进而保证本技术的可更换式晶圆吸盘能够适配多种晶圆，增加了应用范围，保证了通用性，另外本技术可实现多种晶圆的吸附工作，只需更换晶圆吸盘结构10即可，避免了设置多个载体的情况，节省了部件，节约成本。
33.由于现有技术中的设备无法识别晶圆吸盘结构10的类型，且晶圆吸盘结构10更换效率较低，因此本技术针对上述现有技术中的缺陷设置了本技术，本技术通过设置晶圆吸盘结构10与底座20可拆卸地连接，实现晶圆吸盘结构10的灵活快速更换，保证了更换效率，解决了晶圆吸盘结构10更换效率较低的问题；通过设置接触式检测结构30，使得接触式检测结构30能够识别晶圆吸盘结构10的类型，以匹配待吸附晶圆，克服了无法识别晶圆吸盘结构10的类型的缺陷。
34.具体的，接触式检测结构30包括信号导通部和信息判断部，信号导通部与信息判断部信号连接，信息判断部接收并判断信号导通部的电信号信息，进而识别晶圆吸盘结构10的类型。
35.具体的，信号导通部包括接触件31和接触端子32，接触件31和接触端子32中的一者设置于晶圆吸盘结构10上，接触端子32和接触件31中的另一者设置于底座20上，信息判断部与接触件31和接触端子32中的一者信号连接。
36.在本技术的具体实施中，信号导通部包括接触件31和接触端子32，接触件31设置在晶圆吸盘结构10上，接触端子32设置在底座20上，不同的晶圆吸盘结构10具有的接触件31的个数、大小、位置、结构中的至少一项不同，接触端子32包括多个，接触件31与对应的接触端子32信号连接，以使信息判断部根据接收到的接触件31与接触端子32的导通信号检测晶圆吸盘结构10的类型。通过在晶圆吸盘结构10上设置接触件31，使得晶圆吸盘结构10具有了识别特征，又通过在底座20上设置接触端子32，使得为晶圆吸盘结构10的接触件31提供了连接位置，使得当晶圆吸盘结构10的接触件31与底座20上的对应的接触端子32信号连接时，信息判断部可根据接触件31与接触端子32的导通信号识别判断晶圆吸盘结构10的类型，从而判断是否为所需类型。当然本领域技术人员可知，接触件31可设置在底座20上，接触端子32可设置在晶圆吸盘结构10上，只要能够实现接触件31与接触端子32的信号连接，并将导通信号传输至信息判断部即可。
37.信息判断部与接触件31信号连接或信息判断部与接触端子32信号连接，实现信号交互，进而实现信息判断部的信息识别判断，从而判断晶圆吸盘结构10的类型。
38.以接触件31设置在晶圆吸盘结构10上，接触端子32设置在底座20上为例说明。
39.不同的晶圆吸盘结构10具有的接触件31的个数不同，例如普通吸盘具有两个接触件31、微孔吸盘具有三个接触件31等，接触件31与接触端子32导通后形成的通路不同，进而信息判断部可根据通路个数来区分晶圆吸盘结构10的类型；或者不同的晶圆吸盘结构10具有的接触件31的大小不同，例如普通吸盘的接触件31的尺寸大于微孔吸盘的接触件31的尺寸等，接触件31与接触端子32大小适配进而实现电路导通，信息判断部可根据通路信号来区分晶圆吸盘结构10的类型；或者不同的晶圆吸盘结构10具有的接触件31的位置不同，相同位置的接触件31与接触端子32适配进而实现电路导通，信息判断部可根据通路信号来区分晶圆吸盘结构10的类型；或者不同的晶圆吸盘结构10具有的接触件31的结构不同，如三角形、矩形、棱形等，相同结构的接触件31与接触端子32适配进而实现电路导通，信息判断部可根据通路信号来区分晶圆吸盘结构10的类型。
40.当然根据设计需要，不同晶圆吸盘结构10之间所设接触件31区别类型包括数量、大小、位置、结构中的至少之一，进而实现信息判断部根据接触件31与接触端子32之间导通信号判断晶圆吸盘结构类型。
41.在其中一种实施方式中，接触件31包括相互串联的第一接触件和第二接触件，接触端子32的个数为多个且个数固定，接触端子32包括接地的第一接触端子，晶圆吸盘结构10与底座20连接时，第一接触件和第二接触件中的一者与第一接触端子信号连接，第二接触件和第一接触件中的另一者与不是第一接触端子的另一个接触端子信号连接。
42.在其中一种实施方式中，不同的晶圆吸盘结构10具有的接触件31的个数、大小、结构相同，但是不同晶圆吸盘结构10具有的接触件31的位置不同时，底座上的接触端子32的个数固定，信息判断部根据接触件31与接触端子32接触形成的信号导通通路判断晶圆吸盘结构10的类型；
43.接触件31包括相互串联的第一接触件和第二接触件，接触端子32为四个，四个接
触端子32分别是第一接触端子、第二接触端子、第三接触端子和第四接触端子。第一接触端子接地。晶圆吸盘结构10与底座20连接时，晶圆吸盘结构10的第一接触件、第二接触件与底座20的两个接触端子32导通，信息判断部根据各接触端子32导通状态自动判断晶圆吸盘结构10的类型。例如第一种晶圆吸盘结构的第一接触件和第二接触件分别与第一接触端子和第二接触端子连接；第二种晶圆吸盘结构的第一接触件和第二接触件分别与第一接触端子和第三接触端子连接；第三种晶圆吸盘结构的第一接触件和第二接触件分别与第二接触端子和第四接触端子连接等等；由于不同类型的晶圆吸盘结构10的两个接触件31的位置不同，这样使得不同类型的晶圆吸盘结构10的两个接触件31与底座的不同位置的四个接触端子32中的两个连接，从而形成不同导通通路，信息判断部根据各接触端子32导通信号判断晶圆吸盘结构10的类型。当然上述不同的晶圆吸盘结构10具有的接触件31的个数不限，也可均为三个、四个或者以上的个数，接触端子32的个数不进行限定，可为五个、六个或者以上的个数。
44.在其中一种实施方式中，不同的晶圆吸盘结构10具有的接触件31的个数不同，接触件31大小、结构相同，底座20上的接触端子32的个数固定时，信息判断部可根据接触件31与接触端子32的连接个数判断晶圆吸盘结构10的类型；
45.第一种晶圆吸盘结构的接触件31为两个，第二种晶圆吸盘结构的接触件31为三个，第三种晶圆吸盘结构的接触件31为四个，其中各接触件31相互连接，接触端子32为四个，四个接触端子32分别是第一接触端子、第二接触端子、第三接触端子和第四接触端子；晶圆吸盘结构10与底座20连接时，晶圆吸盘结构10的各接触件31与底座20的对应接触端子32导通，信息判断部根据各接触端子32导通状态自动判断晶圆吸盘结构10的类型。例如第一种晶圆吸盘结构的两个接触件31分别与第一接触端子和第二接触端子连接；第二种晶圆吸盘结构的三个接触件31分别与第一接触端子、第二接触端子、第三接触端子连接；第三种晶圆吸盘结构的四个接触件31分别与第一接触端子、第二接触端子、第三接触端子和第四接触端子连接；信息判断部可根据接触端子32的导通个数判断晶圆吸盘结构10的类型。当然上述不同的晶圆吸盘结构10具有的接触件31的个数不限，也可为四个以上的个数，接触端子32的个数不进行限定，可为五个、六个或者以上的个数。
46.在其中一个实施方式中，不同的晶圆吸盘结构10具有的接触件31的个数相同、位置相同、结构不相同，底座上的接触端子32的个数固定时，对应位置的接触件31与接触端子32结构适配即可实现通路，信息判断部根据是否能够接收到导通信号而判断晶圆吸盘结构10类型，例如接触件31与接触端子32适配结构为三角形、矩形、棱形等中的一种，不同的适配结构对应不同的晶圆吸盘结构10的类型。
47.当然根据本领域技术人员可知，上述实现方式对于接触件31设置于底座20，接触端子32设置于晶圆吸盘结构10上同样适用，在此不再详细阐述。
48.如图6所示，信息判断部包括i/o结构和控制结构，i/o结构与信号导通部信号连接，i/o结构用于接收信号导通部的导通信号并传输至控制结构，控制结构与i/o结构信号连接，控制结构用于接收i/o结构传输的导通信号，控制结构根据接收到的导通信号识别晶圆吸盘结构10的类型。i/o结构与底座20上的接触端子32信号连接或者i/o结构与晶圆吸盘结构10上的接触件31信号连接。只要实现接触端子32与接触件31导通后将导通信号传输至i/o结构即可。
49.如图3至图6所示，接触件31的个数为两个，接触件31包括相互串联的第一接触件和第二接触件，接触端子32为四个，四个接触端子32由右至左分别是第一接触端子、第二接触端子、第三接触端子和第四接触端子，其中，第一接触端子接地设置，在本实施例中，晶圆吸盘结构10与底座20连接时，晶圆吸盘结构10的第一接触件和第二接触件与底座20的多个接触端子32中的两个接触端子32信号连接，其中第一接触件和第二接触件中的一者与第一接触端子连接，第一接触件和第二接触件中的另一者与另一个接触端子32连接，底座20上的四个接触端子32均与i/o结构连接，i/o结构将接触端子32与接触件31的导通信号传输至控制结构，控制结构根据接收到的导通信号信息判断晶圆吸盘结构10的类型。
50.在本实施例中，晶圆吸盘结构10固定在底座20上时，保证第一接触件和第二接触件中的一者与第一接触端子连接，进而第二接触件和第一接触件中的另一者与另一个接触端子32连接后，第一接触件、第二接触件、对应的两个接触端子32之间形成通路，由于第一接触端子接地，形成通路后，第一接触端子会将整个通路的电信号拉低，进而信号导通部输出低电平信号至i/o结构，i/o结构上的对应输入点位会被触发，进而i/o结构将信号传输至控制结构，利用晶圆吸盘结构10上的接触件31和底座20上的接触端子32导通的不同状态来自动判断晶圆吸盘结构10的类型，以实现自动识别晶圆吸盘结构10的类型的效果，这样便于与待吸附晶圆进行匹配，自动识别晶圆吸盘结构10的类型，更换晶圆吸盘结构10后不需要操作人员设置，控制结构可根据晶圆吸盘结构10的类型自动调取对应参数，以进行后续工作。
51.当然本领域技术人员可知，不同晶圆吸盘结构10之间所设接触件31区别类型包括数量、大小、位置、结构中的至少一项，信息判断部根据接触件31与接触端子32之间导通后的导通通路判断晶圆吸盘结构10的类型。
52.需要说明的是，上述晶圆吸盘结构10的类型与输入点位之间的对应关系事先定义好即可。
53.为了实现晶圆吸盘结构10与底座20的快拆卸地连接，本技术的可更换式晶圆吸盘还包括卡接结构，晶圆吸盘结构10通过卡接结构与底座20可拆卸地连接。卡接结构为一个或多个，当卡接结构为多个时，多个卡接结构绕底座20的周向间隔设置。通过设置卡接结构，在实现晶圆吸盘结构10的灵活快速拆卸和安装的前提下，将卡接结构设置为多个，且多个卡接结构绕底座20的周向间隔设置，增加了卡接结构的个数，这样可保证晶圆吸盘结构10在与底座20装配时，可通过多个卡接结构的卡接稳定将晶圆吸盘结构10安装在底座20上，避免了后续工作过程中晶圆吸盘结构10晃动或脱离的风险，保证了晶圆吸盘结构10与底座20的装配强度，进而保证了装配稳定性。
54.在本技术的一个可选实施例中，卡接结构包括卡接件40和卡接槽50，卡接件40和卡接槽50中一个设置在底座20上，卡接件40和卡接槽50中的另一个设置在晶圆吸盘结构10上。
55.在本技术的未示出的实施例中，卡接件40可以是设置在底座20的容纳槽21的侧面上的凸起部；但是在本技术的具体实施例中，卡接件40呈柱状，且卡接件是穿设在底座20的侧壁上的。
56.如图1和图2所示，底座20具有容纳槽21，当晶圆吸盘结构10与底座20装配时，晶圆吸盘结构10的至少一部分位于容纳槽21内，卡接结构包括卡接件40和卡接槽50，卡接件40
用于运动地穿设在底座20的侧壁上，且卡接件40的卡接端伸入至容纳槽21内与卡接槽50卡接，卡接件40远离卡接端的一端为旋钮端41，旋钮端41始终位于底座20的外侧且旋钮端41的外径大于卡接端的外径，这样便于操作人员手动操作旋钮端41以使卡接件40旋进或旋出；卡接槽50设置在晶圆吸盘结构10的侧壁上，且在晶圆吸盘结构10与底座20装配时，卡接槽50位于容纳槽21内。在装配时，将晶圆吸盘结构10放置在底座20上，以使晶圆吸盘结构10的至少一部分位于容纳槽21内，此时晶圆吸盘结构10上的卡接槽50位于容纳槽21内，然后手动操作旋入卡接件40，使得卡接件40的卡接端伸入卡接槽50内并与卡接槽50卡接，实现装配工作；当晶圆吸盘结构10的类型不匹配需要更换时，操作人员手动操作卡接件40旋出，以使卡接件40的卡接端离开卡接槽50，然后即可将晶圆吸盘结构10拆卸下来。通过卡接件40和卡接槽50能够实现晶圆吸盘结构10的灵活且快速更换，仅需一名操作人员即可实现，且操作简单，容易上手，保证了更换效率。
57.具体的，上述卡接槽50为v型槽，卡接件40的卡接端为三角形，卡接端的一条三角边与v型槽的一边抵接，v型槽的结构设置有利于对卡接件40的位置形成限位，便于卡接件40的卡接端与v型槽的紧密配合，有利于保证卡接强度，保证卡接稳定性。同样的，卡接槽50的形状可根据实际情况进行调整，本技术仅示出了一个具体实施例，但不限于此。
58.如图1和图2所示，为了保证底座20上的晶圆吸盘结构10的装配稳定性和水平状态，可更换式晶圆吸盘还包括调节螺柱60，调节螺柱60的至少一部分经容纳槽21的底部伸入容纳槽21内，且与晶圆吸盘结构10的底部相抵接；当晶圆吸盘结构10与底座20装配时，晶圆吸盘结构10的至少一部分位于容纳槽21内，且调节螺柱60的顶端和卡接件40的卡接端将晶圆吸盘结构10的底部夹持限位在容纳槽21中，还可以通过调节螺柱60微调晶圆吸盘结构10的水平度。底座20包括彼此连接大径段和小径段，大径段具有容纳槽21，小径段在大径段上的投影避让调节螺柱60，调节螺柱60的顶端由大径段的底部伸入容纳槽21内，以对晶圆吸盘结构10的底部形成支撑，调节螺柱60包括多个，多个调节螺柱60绕大径段的周侧间隔设置，从而通过调整调节螺柱60伸入容纳槽21的长度以调节晶圆吸盘结构10的水平度，保证晶圆吸盘结构10与底座20的水平装配，有利于后续工作的稳定性。
59.具体的，调节螺柱60与卡接件40之间呈角度设置，在本实施例中，调节螺柱60与卡接件40之间呈直角设置，这样使得调节螺柱60与卡接件40之间是相互垂直的，以使调节螺柱60和卡接件40分别给晶圆吸盘结构10两个相互垂直的力，使得晶圆吸盘结构10在与底座20装配时，装配强度更高，稳定性更好。
60.显然，上述所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本实用新型保护的范围。
61.需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本技术的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、工作、器件、组件和/或它们的组合。
62.需要说明的是，本技术的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本技术的实施方式能够以除了在这里图示
或描述的那些以外的顺序实施。
63.以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。