一种晶圆清洗用检测装置的制作方法

1.本实用新型涉及检测装置技术领域，尤其涉及一种晶圆清洗用检测装置。


背景技术：

2.晶圆在清洗加工后需要通过风干或者甩干的方式将晶圆表面的清洗液进行去除，保证其表面的干燥程度，以便于晶圆后续的生产加工，晶圆在干燥加工后需要对其表面的干燥程度进行检测，以判断其是否符合预定要求以进行后续的生产加工。
3.目前对于晶圆表面水分的加工检测方法主观性较强，通过人工进行判定，判定的准确性以及效率有待提升，对大批量的晶圆通过抽样检测的方式进行判定，水分检测不够全面精准；部分通过光学显影元件进行检测，其设备检测成本高，无法满足大批量晶圆的快速检测需求。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种晶圆清洗用检测装置，其解决了如何对晶圆表面水分进行快速、连续检测的问题。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
6.一种晶圆清洗用检测装置，包括输送装置以及用于放置晶圆的限位基座，所述限位基座安装于输送装置上端，其中输送装置带动限位基座以及晶圆朝着第一个方向移动，所述输送装置外设置有环形的检测条，所述输送装置外侧设置有导向组件，其中检测条套设于导向组件外，所述输送装置一侧安装有检测组件，所述检测组件包括检测滚轮，所述检测滚轮位于检测条一侧并且与之相抵，所述检测滚轮内壁两侧均固定连接有导电检测环，两个所述导电检测环外接检测元件，所述检测条一侧设置有传动设备用于控制检测条定向移动，其中检测条定向移动的过程当中依次经过晶圆以及检测组件。
7.优选地，所述检测装置还包括烘干组件，所述烘干组件位于输送装置下端，所述烘干组件两侧开有用于检测条通过的通孔。
8.优选地，所述检测组件为两组，两个所述检测组件分别位于烘干组件的两侧。
9.优选地，所述检测滚轮位于检测条外侧，所述检测滚轮通过弹性安装件安装于输送装置外侧壁。
10.优选地，所述导向组件包括两组定位块，所述定位块侧壁转动连接有两组定位杆，所述定位杆与定位块之间通过扭力弹性元件弹性连接，所述定位杆末端转动连接有定位轮，所述检测条套设于多个定位轮外侧。
11.优选地，所述输送装置外侧侧壁安装固定有电动滑轨，所述电动滑轨具有电动滑块，所述定位块安装固定于电动滑块外侧侧壁。
12.优选地，所述检测条上固定连接有至少两个金属定位部，两个所述金属定位部之间具有预定间隙。
13.本实用新型与现有技术相比，其有益效果为：
14.通过设置检测条定向移动，依次经过晶圆、检测组件、烘干组件等组件，能够通过检测条对晶圆表面的水分进行吸收，并且通过检测组件对检测条表面的水分进行检测，能够通过对检测条表面的水分残留情况反推晶圆表面的水分残留，能够实现检测过程，通过烘干组件能够对检测条进行烘干，能够让检测条恢复到干燥的状态，检测条能够持续定向移动，能够连续地对输送装置上端的晶圆进行水分检测，检测效率高；并且通过设置电动滑轨、电动滑块等组件能够调节导向组件的高度，进而调节检测条相对于输送装置的高度，能够根据实际的检测情况进行调整，满足了不同场景下的监测需求。
附图说明
15.图1为本实用新型提出的一种晶圆清洗用检测装置的立体结构示意图；
16.图2为本实用新型提出的一种晶圆清洗用检测装置的俯视结构示意图；
17.图3为本实用新型提出的一种晶圆清洗用检测装置的第一侧侧视结构示意图；
18.图4为本实用新型提出的一种晶圆清洗用检测装置的第二侧侧视结构示意图；
19.图5为本实用新型提出的一种晶圆清洗用检测装置的a处放大结构示意图。
20.图中：1、输送装置；101、限位基座；2、晶圆；3、检测条；301、金属定位部；4、导向组件；401、电动滑轨；402、定位块；403、定位杆；404、定位轮；5、检测组件；501、弹性安装件；502、检测滚轮；6、烘干组件。
具体实施方式
21.为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施的限制。
22.需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
23.参照图1-5，一种晶圆清洗用检测装置，包括输送装置1以及用于放置晶圆2的限位基座101，限位基座101安装于输送装置1上端，其中输送装置1带动限位基座101以及晶圆2朝着第一个方向移动，通过输送装置1带动限位基座101以及晶圆2定向移动，以经过检测装置，完成对晶圆2表面水分的检测，输送装置1可以选择为皮带输送装置，也可以设置为环形输送平台，用于输送晶圆2持续定向移动；输送装置1外设置有环形的检测条3，检测条3能够对晶圆2表面的水分进行吸附，其表面优选设置毛细结构，与晶圆2接触的过程当中，将晶圆2表面残留的水分进行吸附，输送装置1外侧设置有导向组件4，其中检测条3套设于导向组件4外，检测条3能够在导向组件4的作用下处于预定的位置，通过导向组件4能够对检测条3进行限位，让检测条3与晶圆2表面贴合，能够让检测条3对晶圆2表面的水分进行吸收，并且能够驱动检测条3定向移动，以完成对水分的检测。
24.其中输送装置1一侧安装有检测组件5，通过检测组件5能够对晶圆2表面的水分进
行检测，进而判断出晶圆2表面水分残留的情况，进行检测判断；其中检测组件5包括检测滚轮502，检测滚轮502位于检测条3一侧并且与之相抵，检测滚轮502内壁两侧均固定连接有导电检测环，两个导电检测环外接检测元件，其中当检测条3被水分浸润后，检测条3能够处于导电的状态，在浸润水分的检测条3移动至两个导电检测环之间时，检测条3能够让两个导电检测环处于导通的状态，通过检测元件来直观地显示出水分的残留量，能够快速地进行检测；检测条3一侧设置有传动设备用于控制检测条3定向移动，其中检测条3定向移动的过程当中依次经过晶圆2以及检测组件5，其中通过传动设备控制检测条3定向移动，能够实现检测条3的循环检测过程，延伸检测条3的长度，能够在检测条3转动一周后实现对晶圆2表面的水分多次检测；同样的，能够在输送装置1上端设置转动组件，通过转动组件来带动限位基座101以及晶圆2转动，转动的晶圆2位于检测条3下端能够对于检测条3进行充分接触，加强检测条3对晶圆2表面残留水分的吸收。
25.检测装置还包括烘干组件6，烘干组件6位于输送装置1下端，烘干组件6两侧开有用于检测条3通过的通孔，其中通过设置烘干组件6能够对检测条3表面残留的水分进行烘干，保证其处于干燥状态，便于后续的持续检测，通过设置烘干组件6能够缩短检测条3的长度，实现循环检测；上述烘干方式为现有技术，不涉及改进部分，不在此详述。
26.可以选择设置检测组件5为两组，两个检测组件5分别位于烘干组件6的两侧，通过第一组检测组件5能够对检测条3表面的水分进行检测，进而判断晶圆2表面的水分残留状态，通过第二组检测组件5能够对烘干后的检测条3表面的水分进行检测，进而判断检测条3表面的干燥情况，保证检测的精度。
27.检测滚轮502位于检测条3外侧，检测滚轮502通过弹性安装件501安装于输送装置1外侧壁，检测滚轮502设置于检测条3外侧，并且通过弹性安装件501对检测滚轮502进行弹性安装，检测滚轮502能够在弹力的作用下与检测条3表面贴合，保证检测组件5检测的精度，上述的弹性安装件501可以选择为弹性伸缩杆。
28.作为可选的导向方式之一，其中导向组件4包括两组定位块402，定位块402侧壁转动连接有两组定位杆403，定位杆403与定位块402之间通过扭力弹性元件弹性连接，上述扭力弹性元件优选为扭力弹簧，定位杆403末端转动连接有定位轮404，检测条3套设于多个定位轮404外侧，四个定位轮404展开后，能够形成矩形的限位通道，检测条3套设于四个定位轮404外侧，能够对检测条3进行限位支撑，保证检测条3处于预定的位置与晶圆2表面贴合，并且能够进行稳定的线性移动，实现连续检测过程。
29.在输送装置1外侧侧壁安装固定有电动滑轨401，电动滑轨401具有电动滑块，定位块402安装固定于电动滑块外侧侧壁，通过设置电动滑轨401以及电动滑块，能够对定位块402的位置进行调整，进而调整导向组件4以及定位块402的位置，最终实现对检测条3位置的调整，能够根据晶圆2的尺寸以及检测环境进行调整，满足了多样化的检测需求。
30.在检测条3上固定连接有至少两个金属定位部301，两个金属定位部301之间具有预定间隙，通过设置两个金属定位部301，其能够起到定位判定的作用，当第一个金属定位部301移动至检测滚轮502处时，能够让两个导电检测环处于低电阻的导通状态，判断检测状态的开始，当第二个金属定位部301移动至检测滚轮502处时，能够判断检测状态的结束，二者中间的部分即为单个晶圆2表面的水分残留数据，便于实际观察检测。
31.本实用新型使用时，但需要对晶圆2表面残留的水分进行检测时，将晶圆2放置于
限位基座101处并且通过输送装置1进行定向输送，在输送装置1的传动下，晶圆2经过检测条3下端并且晶圆2的表面与检测条3表面相接触，晶圆2表面残留的水分能够被检测条3吸附，晶圆2移动至于检测条3错开后，驱动检测条3定向移动，经过检测组件5进行检测，检测条3能够与检测滚轮502内侧的两个导电检测环相接触，当检测条3内的含水量超过阈值后能够让两个导电检测环处于导通的状态，进而推导出晶圆2表面是否有残留的水渍。
32.并且检测完毕后的检测条3经过烘干组件6进行烘干，通过烘干组件6能够对检测条3表面的水渍进行烘干，保证检测条3表面的干燥程度，能够让检测条3循环移动，完成连续的作业过程。
33.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。