驱动机构以及装配有该驱动机构的搬运装置的制作方法

本技术涉及半导体测试领域，特别是涉及驱动机构以及装配有该驱动机构的搬运装置。

背景技术：

1、目前，在半导体芯片检测过程中，搬运装置通常通过驱动拾取模组沿竖直方向做升降运动，以满足对半导体芯片的拾取，而后经搬运装置移动至指定位置。

2、现有用于驱动拾取模组移动的动力源，因其通常沿垂直于升降运动的方向横向突出，促使整个搬运装置在横梁宽度方向上占据的空间较大，继而挤占其他搬运机构的安装空间，影响搬运机构在高速搬运物料的过程中的稳定性。

技术实现思路

1、基于此，本实用新型提供了一种驱动机构，以减少在横梁宽度方向占据的空间，增大其他搬运机构的安装空间，提高搬运稳定性。

2、一种用于连接拾取模组的驱动机构，包括动力源、安装基座、第一锥齿轮、第二锥齿轮和传动组件，所述第一锥齿轮和所述第二锥齿轮均转动连接于所述安装基座，所述第二锥齿轮的轴线与所述第一锥齿轮的轴线成角度设置，且所述第二锥齿轮与所述第一锥齿轮啮合传动；所述第一锥齿轮和所述第二锥齿轮中的一者与所述动力源传动连接，另一者与所述传动组件传动连接，所述传动组件用于连接拾取模组；其中，所述动力源与所述第一锥齿轮传动连接时，所述动力源位于沿所述第一锥齿轮轴向远离所述第二锥齿轮的一侧；或者，所述动力源与所述第二锥齿轮传动连接时，所述动力源位于沿所述第二锥齿轮轴向远离所述第一锥齿轮的一侧。

3、上述的驱动机构，利用安装基座集成两个互相啮合传动的锥齿轮以及与拾取模组连接的传动组件，以满足拾取模组沿竖直方向的升降运动，实现对半导体芯片的拾取操作。其中，利用第一锥齿轮和第二锥齿轮的啮合传动能够改变力的传动方向，从而便于调整对第一锥齿轮和第二锥齿轮施加动力的的动力源的布设位置及角度，减少了动力源占用的横向空间，也就增大其他搬运机构的安装空间，提高了搬运机构在高速搬运物料的过程中的稳定性。

4、在其中一个实施方式中，所述安装基座包括安装板；所述传动组件包括第一传动轴、第二传动轴和传动带：所述第一传动轴转动连接于所述安装板；所述第二传动轴转动连接于所述安装板，且所述第二传动轴与所述第一传动轴沿第一方向间隔布置；所述第一方向为所述拾取模组的竖直移动方向；所述传动带张紧于所述第一传动轴与所述第二传动轴之间；所述传动带用于连接所述拾取模组；其中，所述第二锥齿轮传动连接于所述第一传动轴。

5、如此设置，第一传动轴和第二传动轴直接集成于安装基座的安装板上，无需增设额外的轴承安装座等连接结构，进一步缩小了占用空间，简化了结构。第二锥齿轮的旋转能够带动第一传动轴旋转，以带动传动带做沿竖直方向做回转运动，进而带动连接于传动带的拾取模组沿竖直方向做升降运动。

6、在其中一个实施方式中，所述传动组件还包括滑动板和固定座：所述滑动板滑动连接于所述安装基座，所述滑动板构造有避让口；所述滑动板用于与所述拾取模组连接；所述固定座一端连接于所述滑动板，另一端构造有穿设于所述避让口的连接部，所述连接部与所述传动带可拆卸连接。

7、如此设置，相当于将传动带布设在滑动板背离与拾取模组连接的一侧，此时连接部的设置便于避让口处穿过，以连接传动带。如此，即可避免传动带与拾取模组相对滑动板的连接结构产生干涉，且结构也更为紧凑。

8、在其中跟一个实施方式中，所述固定座包括座体和压板；所述座体的部分固设于所述滑动板，所述座体的另一部分沿所述第一传动轴和/或所述第二传动轴的轴线延伸以形成所述连接部；所述压板与所述连接部固定连接，所述传动带的部分夹设于所述压板与所述连接部之间。

9、如此设置，压板与连接部配合夹住传动带，此种连接方式简单牢固，并且方便拆卸。

10、在其中一个实施方式中，所述驱动机构还包括第一导轨和第二导轨，且所述第一导轨和所述第二导轨均安装于所述安装基座，并均与所述滑动板滑动连接；所述第一导轨和所述第二导轨沿第三方向间隔布置形成有避让间隙，所述传动带的至少部分容设于所述避让间隙内；所述第三方向沿第二锥齿轮的径向，并与所述传动带的输送方向垂直设置。

11、如此设置，第一导轨和第二导轨的设置，在满足对滑动板滑动导向的同时，提高对滑动板的支撑性能，进而提高移动稳定性，以便拾取模组稳定拾取半导体芯片。同时，形成于两个导轨之间的避让间隙以容设传动带，进一步缩减了占用空间，提高结构紧凑性。

12、在其中一个实施方式中，所述驱动机构还包括弹性件和支撑柱；所述支撑柱的轴线与所述弹性件的轴线成角度布置；所述支撑柱的一端连接于所述安装基座，所述支撑柱的另一端与所述弹性件的一端连接，所述弹性件的另一端用于连接所述拾取模组。

13、如此设置，有助于提高驱动机构的安全性能。当动力故障或者失去驱动动力时，弹性件能够通过自身弹力拉动拾取模组抬升至安全高度，防止其在移动的过程中与其他工件和结构产生碰撞。同时，支撑柱的设置，使得弹性件与传动组件具有安全间距，避免干涉。

14、在其中一个实施方式中，所述安装基座包括第一安装座和第二安装座；所述第二安装座具有沿沿第一方向延伸的第一端和第二方向延伸的第二端，所述第一端与所述第二端连接，所述第二端连接于所述安装板，所述第一端连接于所述第一安装座；其中，所述第一方向与所述第二方向成角度布置；所述第一锥齿轮转动连接于所述第一安装座，所述第二锥齿轮转动连接于所述第二安装座的第一端；所述第一传动轴的一端转动连接于所述第二安装座的第一端，另一端转动连接于所述安装板；和/或，所述安装基座还包括安装于所述安装板的第三安装座；所述第三安装座具有朝向背离所述安装板一侧延伸的安装折臂；所述第二传动轴的一端转动连接于所述安装折臂，另一端转动连接于所述安装板。

15、如此设置，第一安装座和第二安装座用于装配第一锥齿轮和第二锥齿轮，并且第二安装座与安装板之间形成供传动组件安装的空间，不仅结构紧凑，且避免干涉，并提高了第一传动轴和第二传动轴在旋转的过程中的稳定牢固。同时，通过安装折臂与安装板配合满足第二传动轴相对安装基座的转动连接。

16、在其中一个实施方式中，所述第一安装座包括主座体和张紧板，所述主座体与所述第二安装座连接，所述第一锥齿轮和所述动力源均安装于所述主座体，并分别位于所述主座体的两侧；所述张紧板安装于所述主座体朝向所述动力源的一侧；所述张紧板构造有穿设孔，所述动力源的驱动轴穿过所述穿设孔与所述第一锥齿轮传动连接；所述张紧板能够相对所述主座体沿第二方向移动，以带动所述第一锥齿轮同步移动。

17、也就是说，通过主座体支撑第一锥齿轮和动力源，并利用张紧板的设置以调节第一锥齿轮相对第二锥齿轮的啮合间距。

18、在其中一个实施方式中，所述第一安装座还包括张紧块和调节柱，所述张紧块连接于所述主座体；所述调节柱所述调节柱穿过所述张紧块连接于所述张紧板；所述调节柱能够在外力作用下带动所述张紧板沿所述调节柱的轴向移动。

19、如此设置，通过调节柱调整张紧板移动，以带动第一锥齿轮同步沿调节柱的轴向移动，实现两个锥齿轮之间啮合间距的调节。

20、本实用新型还提供一种搬运装置，能够在满足较小横向空间装配的同时，实现拾取搬运，且提高搬运稳定性。

21、其中，所述搬运装置包括横梁模组、拾取模组以及上述的驱动机构，所述驱动机构悬设于所述横梁模组，且所述驱动机构能够沿所述横梁模组的长度方向移动；所述拾取模组连接于所述驱动机构，所述拾取模组能够在所述驱动机构的驱动作用下动作。

22、也就是说，通过上述的驱动机构驱动拾取模组升降，且驱动机构相对横梁模组的装配实现拾取模组的平移，从而满足半导体元件的搬运需求。同时，由于上述驱动机构的设置，缩减了占用横梁模组宽度方向的空间，使得其他搬运机构的安装空间增加，提高了搬运稳定性。