一种异丙醇供给装置的制作方法

本申请属于半导体设备领域，涉及一种异丙醇供给装置。

背景技术：

1、化学机械平坦化制程(cmp)是集成电路制造过程中实现晶圆表面平坦化的关键工艺，目前cmp已经广泛应用在如多晶硅平坦化、浅沟槽隔离(sti)平坦化、层间介质层(ild)平坦化、钨(w)平坦化、铜互连(cu)平坦化等工艺中。

2、化学机械研磨作为一个复杂的工艺过程，通常主要包括如下步骤：

3、将待研磨的晶圆固定在研磨头上，研磨头对晶圆施加向下的压力并高速旋转；

4、研磨时，旋转的晶圆以一定的向下压力施加在随研磨台高速旋转的研磨垫上，并与研磨垫作相对运动；

5、研磨液供给单元向研磨垫提供研磨液，研磨液在晶圆与研磨垫之间流动；

6、通过化学与机械的共同作用，从晶圆表面去除一层极薄的材料，以获得高精度、低粗糙度、无损伤的晶圆表面，同时晶圆表面会残留大量的亚微米或纳米级的研磨颗粒和研磨副产物等污染物；

7、对晶圆进行清洗，以去除晶圆表面残留的污染物；

8、在晶圆清洗之后，为了避免晶圆上残留的水分或残留清洗液对后续工艺造成影响，对晶圆进行干燥处理。

9、目前，对晶圆进行干燥的方式主要包括以下三种：

10、离心力脱水法，即利用机械离心力的旋转干燥法(spin dry)，利用高速旋转下产生的离心力将晶圆上的水滴旋干；

11、热氮气法，主要是利用氮气吹干晶圆上的水滴；

12、异丙醇(iso-propyl alcohol，ipa)表面张力梯度法，即通过异丙醇浓度差，使得水滴滴落，同时基于异丙醇的高挥发性，将晶圆表面的水分脱水干燥。

13、现有的异丙醇供给装置中，由于装置内的异丙醇的温度与装置外的环境温度存在较大的温差和异丙醇易挥发的特性，容易导致异丙醇连通管的内壁有雾状异丙醇液体挂在上面，进而易触发液位上限感应器(upper limit sensor)，使得对异丙醇液位高度产生一系列的误报警，影响晶圆的正常工艺。

14、因此，提供一种异丙醇供给装置，实属必要。

技术实现思路

1、鉴于以上所述现有技术的缺点，本申请的目的在于提供一种异丙醇供给装置，用于解决现有技术中由于温差和异丙醇易挥发的特性触发感应器产生一系列报警的问题。

2、为实现上述目的及其他相关目的，本申请提供一种异丙醇供给装置，所述装置包括：

3、异丙醇储液罐，通过所述异丙醇储液罐容纳异丙醇溶液；

4、液位探测管，所述液位探测管与所述异丙醇储液罐相连通以构成连通器，且所述液位探测管包括液位探测区及冷却区，所述冷却区临近所述异丙醇储液罐，且所述冷却区位于所述异丙醇储液罐与所述液位探测区之间；

5、降温单元，通过所述降温单元对进入所述液位探测管中的所述异丙醇溶液进行降温；

6、液位探测器，通过所述液位探测器对位于所述液位探测区中的所述异丙醇溶液进行探测。

7、可选地，所述降温单元包括位于所述冷却区外围的冷却管。

8、可选地，所述冷却管包括曲线环绕型冷却管或圆柱包覆型冷却管。

9、可选地，所述冷却管包括冷却介质为液体的液体冷却管或冷却介质为气体的气体冷却管。

10、可选地，自上而下所述液位探测区包括1个～6个探测区。

11、可选地，所述液位探测器与所述液位探测区一一对应设置。

12、可选地，经所述降温单元后，所述液位探测管内的所述异丙醇溶液的温度范围为20℃-30℃。

13、可选地，还包括报警器，所述报警器与所述液位探测器通信连接。

14、可选地，所述报警器包括声光报警器、声报警器及光报警器中的一种。

15、可选地，还包括控制器，所述控制器与所述液位探测器相通信，且所述控制器与所述装置中的排液单元及供液单元相通信。

16、如上所述，本申请的异丙醇供给装置，通过所述降温单元可有效降低所述液位探测管内的所述异丙醇溶液的温度，以降低所述液位探测管的内外温差，减少因温差导致的所述液位探测管出现异丙醇雾化挂壁的现象，以在平衡所述液位探测管的内外温差后消除异丙醇雾化挂壁，避免因异丙醇溶液挥发所产生的异丙醇高度探测误报警的概率，降低对晶圆制程工艺的影响。

技术特征：

1.一种异丙醇供给装置，其特征在于，所述装置包括：

2.根据权利要求1所述的异丙醇供给装置，其特征在于：所述降温单元(300)包括位于所述冷却区外围的冷却管。

3.根据权利要求2所述的异丙醇供给装置，其特征在于：所述冷却管包括曲线环绕型冷却管或圆柱包覆型冷却管。

4.根据权利要求2所述的异丙醇供给装置，其特征在于：所述冷却管包括冷却介质为液体的液体冷却管或冷却介质为气体的气体冷却管。

5.根据权利要求1所述的异丙醇供给装置，其特征在于：自上而下所述液位探测区包括1个～6个探测区。

6.根据权利要求1所述的异丙醇供给装置，其特征在于：所述液位探测器(400)与所述液位探测区一一对应设置。

7.根据权利要求1所述的异丙醇供给装置，其特征在于：经所述降温单元(300)后，所述液位探测管(200)内的所述异丙醇溶液的温度范围为20℃-30℃。

8.根据权利要求1所述的异丙醇供给装置，其特征在于：还包括报警器，所述报警器与所述液位探测器(400)通信连接。

9.根据权利要求8所述的异丙醇供给装置，其特征在于：所述报警器包括声光报警器、声报警器及光报警器中的一种。

10.根据权利要求1所述的异丙醇供给装置，其特征在于：还包括控制器，所述控制器与所述液位探测器(400)相通信，且所述控制器与所述装置中的排液单元(900)及供液单元(600)相通信。

技术总结
本申请提供一种异丙醇供给装置，通过所述降温单元可有效降低所述液位探测管内的所述异丙醇溶液的温度，以降低所述液位探测管的内外温差，减少因温差导致的所述液位探测管出现异丙醇雾化挂壁的现象，以在平衡所述液位探测管的内外温差后消除异丙醇雾化挂壁，避免因异丙醇溶液挥发所产生的异丙醇高度探测误报警的概率，降低对晶圆制程工艺的影响。

技术研发人员：郑峰坡,徐金旭,王豪,洪健俊
受保护的技术使用者：杭州富芯半导体有限公司
技术研发日：20221205
技术公布日：2024/1/12