多物料自动化上料设备的制作方法

本技术属于自动化上料设备，更具体地说，是涉及一种多物料自动化上料设备。

背景技术：

1、现有的半导体加工设备通常是由单个供料机构供给一种物料上料，供料机构上料方式单一，多为升降加推料形式，需要采用多个直线传输机构依次呈直线排列，以便布置加工机构和对应的供料机构，整个生产线长度较长。这种半导体加工设备中供料机构分散，料仓供料部分与料仓回收部分及料仓定位部分的气缸多、动作多，单个供料机构无法兼容多款物料同时上料，工作效率较低，整个生产线长度较长，位置易发生偏离，影响精度。

技术实现思路

1、本技术实施例的目的在于提供一种多物料自动化上料设备，以解决现有技术中存在的半导体加工设备中供料机构分散，单个供料机构无法兼容多款物料同时上料，工作效率较低的技术问题。

2、为实现上述目的，本技术采用的技术方案是：提供一种多物料自动化上料设备，包括：

3、机台；

4、第一上料装置，用于供应托盘，所述第一上料装置安装于所述机台上；

5、传输平台，用于沿x轴方向传输所述托盘，所述传输平台安装于所述机台上；

6、第二上料装置，用于传输承载第一物料的第一料架，并将所述第一料架中的所述第一物料输出，所述第二上料装置安装于所述机台上；

7、第三上料装置，用于传输承载第二物料的第二料架，并将所述第二料架中的所述第二物料输出，所述第三上料装置安装于所述机台上；以及，

8、放料装置，用于将所述第一物料和所述第二物料装入所述传输平台上的所述托盘中，所述放料装置安装于所述机台上。

9、通过采用第一上料装置能够传输托盘，传输平台沿x轴方向传输托盘，第二上料装置采用第一料架承载第一物料实现第一物料的连续上料，第三上料装置采用第二料架承载第二物料实现第二物料的连续上料，放料装置将第一物料和第二物料装入托盘，这样传输平台可通过托盘同时承载第一物料和第二物料，以实现多种物料的集中上料，能够利用托盘承载不同物料，以兼容不同物料的上料，提高上料效率。而且，采用托盘集中上料，避免了占用下游半导体加工设备的传输空间，使得半导体加工设备的各加工机构之间布置能够更加紧凑，有利于减小半导体加工设备的整机长度，减小由于传输带来的位置偏差，提高产品的装配精度。

10、在一个实施例中，所述放料装置包括用于取放所述第一物料与所述第二物料的取料机构、支撑所述取料机构的第一支座、用于驱动所述第一支座沿x轴方向移动的第一驱动机构、支撑所述第一驱动机构的第二支座、用于驱动所述第二支座沿y轴方向移动的第二驱动机构和支撑所述第二驱动机构的第一基架，所述第一支座与所述第二支座滑动连接，所述第二支座与所述第一基架滑动连接，所述第一基架与所述机台相连，所述第一驱动机构的动力输出端与所述第一支座相连，所述第二驱动机构的动力输出端与所述第二支座相连。

11、通过采用上述技术手段，能够控制取料机构在水平方向上移动，以便于将第一物料和第二物料放置于托盘上。

12、在一个实施例中，所述第二驱动机构的数量为两个，两个所述第二驱动机构分别横跨所述传输平台的两端，所述第二支座的两端分别与相应所述第二驱动机构相连。

13、通过采用上述技术手段，能够提高物料装入托盘的效率。

14、在一个实施例中，所述传输平台的数量为多个，所述第一上料装置和多个所述传输平台沿x轴方向依次排列，各所述传输平台的上方安装有所述放料装置；所述第三上料装置与所述第一上料装置并列设置，各所述传输平台靠近所述第三上料装置的一侧均安装有至少一个所述第二上料装置，各所述第二上料装置并列设置。

15、通过采用上述技术手段，能够分段在托盘上装入多种物料，以提高物料装入托盘的效率。

16、在一个实施例中，所述第一上料装置包括：

17、第二基架，与所述机台相连；

18、存盘仓，用于存放多层所述托盘，所述存盘仓安装于所述第二基架上；

19、释放机构，用于支撑和释放所述存盘仓中的托盘，所述释放机构安装于所述第二基架上；

20、取盘机构，用于承托所述存盘仓底部释放的所述托盘升降，所述取盘机构安装于所述第二基架上；以及，

21、传输机构，用于在所述取盘机构下降时承托并沿x轴放行传输所述取盘机构释放的所述托盘，所述传输机构安装于所述第二基架上，且所述传输机构位于所述存盘仓的下方。

22、通过采用上述技术手段，能够在不停机的情况下装入托盘。

23、在一个实施例中，所述第二基架包括支撑台、安装于所述支撑台一侧的第一侧板、滑动安装于所述支撑台另一侧的第二侧板和用于调节所述第二侧板与所述第一侧板距离的调节组件，所述第二侧板与所述第一侧板并列设置，所述调节组件安装于所述支撑台上，且所述调节组件与所述第二侧板相连；

24、所述存盘仓包括与所述第一侧板相连的第一限位框和与所述第一限位框配合定位所述托盘的第二限位框，所述第二限位框与所述第二侧板相连。

25、通过采用上述技术手段，能够兼容不同宽度的托盘。

26、在一个实施例中，所述第二上料装置包括：

27、第三基架，与所述机台相连；

28、直线输入机构，用于输入所述第一料架，所述直线输入机构安装于所述第三基架上；

29、直线输出机构，用于输出所述第一料架，所述直线输出机构安装于所述第三基架上，且所述直线输入机构和所述直线输出机构沿z轴方向并排设置；

30、第四基架，位于所述第三基架靠近所述放料装置的一端，所述第四基架与所述机台相连；

31、第一升降机构，用于将所述直线输入机构输入的所述第一料架传输至所述直线输出机构，所述第一升降机构安装于所述第四基架上；

32、第二升降机构，用于将所述第一料架中的所述第一物料输出，所述第二升降机构安装于所述第一升降机构上，所述第二升降机构与所述第四基架滑动连接，且所述第二升降机构与所述第一升降机构的上侧。

33、通过采用上述技术手段，能够减小第二上料装置占用宽度。

34、在一个实施例中，所述第一升降机构包括用于支撑所述第一料架的第一叉臂、与所述第一叉臂相连的第一滑座、与所述第一滑座相连的第一螺母、与所述第一螺母相连的传动丝杆和用于驱动所述传动丝杆转动的第一电机，所述第一滑座与所述第四基架滑动连接，所述传动丝杆转动安装于所述第四基架上，所述第一电机安装于所述第四基架上，且所述第一电机与所述传动丝杆相连；

35、所述第二升降机构包括用于支撑所述第一物料的第二叉臂、与所述第二叉臂相连的第二滑座、转动安装于所述第二滑座上的第二螺母和用于驱动所述第二螺母转动的上料组件，所述第二滑座与所述第四基架滑动连接，所述第二螺母与所述传动丝杆相连，且所述第二螺母位于所述第一螺母的上侧，所述上料组件安装于所述第二滑座上，且所述上料组件与所述第二螺母相连。

36、通过采用上述技术手段，能够将第一料架中的第一物料沿z轴方向取出。

37、在一个实施例中，所述第四基架的顶部安装有用于定位所述第一物料的定位平台。

38、通过采用上述技术手段，能够精确控制第一物料的上料位置。

39、在一个实施例中，所述第三上料装置的结构与所述第二上料装置的结构相同。

40、通过采用上述技术手段，有利于降低成本。