一种晶圆的托举组件的制作方法

本技术涉及半导体制造，具体涉及一种晶圆的托举组件。

背景技术：

1、在某些集成电路的制造过程中，化学机械研磨和蚀刻均是半导体制造过程中的重要工艺步骤。

2、在化学机械研磨工序或者蚀刻工序结束之后，通常需要对研磨后和蚀刻后的晶圆进行清洗，以除去晶圆表面的残留物。

3、清洗晶圆时需要将晶圆放置到有特定溶液的槽体中，进行超声波清洗或者是酸性药液冲洗，清洗过后需要将晶圆从槽体溶液内取出搬送到下一个槽体继续进行清洗，清洗过程中相连的槽体水平放置。

4、原有的晶圆移动机构是靠爪夹机械臂抓取晶圆且使得晶圆在槽体内上下移动，然而原有机构存在抓取晶圆的抓手抓取晶圆数量有限，且由于夹持单点很难完全将晶圆夹持牢固，也很难调节，其次夹持搬送过程中会有夹持不紧的情况出现，影响设备运行精度的问题。

技术实现思路

1、为克服现有技术的不足，本实用新型提出一种晶圆的托举组件，包括横杆，所述横杆的一端固设有连杆，所述横杆的长边方向与连杆的长边方向垂直，所述连杆远离横杆的一端固设有放置晶圆的回型板，所述回型板的上表面开设有若干个锯齿形凹槽，若干个所述锯齿形凹槽在水平方向上呈阵列式排布。

2、为实现上述目的，多个晶圆通过锯齿型凹槽和回型板托举可以稳定放置，锯齿型凹槽增加了回型板与晶圆的摩擦力，提高晶圆的安全性，通过锯齿型凹槽的作用，使得每个晶圆可以独立放置，且保持相同距离，减少了晶圆和连杆的接触或多个晶圆之间抵触而刮伤晶圆表面的可能性，也减少晶圆在移动过程中脱出回型板的可能性，同时提高了清洗晶圆的数量，提高清洁效率，回型板的设置不影响晶圆的清洗，减少清洗死角。

3、进一步地，所述回型板内固设有两个支撑晶圆的支撑杆，所述回型板和支撑杆的截面均呈弧形，支撑杆的上表面均开设有若干个锯齿形凹槽。

4、通过上述技术方案，通过设置支撑杆，提高了对晶圆的支撑力，减少晶圆从该装置上脱落的可能性，通过回型板和支撑杆的截面均呈弧形以便于贴合晶圆的圆盘形状，提高了晶圆与该装置连接的稳定性，进一步减少了晶圆从该装置上脱落的可能性。

5、进一步地，所述回型板位于连杆旁侧且与连杆下侧边固定连接，所述连杆上中间位置处开设有镂空槽。

6、通过上述技术方案，通过镂空槽的作用，减少连杆的重量，减轻连杆的负担，且由于回型板位于连杆旁侧，减少晶圆与连杆接触而表面被磨损的可能性。

7、进一步地，所述横杆远离连杆的一端固设有水平设置的a方形板，所述a方形板上固设有位于横杆旁侧的b方形板，所述a方形板的长边方向与b方形板的长边方向垂直，所述b方形板的长边方向与横杆的长边方向平行，所述b方形板和横杆的底端齐平，所述述b方形板和横杆的下方设有调整平台，所述调整平台上设有调整横杆在y轴方向上移动的调节组件。

8、通过上述技术方案，通过调节组件的作用调整横杆、连杆以及回型板在y轴上的位置，进而调整位于回型板上的晶圆在y轴上的位置。

9、进一步地，所述调节组件包括位于调整平台上表面中间位置的定位块，所述定位块与调整平台上表面固定连接，所述定位块上穿设有两个径向的导向柱，所述导向柱与定位块滑移连接，所述导向柱的两端均穿设出定位块，所述导向柱穿设出定位块的两端分别与横杆和b方形板固定连接，所述调整平台上表面固设有两个固定板，两个所述固定板分别位于横杆和b方形板背离定位块的一侧，两个所述固定板相对设置，所述固定板上开设有螺纹槽，且螺纹槽内通过螺纹连接有螺栓，所述螺栓的两端均穿设出固定板，两个所述螺栓的端部分别与横杆和b方形板抵触。

10、通过上述技术方案，通过导向柱的作用使得横杆和b方形板固定连接，同时对横杆和b方形板在y轴方向上的移动起到导向作用，需要调整横杆和晶圆在y轴上的位置时，工作人员手动推动横杆，使得横杆在y轴方向上滑移移动至合适位置，之后工作人员抓住螺栓，且手动转动螺栓，通过固定板的作用对螺栓起到支撑作用，通过螺纹的作用，螺栓在转动过程中移动，两个螺栓的端部分别与横杆和b方形板背离定位块的一侧抵触，通过两个螺栓的作用对横杆和b方形板起到夹持作用，对横杆的位置进行定位，螺栓具体为m8螺栓。

11、进一步地，所述调整平台上设有驱动调整平台在竖直方向上移动的控制组件。

12、通过上述技术方案，通过控制组件的作用控制调整平台在竖直方向上移动，进而带动调整平台上的横杆在竖直方向上移动，从而带动横杆上的晶圆在竖直方向上移动，以便于控制晶圆在槽内上下移动，晶圆下移时，便于将晶圆移动至清洗槽内进行清洗，晶圆上移时，使得完成清洁的晶圆脱离清洗槽。

13、进一步地，所述控制组件包括轴向设置的支架，所述支架上转动连接有控制丝杆，所述支架上固设有位于控制丝杆旁侧的控制电机，所述控制电机的输出轴端和控制丝杆的一端均嵌套有控制带轮，两个所述控制带轮上均套设有与控制带轮适配的控制同步带，所述控制丝杆的外侧通过螺纹套设有控制滑移块，所述控制滑移块上固设有移动板，所述移动板顶端与调整平台固定连接，所述控制滑移块外周的四个端角处均固设有控制滑块，所述支架上固设有位于控制丝杆旁侧的控制线轨，所述控制滑块套设在控制线轨上且与控制线轨滑移连接。

14、通过上述技术方案，控制电机为现有机构，故在此不做过多赘述，通过控制电机的作用会带动与控制电机输出轴端固定连接的控制带轮转动，该控制带轮的转动会带动套设在该控制带轮外侧的控制同步带转动，控制同步带的转动会带动另一个控制带轮的转动，另一个控制带轮的转动会带动与其固定连接的控制丝杆转动，控制丝杆的转动会带动与控制丝杆螺纹连接的控制滑移块在竖直方向上移动，控制滑移块的移动会带动与控制滑移块固定连接的控制滑块的移动，通过控制滑块和控制线轨的配合对控制滑移块的移动起到导向作用，通过控制滑移块的移动会带动与控制滑移块固定连接的移动板的移动，移动板在竖直方向上的移动会带动与移动板固定连接的调整平台的移动，进而会带动晶圆在竖直方向上的移动。

15、综上所述，本实用新型具有以下技术效果：

16、(1)该晶圆的托举组件，多个晶圆通过锯齿型凹槽和回型板托举可以稳定放置，锯齿型凹槽增加了回型板与晶圆的摩擦力，提高晶圆的安全性，通过锯齿型凹槽的作用，使得每个晶圆可以独立放置，且保持相同距离，减少了晶圆和连杆的接触或多个晶圆之间抵触而刮伤晶圆表面的可能性，也减少晶圆在移动过程中脱出回型板的可能性，同时提高了清洗晶圆的数量，提高清洁效率，回型板的设置不影响晶圆的清洗，减少清洗死角。

17、(2)该晶圆的托举组件，通过调节组件的作用调整横杆、连杆以及回型板在y轴上的位置，进而调整位于回型板上的晶圆在y轴上的位置。

18、(3)该晶圆的托举组件，通过控制组件的作用控制调整平台在竖直方向上移动，进而带动调整平台上的横杆在竖直方向上移动，从而带动横杆上的晶圆在竖直方向上移动，以便于控制晶圆在槽内上下移动，晶圆下移时，便于将晶圆移动至清洗槽内进行清洗，晶圆上移时，使得完成清洁的晶圆脱离清洗槽。