载台组件和加工设备的制作方法

本技术涉及物料加工，具体地，涉及一种载台组件和一种具有其的加工设备。

背景技术：

1、在以半导体器件(例如晶圆)为例的物料加工领域，半导体器件的切割工序是很重要的一个工序。切割方式通常有两种：一种是刀轮切割，另一种是激光切割。以激光切割(业内也称之为隐形切割，简称隐切)为例，通过将激光光束聚集在晶圆内部，从而形成炸点。通过精确控制聚焦物镜与晶圆表面之间的距离，在晶圆内部形成微裂缝，再通过劈刀或真空裂片使彼此相邻的晶粒分离。

2、激光加工设备包括载台。晶圆在进行切割时，其需要承载在载台的吸盘上。载台上设置有气路接头。通过对气路接头进行抽气，从而使吸盘上形成负压环境，进而使晶圆吸附在吸盘上。

3、然而传统的激光加工设备存在以下缺陷：气路接头位于载台的吸盘的下方。如果气路接头发生异常或漏气时，需要拆除整个载台。载台的维修成本非常高。

技术实现思路

1、为了至少部分地解决现有技术中存在的问题，根据本实用新型的一个方面，提供了一种载台组件。载台组件包括：安装盘；固定环，所述固定环设置在所述安装盘的上方；以及吸盘，所述吸盘设置在所述固定环上，所述固定环沿周向方向环绕所述吸盘，所述吸盘的顶面设置有吸附槽，所述固定环上设置有连通至所述吸附槽的气道，其中，所述固定环的气道上连接有气路接头，所述气路接头位于所述安装盘和所述吸盘的径向外侧。

2、示例性地，所述固定环的内周面的底部设置有向内凸出的环形台，所述吸盘设置在所述环形台上，所述吸盘的外周面的顶部与所述固定环的内周面之间设置有间隙，所述间隙连通在所述吸附槽与所述气道之间。

3、示例性地，所述固定环的内周面的顶部具有径向向外凹陷的凹槽，所述凹槽形成所述间隙。

4、示例性地，所述间隙为多个且围绕所述吸盘间隔分布，所述吸盘的外周面的底部与所述固定环的内周面间隔开以形成环形气腔，所述环形气腔连通多个所述间隙。

5、示例性地，所述气道包括第一气道和第二气道，所述第一气道的一端朝向径向内侧且连通所述吸附槽，所述第一气道的另一端连接至所述第二气道的一端，所述第二气道的另一端朝下且连接至所述气路接头。

6、示例性地，所述安装盘包括安装座和基座，所述固定环设置在所述安装座的上方，所述安装座设置在所述基座的上方。

7、示例性地，所述基座上设置有通道，所述气路接头呈l形，所述气路接头的一端向上连接至所述气道，所述气路接头的另一端朝向所述通道。

8、示例性地，所述吸附槽延伸至所述吸盘的外周面。

9、示例性地，所述吸附槽包括：从所述顶面的中心区域延伸至所述吸盘的外周面的第一吸附槽；以及沿所述吸盘的周向方向延伸的多个第二吸附槽，所述多个第二吸附槽连通至所述第一吸附槽。

10、示例性地，所述固定环上设置有电磁铁和/或朝上的吸嘴组件。

11、根据本实用新型的另一个方面，还提供了一种加工设备。加工设备包括如上任一种所述的载台组件。

12、本实用新型实施例提供的载台组件，由于气路接头位于安装盘和吸盘的径向外侧，如果气路接头发生异常或漏气时，可以直接将气路接头拆卸，从而进行检查或者更换。因此，无需拆除整个载台组件。这样，维修人员的工作量减少，载台组件的维修成本降低。基于此，连接至气路接头的气管也可以至少部分地位于所述径向外侧，因此载台组件方便检查或者更换气管。

13、在
技术实现要素：
中引入了一系列简化形式的概念，这将在具体实施方式部分中进一步详细说明。本实用新型内容部分并不意味着要试图限定出所要求保护的技术方案的关键特征和必要技术特征，更不意味着试图确定所要求保护的技术方案的保护范围。

14、以下结合附图，详细说明本实用新型的优点和特征。

技术特征：

1.一种载台组件，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的载台组件，其特征在于，所述固定环的内周面的底部设置有向内凸出的环形台，所述吸盘设置在所述环形台上，所述吸盘的外周面的顶部与所述固定环的内周面之间设置有间隙，所述间隙连通在所述吸附槽与所述气道之间。

3.如权利要求2所述的载台组件，其特征在于，所述固定环的内周面的顶部具有径向向外凹陷的凹槽，所述凹槽形成所述间隙。

4.如权利要求2所述的载台组件，其特征在于，所述间隙为多个且围绕所述吸盘间隔分布，所述吸盘的外周面的底部与所述固定环的内周面间隔开以形成环形气腔，所述环形气腔连通多个所述间隙。

5.如权利要求1所述的载台组件，其特征在于，所述气道包括第一气道和第二气道，所述第一气道的一端朝向径向内侧且连通所述吸附槽，所述第一气道的另一端连接至所述第二气道的一端，所述第二气道的另一端朝下且连接至所述气路接头。

6.如权利要求1所述的载台组件，其特征在于，所述安装盘包括安装座和基座，所述固定环设置在所述安装座的上方，所述安装座设置在所述基座的上方。

7.如权利要求6所述的载台组件，其特征在于，所述基座上设置有通道，所述气路接头呈l形，所述气路接头的一端向上连接至所述气道，所述气路接头的另一端朝向所述通道。

8.如权利要求1所述的载台组件，其特征在于，所述吸附槽延伸至所述吸盘的外周面。

9.如权利要求8所述的载台组件，其特征在于，所述吸附槽包括：

10.如权利要求1所述的载台组件，其特征在于，所述固定环上设置有电磁铁和/或朝上的吸嘴组件。

11.一种加工设备，其特征在于，包括如权利要求1-10中任一项所述的载台组件。

技术总结
本技术的实施例提供了一种载台组件和一种加工设备。载台组件包括：安装盘；固定环，固定环设置在安装盘的上方；以及吸盘，吸盘设置在固定环上，固定环沿周向方向环绕吸盘，吸盘的顶面设置有吸附槽，固定环上设置有连通至吸附槽的气道，其中，固定环的气道上连接有气路接头，气路接头位于安装盘和吸盘的径向外侧。如果气路接头发生异常或漏气时，可以直接将气路接头拆卸，从而进行检查或者更换。因此，无需拆除整个载台组件。这样，维修人员的工作量减少，载台组件的维修成本降低。基于此，连接至气路接头的气管也可以至少部分地位于径向外侧，因此载台组件为方便检查或者更换气管提供了可能。

技术研发人员：刘伟雄,黄张卓
受保护的技术使用者：深圳镁伽科技有限公司
技术研发日：20221220
技术公布日：2024/1/12