一种半导体碳素材料石墨涂层涂覆装置的制作方法

本技术涉及半导体涂覆，具体涉及一种半导体碳素材料石墨涂层涂覆装置。

背景技术：

1、半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件。

2、在半导体生产的过程中，需要在其避免涂覆碳素材料石墨涂层对其进行防护，现有的半导体碳素材料石墨涂层涂覆装置结构主要包括箱体以及用于对石墨涂料进行喷涂的喷涂机构，其在实际使用的过程中，缺乏连续上料的机构，导致在对一个半导体进行喷涂后，需要关闭装置，并将该半导体取出后，再将另一个半导体放入进行喷涂，缺乏自动进料和出料以及连续喷涂的机构，导致在整个过程中，存在喷涂效率低的缺陷。

3、为此，本申请提出一种半导体碳素材料石墨涂层涂覆装置。

技术实现思路

1、为了克服现有技术的上述缺陷，本实用新型的实施例提供一种半导体碳素材料石墨涂层涂覆装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体碳素材料石墨涂层涂覆装置，包括工作台，所述工作台的上表面固设有固定框，且固定框的内顶壁设置有石墨涂料喷涂机构；

3、所述工作台的上表面设置有自动进出料机构，所述自动进出料机构包括开设在工作台上表面的条形槽以及转动设置在条形槽内壁的丝杠，且工作台的侧面设置有用于驱动丝杠转动的驱动电机，所述自动进出料机构还包括滑动设置在工作台上表面的移动板，以及固设在移动板上表面的两个对称的用于对半导体进行放置的放置板，所述移动板的下表面固设有与条形槽内壁滑动连接的滑块，且滑块的侧面开设有与丝杠表面螺纹连接的螺纹孔。

4、优选的，所述石墨涂料喷涂机构包括设置在固定框上表面的石墨涂料箱，以及设置在石墨涂料箱下表面的输送泵。

5、优选的，所述石墨涂料喷涂机构还包括开设在固定框内顶壁的矩形开口，以及转动设置在矩形开口内壁的螺纹柱，且固定框的侧面设置有用于驱动螺纹柱转动的旋转电机。

6、优选的，所述矩形开口的内壁滑动设置有移动块，且移动块的侧面开设有与螺纹柱表面螺纹连接的螺纹孔，所述移动块的下表面和石墨涂料箱的下表面固定连接，所述移动块的下表面固设有喷涂管，且喷涂管的下表面等距设置有若干个雾化喷头，所述输送泵的进料端延伸至石墨涂料箱的内部，输送泵的出料端通过软管与喷涂管连通。

7、优选的，所述固定框和工作台的表面设置有除雾机构，所述除雾机构包括分别设置有工作台下表面的水箱以及固设在固定框上表面的循环泵。

8、优选的，所述除雾机构还包括开设在工作台上表面并延伸至水箱内部的两个对称的条形开口，以及固设在固定框两侧内壁并与条形开口相对应的倾斜引流板，所述循环泵的进水端延伸至水箱的内部，循环泵的出水端延伸至固定框的内部并与倾斜引流板相对应。

9、本实用新型的有益效果：通过设置石墨涂料喷涂机构和自动进出料机构，使该装置在实际使用的过程中，能够实现连续喷涂的目的，有效的提高了喷涂涂覆的效率。通过设置除雾机构，使喷涂时产生的多余喷雾能够顺着气流被水吸附，实现除雾的目的，避免了喷涂时产生的喷雾对环境设备造成污染。

技术特征：

1.一种半导体碳素材料石墨涂层涂覆装置，包括工作台，其特征在于：所述工作台的上表面固设有固定框，且固定框的内顶壁设置有石墨涂料喷涂机构；

2.根据权利要求1所述的一种半导体碳素材料石墨涂层涂覆装置，其特征在于：所述石墨涂料喷涂机构包括设置在固定框上表面的石墨涂料箱，以及设置在石墨涂料箱下表面的输送泵。

3.根据权利要求2所述的一种半导体碳素材料石墨涂层涂覆装置，其特征在于：所述石墨涂料喷涂机构还包括开设在固定框内顶壁的矩形开口，以及转动设置在矩形开口内壁的螺纹柱，且固定框的侧面设置有用于驱动螺纹柱转动的旋转电机。

4.根据权利要求3所述的一种半导体碳素材料石墨涂层涂覆装置，其特征在于：所述矩形开口的内壁滑动设置有移动块，且移动块的侧面开设有与螺纹柱表面螺纹连接的螺纹孔，所述移动块的下表面和石墨涂料箱的下表面固定连接，所述移动块的下表面固设有喷涂管，且喷涂管的下表面等距设置有若干个雾化喷头，所述输送泵的进料端延伸至石墨涂料箱的内部，输送泵的出料端通过软管与喷涂管连通。

5.根据权利要求1-4任一项所述的一种半导体碳素材料石墨涂层涂覆装置，其特征在于：所述固定框和工作台的表面设置有除雾机构，所述除雾机构包括分别设置有工作台下表面的水箱以及固设在固定框上表面的循环泵。

6.根据权利要求5所述的一种半导体碳素材料石墨涂层涂覆装置，其特征在于：所述除雾机构还包括开设在工作台上表面并延伸至水箱内部的两个对称的条形开口，以及固设在固定框两侧内壁并与条形开口相对应的倾斜引流板，所述循环泵的进水端延伸至水箱的内部，循环泵的出水端延伸至固定框的内部并与倾斜引流板相对应。

技术总结
本技术涉及半导体涂覆技术领域，具体涉及一种半导体碳素材料石墨涂层涂覆装置，包括工作台，工作台的上表面固设有固定框，且固定框的内顶壁设置有石墨涂料喷涂机构；工作台的上表面设置有自动进出料机构，自动进出料机构包括开设在工作台上表面的条形槽以及转动设置在条形槽内壁的丝杠，且工作台的侧面设置有用于驱动丝杠转动的驱动电机，自动进出料机构还包括滑动设置在工作台上表面的移动板，以及固设在移动板上表面的两个对称的用于对半导体进行放置的放置板。该半导体碳素材料石墨涂层涂覆装置在实际使用的过程中，能够实现连续喷涂的目的，有效的提高了喷涂涂覆的效率。

技术研发人员：彭立
受保护的技术使用者：重庆立弘时代新材料有限公司
技术研发日：20221227
技术公布日：2024/1/12