一种晶圆热处理用石英舟的制作方法

本技术属于石英舟，更具体地说，特别涉及一种晶圆热处理用石英舟。

背景技术：

1、在半导体材料制备领域，常常采用热氧化的方法在晶圆表面制备二氧化硅等，对晶圆进行热处理，在晶圆进行热处理的过程中，大多将多个晶圆放置于石英舟中，再将石英舟放置于热处理反应釜中，同时对多个晶圆进行热处理。

2、基于上述，本发明人发现，现有的一部分石英舟结构过于简单，石英舟和晶圆的直径不匹配，晶圆放置于石英舟上稳定性差，在热处理的过程中，容易产生晃动，使得晶圆受热不均匀或相互碰撞产生划痕。

技术实现思路

1、为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种晶圆热处理用石英舟，以解决现有的一部分石英舟上稳定性差，在热处理的过程中，容易产生晃动，使得晶圆受热不均匀或相互碰撞产生划痕的问题。

2、本实用新型一种晶圆热处理用石英舟的目的与功效，由以下具体技术手段所达成：

3、一种晶圆热处理用石英舟，包括主体；所述主体的内部开设有圆形槽，且主体的内部还设有限位槽；所述主体的内部呈等距平行状固定连接有内螺纹筒，且主体的内部安装有托盘，并且主体内滑动连接有石英座；所述石英座的两侧分别开设有安装孔，且安装孔内滑动连接有支撑杆；所述支撑杆上开设有螺纹孔，且支撑杆上安装有调整杆；所述主体的两侧分别开设有螺纹孔，且主体的两侧分别安装有活动杆a，并且活动杆a上的外侧开设有螺纹；所述活动杆a的外侧螺纹连接在主体螺纹孔内，且活动杆a上安装有活动杆b。

4、进一步的，所述石英座的外侧与限位槽相贴合，且石英座的底部开设有调整孔，并且调整孔内滑动连接有内螺纹筒。

5、进一步的，所述托盘的底部设有螺纹杆，且托盘底部螺纹杆螺纹连接在内螺纹筒内，并且托盘滑动连接在石英座的内部。

6、进一步的，所述调整杆的外侧设有螺纹，且调整杆螺纹连接在支撑杆螺纹孔内；所述调整杆的顶部开设有内六角孔，且调整杆内六角孔内滑动连接有摇把。

7、进一步的，所述调整杆的底部转动连接有压实盘，且压实盘的底部呈环绕状固定连接有压实杆，并且压实杆的底部与晶圆顶部相贴合。

8、进一步的，所述活动杆a的顶部固定连接有防滑圈，且活动杆a的内侧也开设有螺纹孔。

9、进一步的，所述活动杆b的顶部外侧设有螺纹，且活动杆b螺纹连接在活动杆a螺纹孔内，并且活动杆b的顶部固定连接有吊环。

10、与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

11、1、本实用新型通过设置旋转托盘调整托盘在内螺纹筒的高度，然后利用托盘对石英座内的晶圆进行托举，使晶圆在石英座内能调整高度，进而利用石英座内部上大下小的形状更加的贴合于更多直径的晶圆外侧，避免晶圆在制造的过程中向下位移。

12、2、本实用新型在晶圆放入石英座后通过摇把的旋转，使支撑杆上的调整杆进行上下位移，将调整杆底部的压实杆贴合在晶圆的顶部，防止晶圆在制造的过程中向上位移，更好地将晶圆固定到石英座内，方便工作人员进行晶圆的如处理工作。

13、3、本实用新型通过设置吊环连接吊索或者吊钩，方便工作人员将本装置从加热设备中取出，而且活动杆a和活动杆b的高度都可以进行调整，方便工作人员更好地将本装置从加热设备内取出。

技术特征：

1.一种晶圆热处理用石英舟，其特征在于：包括主体(1)；所述主体(1)的内部开设有圆形槽，且主体(1)的内部还设有限位槽(101)；所述主体(1)的内部呈等距平行状固定连接有内螺纹筒(102)，且主体(1)的内部安装有托盘(2)，并且主体(1)内滑动连接有石英座(3)；所述石英座(3)的两侧分别开设有安装孔(302)，且安装孔(302)内滑动连接有支撑杆(4)；所述支撑杆(4)上开设有螺纹孔，且支撑杆(4)上安装有调整杆(5)；所述主体(1)的两侧分别开设有螺纹孔，且主体(1)的两侧分别安装有活动杆a(7)，并且活动杆a(7)上的外侧开设有螺纹；所述活动杆a(7)的外侧螺纹连接在主体(1)螺纹孔内，且活动杆a(7)上安装有活动杆b(8)。

2.如权利要求1所述一种晶圆热处理用石英舟，其特征在于：所述石英座(3)的外侧与限位槽(101)相贴合，且石英座(3)的底部开设有调整孔(301)，并且调整孔(301)内滑动连接有内螺纹筒(102)。

3.如权利要求1所述一种晶圆热处理用石英舟，其特征在于：所述托盘(2)的底部设有螺纹杆，且托盘(2)底部螺纹杆螺纹连接在内螺纹筒(102)内，并且托盘(2)滑动连接在石英座(3)的内部。

4.如权利要求1所述一种晶圆热处理用石英舟，其特征在于：所述调整杆(5)的外侧设有螺纹，且调整杆(5)螺纹连接在支撑杆(4)螺纹孔内；所述调整杆(5)的顶部开设有内六角孔，且调整杆(5)内六角孔内滑动连接有摇把(501)。

5.如权利要求1所述一种晶圆热处理用石英舟，其特征在于：所述调整杆(5)的底部转动连接有压实盘(6)，且压实盘(6)的底部呈环绕状固定连接有压实杆(601)，并且压实杆(601)的底部与晶圆顶部相贴合。

6.如权利要求1所述一种晶圆热处理用石英舟，其特征在于：所述活动杆a(7)的顶部固定连接有防滑圈(701)，且活动杆a(7)的内侧也开设有螺纹孔。

7.如权利要求1所述一种晶圆热处理用石英舟，其特征在于：所述活动杆b(8)的顶部外侧设有螺纹，且活动杆b(8)螺纹连接在活动杆a(7)螺纹孔内，并且活动杆b(8)的顶部固定连接有吊环(801)。

技术总结
本技术提供一种晶圆热处理用石英舟，涉及石英舟技术领域，解决现有的一部分石英舟上稳定性差，在热处理的过程中，容易产生晃动，使得晶圆受热不均匀或相互碰撞产生划痕的问题，包括主体；所述主体的内部开设有圆形槽，且主体的内部还设有限位槽；所述主体的内部呈等距平行状固定连接有内螺纹筒，且主体的内部安装有托盘，并且主体内滑动连接有石英座；所述石英座的两侧分别开设有安装孔，且安装孔内滑动连接有支撑杆；本技术在晶圆放入石英座后通过摇把的旋转，使支撑杆上的调整杆进行上下位移，将调整杆底部的压实杆贴合在晶圆的顶部，防止晶圆在制造的过程中向上位移，更好地将晶圆固定到石英座内。

技术研发人员：王华阳,赵福庆,袁春阳
受保护的技术使用者：苏州鑫泓电子科技有限公司
技术研发日：20221228
技术公布日：2024/1/12