一种硅芯清洗系统的制作方法

本技术涉及多晶硅生产，尤其涉及一种硅芯清洗系统。

背景技术：

1、硅芯作为生产多晶硅时还原炉内多晶硅料沉积的载体，其表面洁净程度将直接影响到多晶硅成品的品质。加工硅芯时，通常经过去头尾、切割、打磨等工序，使之符合需要的尺寸与形状，在此过程中，硅芯表面会粘附硅泥粉尘，使硅芯表面造成有机物、金属元素等的污染，因此使用前对硅芯进行清洗。

2、现有硅芯清洗工艺主要是先将硅芯放置清洗机中用混酸浸泡，混酸一般是一定比例的hf和hno3，对硅芯表面进行有效的腐蚀，其反应如下：si+4hno3+6hf＝h2sif6+4no2+4h2o，此清洗方式中，硅芯不可避免地与清洗机内部进行接触，易导致硅芯与清洗机接触位置清洗不彻底的问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于克服现有技术的问题，提供了一种硅芯清洗系统。

2、本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：一种硅芯清洗系统，系统具体包括清洗室和安装架；清洗室内设有清洗槽，清洗槽内设有转轴；安装架上设有固定件，固定件用于固定硅芯端部，安装架设于转轴上。

3、在一示例中，所述清洗室内安装架上方设有第一喷淋头，第一喷淋头连接清洗液管线。

4、在一示例中，所述安装架为具有伸缩功能的安装架，以匹配固定不同长度的硅芯。

5、在一示例中，所述固定件为具有旋转功能的固定件。

6、在一示例中，所述系统还包括漂洗室，漂洗室内设有连接超纯水管线的第二喷淋头，用于漂洗经过清洗的硅芯。

7、在一示例中，所述清洗槽底部设有清洗液收集器；漂洗室底部设有废水收集器。

8、在一示例中，所述系统还包括设有烘干室，烘干室内设有烘干装置，用于烘干经过漂洗的硅芯。

9、在一示例中，所述系统还包括质量检测室，质量检测室内设有图像采集设备，用于采集经过烘干的硅芯图像。

10、在一示例中，所述转轴依次贯穿清洗室、漂洗室、烘干室、质量检测室设置，安装架能够在转轴上进行水平位移。

11、在一示例中，所述清洗室与漂洗室之间，和/或漂洗室与烘干室之间，和/或烘干室与质量检测室之间设有隔帘或隔板。

12、需要进一步说明的是，上述各示例对应的技术特征可以相互组合或替换构成新的技术方案。

13、与现有技术相比，本实用新型有益效果是：

14、1.在一示例中，通过固定硅芯端部的固定件将安装架固定于转轴上，能够使安装架在清洗槽中清洗液旋转，硅芯端部外的其他部分均能够与清洗液充分接触，以此避免硅芯与清洗槽接触进而导致的清洗不彻底的问题。

15、2.在一示例中，通过第一喷淋头向清洗槽内补充清洗液，保证清洗液浓度；同时，通过第一喷淋头向旋转的硅芯喷淋清洗液，进一步对硅芯进行清洗，提升清洗效果。

16、3.在一示例中，具有伸缩功能的安装架能够固定不同长度的硅芯，提升了固定灵活性。

17、4.在一示例中，通过具有旋转功能的固定件带动硅芯旋转，配合转轴带动安装架旋转，能够全面显露硅芯表面，保证硅芯表面与清洗液充分接触，还可保证硅芯表面被充分漂洗、烘干等，进一步提升了清洗效果。

18、5.在一示例中，通过第二喷淋头对硅芯进行冲洗，去除硅芯表面残留的清洗液，保证后续基于硅芯制备的多晶硅成品的品质。

19、6.在一示例中，通过清洗液收集器、废水收集器实现清洗液、废水的回收，经处理后可实现清洗液、废水的再利用。

20、7.在一示例中，通过烘干装置将经过漂洗的硅芯进行烘干处理，加快了硅芯干燥进程，节约了整个硅芯清洗工艺的时间成本开销。

21、8.在一示例中，通过图像采集设备采集烘干后的硅芯表面图像，通过观察图像或者基于图像处理技术对图像进行检测，进而判断硅芯表面的洁净度是否合格，若合格，进入下一工序；若不合格，返回重新清洗。

22、9.在一示例中，转轴贯穿设置且安装架能在转轴上移动，进而实现全流程自动清洗，降低了人工工作量，提高了清洗效率。

23、10.在一示例中，通过设置隔帘或隔板能够避免其他腔室杂质进入，保证各工艺环节的清洗效果。

技术特征：

1.一种硅芯清洗系统，其特征在于：其包括清洗室和安装架；

2.根据权利要求1所述的一种硅芯清洗系统，其特征在于：所述清洗室内安装架上方设有第一喷淋头，第一喷淋头连接清洗液管线。

3.根据权利要求1所述的一种硅芯清洗系统，其特征在于：所述安装架为具有伸缩功能的安装架，以匹配固定不同长度的硅芯。

4.根据权利要求1所述的一种硅芯清洗系统，其特征在于：所述固定件为具有旋转功能的固定件。

5.根据权利要求1所述的一种硅芯清洗系统，其特征在于：所述系统还包括漂洗室，漂洗室内设有连接超纯水管线的第二喷淋头，用于漂洗经过清洗的硅芯。

6.根据权利要求5所述的一种硅芯清洗系统，其特征在于：所述清洗槽底部设有清洗液收集器；漂洗室底部设有废水收集器。

7.根据权利要求5所述的一种硅芯清洗系统，其特征在于：所述系统还包括设有烘干室，烘干室内设有烘干装置，用于烘干经过漂洗的硅芯。

8.根据权利要求7所述的一种硅芯清洗系统，其特征在于：所述系统还包括质量检测室，质量检测室内设有图像采集设备，用于采集经过烘干的硅芯图像。

9.根据权利要求8所述的一种硅芯清洗系统，其特征在于：所述转轴依次贯穿清洗室、漂洗室、烘干室、质量检测室设置，安装架能够在转轴上进行水平位移。

10.根据权利要求8所述的一种硅芯清洗系统，其特征在于：所述清洗室与漂洗室之间，和/或漂洗室与烘干室之间，和/或烘干室与质量检测室之间设有隔帘或隔板。

技术总结
本技术公开了一种硅芯清洗系统，属于多晶硅生产技术领域，包括清洗室和安装架；清洗室内设有清洗槽，清洗槽内设有转轴；安装架上设有固定件，固定件用于固定硅芯端部，安装架设于转轴上。通过固定硅芯端部的固定件将安装架固定于转轴上，能够使安装架在清洗槽中清洗液旋转，硅芯端部外的其他部分均能够与清洗液充分接触，以此避免硅芯与清洗槽接触进而导致的清洗不彻底的问题。

技术研发人员：安军林,魏东亮,蔡延国,任长春,王茜
受保护的技术使用者：青海亚洲硅业多晶硅有限公司
技术研发日：20221230
技术公布日：2024/1/12