本技术涉及半导体加工,具体为一种抛光片去边设备。
背景技术:
1、申请人在研发初期,对于重掺砷抛光片采用手动设备背封去边,具体为,通过人工提取抛光片放入清洗槽中进行腐蚀去边;这种工艺中,去边宽度较差,精度很难把控,同时,由于手动操作对于工人的要求较高,容易导致氧化膜表面划伤,影响产品质量。
技术实现思路
1、本实用新型的目的在于提供一种抛光片去边设备,以解决上述背景技术中关于分体式导轨所提出的问题。
2、为解决上述技术问题,本实用新型提供如下技术方案:一种抛光片去边设备,包括沿设备台面设置的上料台、清洗槽以及下料台;
3、还包括可沿设备台面滑动的机械手,机械手的端部连接吸盘,吸盘用于抓取抛光片,抛光片表面附膜,并将需要去边的部分露出;
4、清洗槽设置有三个,第一个清洗槽中盛放氢氟酸,后面两个清洗槽中盛放纯水,吸盘吸取抛光片放入氢氟酸中将需要去边的部分酸蚀掉,然后依次放入后面两个清洗槽中清洗。
5、优选的,机械手包括用于驱动沿设备台面滑动的第一驱动部,还包括用于驱动吸盘垂直升降的第二驱动部。
6、优选的,吸盘为圆柱状结构,且吸盘的高度高于清洗槽中的液位深度。
7、优选的,吸盘的外周面滑动套接有液刷,液刷受第二驱动部驱动;
8、第二驱动部包括第一齿轮和第二齿轮,第一齿轮采用齿轮齿条的方式驱动吸盘,第二齿轮采用齿轮齿条的方式驱动液刷;
9、第一齿轮固定连接有第一驱动轴,第二齿轮固定连接有第二驱动轴,第一驱动轴和第二驱动轴相互转动连接,并且在第一驱动轴和第二驱动轴之间设置有过渡轴;
10、第一驱动轴、过渡轴以及第二驱动轴的外周面均设置有摆臂,第一驱动轴在旋转中通过摆臂驱动过渡轴旋转,过渡轴在旋转中通过摆臂驱动第二驱动轴旋转,第一驱动轴受电机驱动;
11、初始状态下,第一驱动轴旋转,驱动第一齿轮旋转,驱动吸盘向下滑动,待一段距离后,第一驱动轴通过摆臂推动过渡轴旋转,过渡轴旋转一段距离后推动第二驱动轴旋转,第二驱动轴带动第二齿轮驱动液刷滑动对吸盘外周面进行除液。
12、优选的,下料台的端面上设置有吸水海绵,当吸盘将抛光片放下后,转移到吸水海绵的上方,然后下压,吸水海绵将吸盘的底部端面擦干。
13、优选的,清洗槽的上部设置有溢流槽,清洗槽外接有输入管道,通过循环输入保持清洗槽中的液流持续更新。
14、与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
15、本实用新型采用机械手加吸盘的形式对抛光片进行转移,形成流程化以及自动化作业,能够保证交给那个产品的质量稳定性以及去边精度。
1.一种抛光片去边设备,其特征在于:包括沿设备台面设置的上料台、清洗槽以及下料台;
2.根据权利要求1所述的一种抛光片去边设备,其特征在于:机械手包括用于驱动沿设备台面滑动的第一驱动部,还包括用于驱动吸盘垂直升降的第二驱动部。
3.根据权利要求2所述的一种抛光片去边设备,其特征在于:吸盘为圆柱状结构,且吸盘的高度高于清洗槽中的液位深度。
4.根据权利要求3所述的一种抛光片去边设备,其特征在于:吸盘的外周面滑动套接有液刷,液刷受第二驱动部驱动;
5.根据权利要求4所述的一种抛光片去边设备,其特征在于:下料台的端面上设置有吸水海绵,当吸盘将抛光片放下后,转移到吸水海绵的上方,然后下压,吸水海绵将吸盘的底部端面擦干。
6.根据权利要求4所述的一种抛光片去边设备,其特征在于:清洗槽的上部设置有溢流槽,清洗槽外接有输入管道,通过循环输入保持清洗槽中的液流持续更新。