载台移动装置的制作方法

本技术与移动装置有关，特别是有关于一种载台移动装置。

背景技术：

1、于半导体加工或检测作业中，多采用可移动的载台以承载一工件，以便移动或转动该工件而达到自动化及精准对位的效果。

2、然而，现有的载台多借由螺杆、棘齿或转动轴等机构带动而转动，结构复杂且所需的配置空间大，导致设备组装不易、生产成本高及体积大等问题，存在亟待改善的缺弊。

3、因此，有必要提供一种新颖且具有进步性的载台移动装置，以解决上述的问题。

技术实现思路

1、本实用新型的主要目的在于提供一种载台移动装置，结构简单且有助于薄型化。

2、为达成上述目的，本实用新型提供一种载台移动装置，包括：一基座；一载台，供承载一基板，以一中心线为轴可转动地设于该基座；及至少一致动机构，设于该基座，包括至少一抵推件，该至少一抵推件可相对该载台往复移动并抵推该载台的一外周面以带动该载台转动，该至少一抵推件的一抵推中心轴偏心于该中心线。

3、作为上述技术方案的优选，较佳的，另包括一轴承，其中该轴承包括一内环件及一可相对该内环件转动的外环件，该内环件抵接于该载台，该外环件抵接于该基座。

4、作为上述技术方案的优选，较佳的，该载台包括一中空部分及一设于该中空部分的透光板，复数吸附孔相间隔地分布于该中空部分的外周以供吸附该基板。

5、作为上述技术方案的优选，较佳的，另包括一感测单元，其中该感测单元包括一被测件及一设于该基座的传感器，该被测件径向凸设于该载台的该外周面，该传感器可感测该被测件的相对位置。

6、作为上述技术方案的优选，较佳的，另包括一光学尺模块，其中该光学尺模块包括一光学尺及一设于该基座的读头，该光学尺设于该载台的该外周面，该读头对应于该光学尺以供反馈该载台的转动位置。

7、作为上述技术方案的优选，较佳的，各该致动机构为一线性马达且包括二沿该载台的一厚度方向相叠设的该抵推件。

8、作为上述技术方案的优选，较佳的，该至少一致动机构的数量为复数，该载台定义至少一垂直且通过该中心线的径向延伸线；自各该致动机构朝该中心线观之，其中一该抵推中心轴位于一该径向延伸线的右侧，另一该抵推中心轴位于一该径向延伸线的左侧。

9、作为上述技术方案的优选，较佳的，该载台定义至少一垂直且通过该中心线的径向延伸线，各该抵推中心轴平行于一该径向延伸线。

10、作为上述技术方案的优选，较佳的，其中一该抵推中心轴与一该径向延伸线之间距不小于0.3毫米且不大于2毫米。

11、作为上述技术方案的优选，较佳的，该轴承包括一内环件及一可相对该内环件转动的外环件，该内环件抵接于该载台，该外环件抵接于该基座；该载台包括一中空部分及一设于该中空部分的透光板，复数吸附孔相间隔地分布于该中空部分的外周以供吸附该基板；该载台包括一本体及一环设于该本体的陶瓷环体，各该抵推件可径向抵推该陶瓷环体；该载台另包括一可拆卸地连接于该本体的第一压板，该内环件夹设于该本体与该第一压板之间；一第二压板可拆卸地连接于该基座，该外环件夹设于该第二压板与该基座之间；该第一压板及该第二压板分别呈环形延伸；该载台移动装置另包括一感测单元，该感测单元包括一被测件及一设于该基座的传感器，该被测件径向凸设于该载台的该外周面，该传感器可感测该被测件的相对位置；该本体另包括一环凸缘，该光学尺设于该环凸缘的外周面，该被测件为一凸设于该环凸缘的挡片；各该致动机构为一线性马达且包括二沿该载台的一厚度方向相叠设的该抵推件；该至少一致动机构的数量为复数，该载台定义至少一垂直且通过该中心线的径向延伸线；自各该致动机构朝该中心线观之，其中一该抵推中心轴位于一该径向延伸线的右侧，另一该抵推中心轴位于一该径向延伸线的左侧；各该抵推中心轴平行于一该径向延伸线；其中一该抵推中心轴与一该径向延伸线的间距不小于0.3毫米且不大于2毫米；该基座包括一呈矩形的容置部，该载台设于该容置部的一中间部分，各该致动机构设于该容置部的一角隅处；及该载台移动装置另包括相互叠设的一x轴位移模块及一y轴位移模块，该基座设于该x轴位移模块及该y轴位移模块其中之一。

技术特征：

1.一种载台移动装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的载台移动装置，其特征在于，另包括一轴承，其中该轴承包括一内环件及一可相对该内环件转动的外环件，该内环件抵接于该载台，该外环件抵接于该基座。

3.根据权利要求1所述的载台移动装置，其特征在于，该载台包括一中空部分及一设于该中空部分的透光板，复数吸附孔相间隔地分布于该中空部分的外周以供吸附该基板。

4.根据权利要求1所述的载台移动装置，其特征在于，另包括一感测单元，其中该感测单元包括一被测件及一设于该基座的传感器，该被测件径向凸设于该载台的该外周面，该传感器可感测该被测件的相对位置。

5.根据权利要求1所述的载台移动装置，其特征在于，另包括一光学尺模块，其中该光学尺模块包括一光学尺及一设于该基座的读头，该光学尺设于该载台的该外周面，该读头对应于该光学尺以供反馈该载台的转动位置。

6.根据权利要求1所述的载台移动装置，其特征在于，各该致动机构为一线性马达且包括二沿该载台的一厚度方向相叠设的该抵推件。

7.根据权利要求1至6任一项所述的载台移动装置，其特征在于，该至少一致动机构的数量为复数，该载台定义至少一垂直且通过该中心线的径向延伸线；自各该致动机构朝该中心线观之，其中一该抵推中心轴位于一该径向延伸线的右侧，另一该抵推中心轴位于一该径向延伸线的左侧。

8.根据权利要求1至6任一项所述的载台移动装置，其特征在于，该载台定义至少一垂直且通过该中心线的径向延伸线，各该抵推中心轴平行于一该径向延伸线。

9.根据权利要求8所述的载台移动装置，其特征在于，其中一该抵推中心轴与一该径向延伸线之间距不小于0.3毫米且不大于2毫米。

10.根据权利要求5所述的载台移动装置，其特征在于，另包括一轴承，该轴承包括一内环件及一可相对该内环件转动的外环件，该内环件抵接于该载台，该外环件抵接于该基座；该载台包括一中空部分及一设于该中空部分的透光板，复数吸附孔相间隔地分布于该中空部分的外周以供吸附该基板；该载台包括一本体及一环设于该本体的陶瓷环体，各该抵推件可径向抵推该陶瓷环体；该载台另包括一可拆卸地连接于该本体的第一压板，该内环件夹设于该本体与该第一压板之间；一第二压板可拆卸地连接于该基座，该外环件夹设于该第二压板与该基座之间；该第一压板及该第二压板分别呈环形延伸；该载台移动装置另包括一感测单元，该感测单元包括一被测件及一设于该基座的传感器，该被测件径向凸设于该载台的该外周面，该传感器可感测该被测件的相对位置；该本体另包括一环凸缘，该光学尺设于该环凸缘的外周面，该被测件为一凸设于该环凸缘的挡片；各该致动机构为一线性马达且包括二沿该载台的一厚度方向相叠设的该抵推件；该至少一致动机构的数量为复数，该载台定义至少一垂直且通过该中心线的径向延伸线；自各该致动机构朝该中心线观之，其中一该抵推中心轴位于一该径向延伸线的右侧，另一该抵推中心轴位于一该径向延伸线的左侧；各该抵推中心轴平行于一该径向延伸线；其中一该抵推中心轴与一该径向延伸线的间距不小于0.3毫米且不大于2毫米；该基座包括一呈矩形的容置部，该载台设于该容置部的一中间部分，各该致动机构设于该容置部的一角隅处；及该载台移动装置另包括相互叠设的一x轴位移模块及一y轴位移模块，该基座设于该x轴位移模块及该y轴位移模块其中之一。

技术总结
本技术提供了一种载台移动装置，包括：一基座；一载台，供承载一基板，以一中心线为轴可转动地设于该基座；及至少一致动机构，设于该基座，包括至少一抵推件，该至少一抵推件可相对该载台往复移动并抵推该载台的一外周面以带动该载台转动，该至少一抵推件的一抵推中心轴偏心于该中心线。

技术研发人员：吴子成
受保护的技术使用者：惠特科技股份有限公司
技术研发日：20221230
技术公布日：2024/1/12