静电卡盘的制作方法

本公开涉及静电卡盘。

背景技术：

1、在半导体产品的制造工序等中，使用用于吸附、保持非吸附物的静电卡盘。蓝宝石是透明的绝缘体，能够作为检查装置等要求透明性的用途的静电卡盘来使用(专利文献1)。蓝宝石与玻璃相比具有优异的耐磨损性，不易损伤。进而，蓝宝石也具有优异的耐腐蚀性，也能够用于等离子体处理装置等的基板吸附部。但是，蓝宝石具有各向异性，例如存在因面取向而吸附力不同的问题。

2、在先技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开平6-291175号公报

技术实现思路

1、-用于解决课题的手段-

2、本公开所涉及的静电卡盘包含：具有用于载置被吸附物的吸附面板状体；基体；以及电极膜，位于板状体与基体之间。板状体以及基体由蓝宝石形成。吸附面与蓝宝石的c面所成的角为45°以上。

1.一种静电卡盘，包含：

2.根据权利要求1所述的静电卡盘，其中，

3.根据权利要求1或2所述的静电卡盘，其中，

4.根据权利要求1～3中任一项所述的静电卡盘，其中，