衬底处理装置、衬底处理系统、及数据处理方法与流程

本发明涉及一种衬底处理装置、衬底处理系统、及数据处理方法。

背景技术：

1、提案有一种安装已学习模型的衬底处理装置(例如参考专利文献1)。这种衬底处理装置基于从已学习模型输出的输出数据而动作。

2、专利文献1的衬底处理装置具备喷出喷嘴、相机、及控制部。相机拍摄喷出喷嘴的前端、与从所述前端喷出的处理液。相机在对衬底喷出处理液的期间执行拍摄，取得多个图像数据。控制部具有已机械学习的分类器(已学习模型)。分类器将图像数据分类到多个类别(类)中的一个。

3、类别根据处理液的喷出状态设定。具体来说，多个类别包含表示处理液从喷出喷嘴以连续流流下的正常喷出状态的类别、表示在处理液的喷出停止时处理液以滴液落下的啪嗒落下状态的类别、及表示未喷出处理液的喷出停止状态的类别。

4、控制部基于分类器的分类结果(输出数据)，判定处理液的喷出状态。在控制部判定处理液的喷出状态为啪嗒落下状态的情况下，向作业者报知错误。

5、[背景技术文献]

6、[专利文献]

7、专利文献1：日本专利特开2020-32409号公报

技术实现思路

1、[发明所要解决的问题]

2、然而，难以保证从已学习模型输出的输出数据的可靠性。也就是说，已学习模型的输出数据可能并非最佳的数据。例如，在已学习模型输出衬底处理的条件也就是处理条件(设定值)的情况下，可能设定并非最佳的处理条件(并非最佳的设定值)。在设定并非最佳的处理条件的情况下，衬底处理后的衬底的状态可能与目标状态不同。因此，在安装已学习模型的衬底处理装置中有进一步改良的余地。

3、本发明是鉴于所述问题而完成的，目的在于提供一种能够保证从已学习模型输出的处理条件的可靠性的衬底处理装置、衬底处理系统、及数据处理方法。

4、[解决问题的技术手段]

5、根据本发明的一方面，衬底处理装置执行对于衬底的处理也就是衬底处理。所述衬底处理装置具备厚度测定部、控制部、及存储部。所述厚度测定部测定所述衬底所含的对象物的厚度。所述控制部通过对输出执行所述衬底处理时的处理条件的已学习模型，输入表示所述衬底处理的处理量的目标值的输入数据，而从所述已学习模型输出所述处理条件。所述存储部存储基于用于构建所述已学习模型的多个学习用数据而取得的基准数据。所述学习用数据表示学习时的所述衬底处理的处理量。所述控制部在执行所述衬底处理之前，使所述厚度测定部测定所述对象物的厚度，取得表示执行所述衬底处理之前的所述对象物的厚度的处理前测定数据。所述控制部基于表示所述对象物的厚度的目标值的目标数据与所述处理前测定数据，产生所述输入数据。所述控制部比较所述输入数据与所述基准数据，决定是否执行所述衬底处理。

6、在某实施方式中，所述存储部存储对于所述输入数据与所述基准数据的比较结果的至少1个阈值。所述控制部比较所述输入数据与所述基准数据，取得所述比较结果，基于所述比较结果与所述至少1个阈值，决定是否执行所述衬底处理。

7、在某实施方式中，所述控制部基于所述比较结果与所述至少1个阈值，选择多个决定项目的中的1个。所述多个决定项目包含第1决定项目、第2决定项目、及第3决定项目。所述第1决定项目是决定不执行所述衬底处理的项目。所述第2决定项目是决定基于从所述已学习模型输出的所述处理条件，执行所述衬底处理，且决定使所述存储部存储表示已执行所述衬底处理的信息的项目。所述第3决定项目是决定基于从所述已学习模型输出的所述处理条件，执行所述衬底处理的项目。

8、在某实施方式中，所述至少1个阈值包含第1阈值、与值小于所述第1阈值的第2阈值。所述控制部在所述比较结果大于所述第1阈值的情况下，选择所述第1决定项目。所述控制部在所述比较结果大于所述第2阈值、且为所述第1阈值以下的情况下，选择所述第2决定项目。所述控制部在所述比较结果为所述第2阈值以下的情况下，选择所述第3决定项目。

9、在某实施方式中，所述存储部还存储既定条件作为所述处理条件。所述多个决定项目还包含第4决定项目。所述第4决定项目是决定基于所述既定条件执行所述衬底处理、且决定使所述存储部存储表示已执行所述衬底处理的信息的项目。

10、在某实施方式中，所述至少1个阈值包含第1阈值、与值小于所述第1阈值的第2阈值。所述控制部在所述比较结果大于所述第1阈值的情况下，选择所述第1决定项目。所述控制部在所述比较结果大于所述第2阈值、且为所述第1阈值以下的情况下，选择所述第2决定项目或所述第4决定项目。所述控制部在所述比较结果为所述第2阈值以下的情况下，选择所述第3决定项目。

11、在某实施方式中，所述衬底处理装置还具备显示设定画面的显示部。所述设定画面包含用于设定所述至少1个阈值的设定栏。

12、在某实施方式中，所述衬底处理装置还具备显示设定画面的显示部。所述设定画面包含用于对所述至少1个阈值设定所述多个决定项目中的1个的第1设定栏。

13、在某实施方式中，所述设定画面还包含用于设定所述至少1个阈值的第2设定栏。

14、在某实施方式中，所述设定画面还包含显示将所述多个学习用数据数值化的图表的图表显示栏。

15、在某实施方式中，所述设定画面在所述图表显示栏显示所述至少1个阈值。

16、在某实施方式中，所述衬底处理装置还具备朝向所述衬底喷出处理液的喷嘴。所述衬底处理包含从所述喷嘴朝向所述衬底喷出所述处理液的处理。

17、在某实施方式中，所述衬底处理装置还具备在执行所述衬底处理时使所述喷嘴移动的喷嘴移动机构。

18、在某实施方式中，所述处理条件包含所述喷嘴的移动速度。

19、在某实施方式中，所述处理液包含蚀刻所述对象物的蚀刻液。

20、根据本发明的其它方面，衬底处理系统具备厚度测定装置、及衬底处理装置。所述厚度测定装置测定衬底所含的对象物的厚度。所述衬底处理装置在所述厚度测定装置测定所述对象物的厚度后，执行对于所述衬底的处理也就是衬底处理。所述衬底处理装置具备控制部、与存储部。所述控制部通过对输出执行所述衬底处理时的处理条件的已学习模型，输入表示所述衬底处理的处理量的目标值的输入数据，而从所述已学习模型输出所述处理条件。所述存储部存储基于用于构建所述已学习模型的多个学习用数据而取得的基准数据。所述学习用数据表示学习时的所述衬底处理的处理量。所述控制部根据所述厚度测定装置的测定结果，取得表示执行所述衬底处理之前的所述对象物的厚度的处理前测定数据。所述控制部基于表示所述对象物的厚度的目标值的目标数据与所述处理前测定数据，产生所述输入数据。所述控制部比较所述输入数据与所述基准数据，决定是否执行所述衬底处理。

21、根据本发明的其它方面，衬底处理系统具备厚度测定装置、决定装置、及衬底处理装置。所述厚度测定装置测定衬底所含的对象物的厚度。所述决定装置决定是否执行对于所述衬底的处理也就是衬底处理。所述衬底处理装置使输出执行所述衬底处理时的处理条件的已学习模型输出所述处理条件，执行所述衬底处理。所述决定装置具备存储部、与决定部。所述存储部存储基于用于构建所述已学习模型的多个学习用数据而取得的基准数据。所述决定部决定是否执行所述衬底处理。所述学习用数据表示学习时的所述衬底处理的处理量。所述决定部根据所述厚度测定装置的测定结果，取得表示执行所述衬底处理之前的所述对象物的厚度的处理前测定数据。所述决定部基于表示所述对象物的厚度的目标值的目标数据与所述处理前测定数据，产生表示所述衬底处理的处理量的目标值的输入数据。所述决定部比较所述输入数据与所述基准数据，决定是否执行所述衬底处理。所述衬底处理装置具备控制部。所述控制部在通过所述决定装置决定执行所述衬底处理的情况下，向所述已学习模型输入所述输入数据，并从所述已学习模型输出所述处理条件。

22、根据本发明的其它方面，数据处理方法包含以下步骤：在执行衬底处理之前，测定衬底所含的对象物的厚度，取得表示所述对象物的厚度的测定结果的处理前测定数据；基于表示所述对象物的厚度的目标值的目标数据与所述处理前测定数据，产生表示所述衬底处理的处理量的目标值的输入数据；及比较基于用于构建已学习模型的多个学习用数据而取得的基准数据、与所述输入数据，决定是否执行所述衬底处理。所述学习用数据表示学习时的所述衬底处理的处理量。所述已学习模型通过输入所述输入数据，而输出执行所述衬底处理时的处理条件。

23、[发明的效果]

24、根据本发明的衬底处理装置、衬底处理系统、及数据处理方法，能够保证从已学习模型输出的处理条件的可靠性。