准分子灯及准分子灯装置的制作方法

本发明涉及准分子灯及准分子灯装置。

背景技术：

1、最近，准分子灯(以下，也简称为灯)以对薄膜或建材(包括基础设施构件)等的表面照射紫外线而对表面进行改性的目的被利用，伴随于此，根据用途或工序，要求各种照射光量。

2、以往，准分子灯采用了进行调光来改变照射光量的使用方法，作为调光方式，广泛使用频率调光。频率调光是通过改变施加的电力的频率来调节灯的脉冲发光数，控制输出的方式。在该方式中，由于在将施加的电压固定为最佳的值的状态下控制输入而进行点亮，所以具有即使降低输入也能够良好地维持启动性的优点，但如果过度降低调光，则局部不能维持点亮、放电，所以存在调光范围受限的问题。另外，最近，准分子灯的长尺寸化不断发展，开发了超过3m的长尺寸灯，但频率调光的问题随着灯的长尺寸化的发展而变得显著。

3、作为其他的调光方式，可举出称为占空比(duty)调光的方法。占空比调光是在稳定放电(灯点亮)的频率下，通过重复占空比-开启(on)期间/关闭(off)期间来产生发光开启(on)期间/关闭(off)期间，调整单位时间内的输出的方法。占空比调光与频率调光不同，在稳定的频率下进行动作，因此能够调光至相当低的光量。

4、另外，作为其他的调光手段，可举出电压调光这一手段。电压调光是在稳定地放电(灯点亮)的频率下，通过使电压增减来调整向灯的电力的方法。电压调光与占空比调光同样，在稳定的频率下进行动作，因此能够调光至低的光量。

5、但是，在占空比调光中，由于反复进行占空比-开启/关闭，所以每当占空比-开启时使灯启动，会较大地受到灯的启动特性的影响。通常，准分子灯在长度方向的一个端部设有启动辅助电极，并从此处开始放电(例如，专利文献1)。如果为了降低照射光量而延长一个循环内的关闭时间，则从启动辅助电极侧开始放电，到放电传播至另一个端部为止产生时间差。在占空比调光中，由于是在单位时间内多次使灯启动的方式，所以以与开启/关闭的周期和启动延迟相应的量在光量上产生差异，结果在灯长度方向上产生照度不均。另外，在占空比调光中，也是随着灯的长尺寸化的发展，启动延迟增大，照度不均变得更加显著。

6、现有技术文献

7、专利文献

8、专利文献1：日本特许第5376410号公报

技术实现思路

1、发明所要解决的课题

2、本发明鉴于上述课题，其目的在于提供一种准分子灯及准分子灯装置，即使是长尺寸的准分子灯，在准分子灯的长度方向上的照射面的照度也均匀。

3、用于解决课题的技术方案

4、本发明所涉及的准分子灯具备：放电容器，横截面形状为扁平的大致四边形，且具有在长度方向上延伸的一对平坦壁和将该平坦壁相连的一对侧壁；

5、一对外部电极，分别与一对所述平坦壁的外表面相对地配置；

6、第一内部电极，在所述放电容器的内部以朝向一对所述平坦壁的内表面延伸的方式配置；及

7、第二内部电极，在所述放电容器的内部以朝向一对所述平坦壁的内表面延伸的方式配置于与所述第一内部电极在所述长度方向上分离的位置，

8、所述第一内部电极和所述第二内部电极分别配置于在所述长度方向上从所述外部电极的端部到中央之间的位置。

9、根据该结构，通过将第一内部电极和第二内部电极分别配置于在长度方向上从外部电极的端部到中央之间的位置，由此从第一内部电极和第二内部电极各自的位置开始放电，因此能够缩短到放电扩散至放电容器的整个区域为止的时间。由此，在长尺寸的准分子灯中，即使在进行例如占空比调光的情况下，也能够使准分子灯的长度方向上的照射面的照度均匀化。

10、在本发明所涉及的准分子灯中，也可以是如下结构：所述第一内部电极配置成将一对所述平坦壁的内表面连接，所述第二内部电极配置成将一对所述平坦壁的内表面连接。

11、根据该结构，能够容易地将第一内部电极和第二内部电极设置于放电容器的内部。

12、在本发明所涉及的准分子灯中，也可以是如下结构：所述第一内部电极和所述第二内部电极沿着所述侧壁的内表面配置。

13、根据该结构，能够容易地将第一内部电极和第二内部电极设置于放电容器的内部。

14、在本发明所涉及的准分子灯中，也可以是如下结构：所述第一内部电极或所述第二内部电极的至少一部分与一对所述外部电极的至少一方隔着所述平坦壁相对。

15、通过第一内部电极和第二内部电极与一对外部电极隔着平坦壁相对，能够从第一内部电极和第二内部电极的附近开始可靠地放电。

16、在本发明所涉及的准分子灯中，也可以是如下结构：所述第一内部电极和所述第二内部电极不与一对所述外部电极双方隔着所述平坦壁相对。

17、即使在第一内部电极和第二内部电极不与一对外部电极双方隔着平坦壁相对的情况下，也能够从第一内部电极和第二内部电极的附近开始放电。

18、在本发明所涉及的准分子灯中，也可以是如下结构：还具备第三内部电极，该第三内部电极在所述放电容器的内部以朝向一对所述平坦壁的内表面延伸的方式配置于在所述长度方向上所述第一内部电极与所述第二内部电极之间的位置。

19、根据该结构，能够进一步缩短到放电扩散至放电容器的整个区域为止的时间。

20、在本发明所涉及的准分子灯中，也可以是如下结构：所述第三内部电极配置成将一对所述平坦壁的内表面连接。

21、根据该结构，能够容易地将第三内部电极设置于放电容器的内部。

22、在本发明所涉及的准分子灯中，也可以是如下结构：所述第一内部电极和所述第二内部电极分别配置于在所述长度方向上所述外部电极的端部的位置。

23、根据该结构，在外部电极的长度方向的两端部的位置开始的放电分别朝向中央传播，因此能够缩短到放电扩散至放电容器的整个区域为止的时间。

24、在本发明所涉及的准分子灯中，也可以是如下结构：包括所述第一内部电极和所述第二内部电极在内的n个内部电极分别配置于将所述外部电极在所述长度方向上n等分而得到的区域的中央的位置。

25、根据该结构，在n个内部电极开始的放电在n等分后的放电空间的各个区域中扩散，因此能够进一步缩短到放电扩散至放电容器的整个区域为止的时间。

26、另外，本发明所涉及的准分子灯装置具备上述任一准分子灯和用于使该准分子灯点亮的点亮装置，其中，

27、所述点亮装置具有对所述准分子灯进行调光的调光单元。

28、根据该构成，即使是长尺寸的准分子灯，在准分子灯的长度方向上的照射面的照度也均匀。

29、在本发明所涉及的准分子灯装置中，也可以是如下结构：所述调光单元具有使所述准分子灯的开启期间和关闭期间的时间比率变化的占空比控制部。

30、在本发明所涉及的准分子灯装置中，也可以是如下结构：所述调光单元具有使所述准分子灯的点亮频率变化的频率控制部。

31、在本发明所涉及的准分子灯装置中，也可以是如下结构：所述调光单元具有使所述准分子灯的点亮电压变化的电压控制部。