具有真空固持可互换顶板的快换卡盘的制作方法

本发明大体上涉及一种衬底卡持系统，且更特定来说，涉及一种具有真空固持、可拆卸顶板的衬底卡持系统。

背景技术：

1、随着半导体装置制造工艺的容限不断变窄，对用于半导体晶片检视的经改进光学系统的需求不断增加。在此光学系统中，可使用衬底卡盘将衬底固定到位。传统上，为了检视多种形状、大小及种类的衬底，必须互换多个衬底卡盘。互换衬底卡盘及正确校准多个衬底卡盘的过程通常需要很长时间。此外，多个衬底卡盘的制造成本很高。

2、因此，希望提供一种系统及方法来解决上述先前方法的不足。

技术实现思路

1、根据本公开的一或多个实施例，公开一种用于固定衬底的设备。在一个实施例中，所述设备包含经配置以可逆地附接到卡盘的基底的可拆卸板。在另一实施例中，所述可拆卸板包含位于所述可拆卸板的背侧部分上的一或多个第一真空储存器及位于所述可拆卸板的前侧部分上的一或多个第二真空储存器。在另一实施例中，所述基底包含一或多个基底-衬底真空入口通道及一或多个基底-板入口通道。在另一实施例中，所述可拆卸板经配置以在所述可拆卸板的所述背侧部分上的所述一或多个第一真空储存器与所述一或多个基底-板入口通道之间建立流体连接，用于在所述可拆卸板与所述基底之间形成第一真空密封。在另一实施例中，所述可拆卸板包含一或多个直通通道，用于与所述一或多个基底-衬底真空入口通道进行流体连接，以在所述可拆卸板的所述前侧部分上的所述一或多个第二真空储存器之间建立流体连接，以用于在所述可拆卸板与所述衬底之间形成第二真空密封。

2、根据本公开的一或多个实施例，公开一种用于固定衬底的设备。在一个实施例中，所述设备包含卡盘的基底。在另一实施例中，所述基底包含一或多个基底-衬底真空入口通道及一或多个基底-板入口通道。在另一实施例中，所述设备包含经配置以可逆地附接到卡盘的基底的可拆卸板。在另一实施例中，所述可拆卸板包含位于所述可拆卸板的背侧部分上的一或多个第一真空储存器及位于所述可拆卸板的前侧部分上的一或多个第二真空储存器。在另一实施例中，所述可拆卸板经配置以在所述可拆卸板的所述背侧部分上的所述一或多个第一真空储存器与所述一或多个基底-板入口通道之间建立流体连接，用于在所述可拆卸板与所述基底之间形成第一真空密封。在另一实施例中，所述可拆卸板包含一或多个直通通道，用于与一或多个基底-衬底真空入口通道进行流体连接，以在所述可拆卸板的所述前侧部分上的所述一或多个第二真空储存器之间建立流体连接，以用于在所述可拆卸板与所述衬底之间形成第二真空密封。

3、根据本公开的一或多个实施例，公开一种光学系统。在一个实施例中，所述光学系统包含衬底卡持子系统。在另一实施例中，所述光学系统包含经配置以照明通过所述衬底卡持子系统固定的衬底的一或多个部分的照明源。在另一实施例中，所述光学系统包含经配置以收集来自衬底的受到照明的一或多个部分的照明的检测器。在一个实施例中，所述衬底卡持子系统包含基底。在另一实施例中，所述基底包含一或多个基底-衬底真空入口通道及一或多个基底-板入口通道。在另一实施例中，所述衬底卡持子系统包含经配置以可逆地附接到所述基底的可拆卸板。在另一实施例中，所述可拆卸板进一步包含位于所述可拆卸板的背侧部分上的一或多个第一真空储存器及位于所述可拆卸板的前侧部分上的一或多个第二真空储存器。在另一实施例中，所述可拆卸板经配置以在所述可拆卸板的所述背侧部分上的所述一或多个第一真空储存器与所述一或多个基底-板入口通道之间建立流体连接，以用于在所述可拆卸板与所述基底之间形成第一真空密封。在另一实施例中，所述可拆卸板包含一或多个直通通道，用于与所述一或多个基底-衬底真空入口通道进行流体连接，以在所述可拆卸板的所述前侧部分上的所述一或多个第二真空储存器之间建立流体连接，以用于在所述可拆卸板与所述衬底之间形成第二真空密封。

4、根据本公开的一或多个实施例，公开一种方法。在一个实施例中，所述方法接收可拆卸板，所述可拆卸板包含位于所述可拆卸板的背侧部分上的一或多个第一真空储存器及位于所述可拆卸板的前侧部分上的一或多个第二真空储存器。在另一实施例中，所述方法包含通过在所述可拆卸板的所述背侧部分上的所述一或多个第一真空储存器与一或多个基底-板入口通道之间建立流体连接，而将所述可拆卸板固定到卡盘的基底，以在所述可拆卸板与所述基底之间形成第一真空密封。在另一实施例中，所述方法包含接收衬底。在另一实施例中，所述方法包含通过在所述一或多个基底-衬底真空入口通道与所述可拆卸板的所述前侧部分上的所述一或多个第二真空储存器之间经由一或多个直通通道建立流体连接，而将所述衬底固定到所述可拆卸板，以在所述可拆卸板与所述衬底之间形成第二真空密封。

5、应了解，前述一般描述及以下详细描述两者仅为示范性及解释性，且不一定限制所要求的本发明。并入说明书且构成说明书的部分的附图说明本发明的实施例，且与一般描述一起用于解释本发明的原理。

技术特征：

1.一种用于固定衬底的设备，其包括：

2.根据权利要求1所述的设备，其中所述可拆卸板经由一或多个紧固件固定到所述基底。

3.根据权利要求2所述的设备，其中所述一或多个紧固件包括一或多个螺钉、一或多个螺栓或一或多个销中的至少一者。

4.根据权利要求1所述的设备，其中所述可拆卸板经由所述可拆卸板与所述基底之间的所述第一真空密封而固定到所述基底。

5.根据权利要求1所述的设备，其中所述可拆卸板经涂覆有一或多个涂层。

6.根据权利要求5所述的设备，其中所述一或多个涂层包括一或多个抗反射涂层。

7.根据权利要求1所述的设备，其中所述可拆卸板的至少一部分由聚醚醚酮聚合物、碳纤维或碳化硅中的至少一者形成。

8.根据权利要求1所述的设备，其中所述卡盘的所述基底经机械耦合到旋转驱动单元，其中所述旋转驱动单元包括：

9.根据权利要求1所述的设备，其中所述包括：

10.一种用于固定衬底的设备，其包括：

11.一种光学系统，其包括：

12.根据权利要求11所述的光学系统，其中所述光学系统经配置为检查工具。

13.根据权利要求11所述的光学系统，其中所述光学系统经配置为计量工具。

14.根据权利要求11所述的光学系统，本文中所述可拆卸板经由一或多个紧固件固定到所述基底。

15.根据权利要求14所述的光学系统，本文中所述一或多个紧固件包括一或多个螺钉、一或多个螺栓或一或多个销中的至少一者。

16.根据权利要求11所述的光学系统，其中所述可拆卸板经由所述可拆卸板与所述基底之间的所述第一真空密封而固定到所述基底。

17.根据权利要求11所述的光学系统，其中所述可拆卸板经涂覆有一或多个涂层。

18.根据权利要求17所述的光学系统，其中所述一或多个涂层包括一或多个抗反射涂层。

19.根据权利要求11所述的光学系统，其中所述可拆卸板的至少一部分由聚醚醚酮聚合物、碳纤维或碳化硅中的至少一者形成。

20.根据权利要求11所述的光学系统，其中所述基底经机械耦合到旋转驱动单元，其中所述旋转驱动单元包括：

21.根据权利要求11所述的光学系统，其中所述衬底包括：

22.一种方法，其包括：

技术总结
一种用于固定衬底的设备包含经配置以可逆地附接到卡盘的基底的可拆卸板。所述卡盘的所述基底包含一或多个基底‑衬底真空入口通道及一或多个基底‑板入口通道。所述可拆卸板包含一或多个第一真空储存器及第二真空储存器。所述可拆卸板经进一步配置以在所述一或多个第一真空储存器与所述基底‑板入口通道之间建立流体连接，用于在所述可拆卸板与所述基底之间形成第一真空密封。所述可拆卸板进一步包含一或多个直通通道，用于与所述一或多个第二真空储存器进行流体连接，以用于在所述可拆卸板与所述衬底之间形成第二真空密封。

技术研发人员：林钊添,R·帕蒂尔,H·加迪亚
受保护的技术使用者：科磊股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15