用于产生脉冲输出光束的脉冲的磁开关网络的电子模块的制作方法

本公开涉及一种用于磁开关网络的电子模块。磁开关网络可以用于光学系统中。光学系统可以是或包括例如准分子激光器，并且可以产生深紫外(duv)光。

背景技术：

1、光刻是一种用于在诸如硅晶片等衬底上对半导体电路系统进行图案化的工艺。光刻光源(或光源)提供用于曝光晶片上的光致抗蚀剂的深紫外(duv)光。在光刻中使用的一种类型的气体放电光源称为准分子光源或激光器。准分子光源通常使用一种或多种稀有气体(诸如氩、氪或氙)和反应性气体(诸如氟或氯)的组合。准分子光源的名字来源于这样一个事实，即，在适当的电刺激(供应的能量)和(气体混合物的)高压条件下，产生了一种称为准分子的伪分子，它只存在于通电状态下，并且在紫外线范围内产生放大的光。准分子光源产生波长在深紫外(duv)范围内的光束，并且该光束用于在光刻装置中对半导体衬底(或晶片)进行图案化。准分子光源可以使用单个气体放电腔或使用多个气体放电腔来构建。

技术实现思路

1、在一个方面，一种系统包括：被配置为产生脉冲种子光束的第一光学子系统，第一光学子系统包括：被配置为容纳第一气体增益介质的第一腔；以及位于第一腔中的第一激励机构；被配置为基于脉冲种子光束产生脉冲输出光束的第二光学子系统，第二光学子系统包括：被配置为容纳第二气体增益介质的第二腔；以及位于第二腔中的第二激励机构；被配置为激活第一激励机构的第一磁开关网络，其中激活第一激励机构使得第一光学子系统产生脉冲种子光束的脉冲，并且第一磁开关网络包括：第一初始能量存储节点、第一附加能量存储节点、电连接到第一附加能量存储节点的第一磁开关、以及位于第一初始能量存储与第一附加能量存储节点之间的第一电感器，并且其中第一初始能量存储节点被配置为从充电器接收电流；被配置为激活第二激励机构的第二磁开关网络，其中激活第二激励机构使得第二光学子系统产生脉冲输出光束的脉冲，并且第二磁开关网络包括：第二初始能量存储节点、第二附加能量存储节点、电连接到第二附加能量存储节点的第二磁开关、以及位于第二初始能量存储节点与第二附加能量存储节点之间的第二电感器，并且其中第二初始能量存储节点被配置为从充电器接收电流；以及电连接到第一附加能量存储节点和第二附加能量存储节点的电子网络，其中电子网络被配置为控制第一附加能量存储节点与第二附加能量存储节点之间的电压差。

2、实现可以包括以下特征中的一个或多个特征。

3、电子网络可以被配置为通过减小电压差来控制第一附加能量存储节点与第二附加能量存储节点之间的电压差。电子网络可以被配置为通过消除电压差来控制第一附加能量存储节点与第二附加能量存储节点之间的电压差。消除电压差可以包括使得第一附加能量存储节点和第二附加能量处于相同电压。

4、第一附加能量存储节点可以包括第一能量存储设备，并且第二附加能量存储节点可以包括第二能量存储设备。电子网络可以被配置为仅当电子网络处于活动状态时控制第一附加能量存储节点与第二附加能量存储节点之间的电压差，并且当第一能量存储设备和第二能量存储设备正在累积电荷时，电子网络可以处于活动状态。电子网络可以被配置为仅当电子网络处于活动状态时控制第一附加能量存储节点与第二附加能量存储节点之间的电压差，在第一时间处，电子网络可以于活动状态，并且在第一时间之后预定义量的时间，电子网络可以转变出活动状态。

5、电子网络可以被配置为仅当处于活动状态时控制第一附加能量存储节点与第二附加能量存储节点之间的电压差，在第一磁开关网络激活第一激励机构并且第二磁开关网络激活第二激励机构之后，电子网络可以处于活动状态，并且在第一激励机构的后续激活之前并且在第二激励机构的后续激活之前，电子网络可以转变出活动状态。

6、电子网络可以被配置为仅当处于活动状态时控制第一附加能量存储节点与第二附加能量存储节点之间的电压差，并且电子网络可以被配置为在第一激励机构和第二激励机构的每次激活之后处于活动状态，并且在第一激励机构和第二激励机构的下次激活之前转变出活动状态。

7、在一些实现中，第一附加能量存储节点和第二附加能量存储节点中的每个可以包括至少一个电容器。

8、第一附加能量存储节点可以是第一磁开关网络中的多个附加存储节点之一，并且第二附加能量存储节点是第二磁开关网络中的多个附加存储节点之一，并且该系统还可以包括第二电子网络，第二电子网络电连接到第一磁开关网络中的附加存储节点中除第一附加存储节点之外的一个附加存储节点、以及第二磁开关网络中的附加存储节点中除第二附加存储节点之外的一个附加存储节点。

9、第一磁开关网络中的多个附加存储节点中的至少一个附加存储节点可以是变压器的初级侧，并且第二磁开关网络中的多个附加存储节点中的至少一个附加存储节点可以是变压器的初级侧。

10、电子网络可以包括至少两个晶体管。

11、电子网络包括多个可控开关，并且每个可控开关可以与电阻网络并联。该系统还可以包括位于电子网络与地之间的接地路径网络。接地路径网络可以包括晶体管和电阻器。

12、电子网络可以包括：电连接在第一附加能量存储节点与地之间的第一电子网络；以及电连接在第二附加能量存储节点与地之间的第二电子网络。第一电子网络和第二电子网络中的每个可以包括与电阻元件串联的电压控制开关。

13、第一初始能量存储节点和第二初始存储节点被配置为从谐振充电器接收电流。

14、该系统还可以包括第二电子网络。第二电子网络可以电连接到与第一初始能量存储节点电连接的二极管的阳极、以及与第二初始能量存储节点电连接的二极管的阳极。

15、该系统还可以包括第二电子网络。第二电子网络可以电连接到与第一初始能量存储节点电连接的二极管的阴极、以及与第二初始能量存储节点电连接的二极管的阴极。

16、第一磁开关网络还可以包括被配置为控制第一初始能量存储节点与第一附加能量存储节点之间的电连接的第一开关，并且第二磁开关网络还可以包括被配置为控制第二初始能量存储节点与第二附加能量存储节点之间的电连接的第二开关。

17、第一磁开关可以包括第一可饱和电抗器，并且第二磁开关可以包括第二可饱和电抗器。

18、在另一方面，一种装置包括：被配置为激活放电腔中的激励机构的磁开关网络。磁开关网络包括：被配置为从充电器接收电流的初始能量存储节点；附加能量存储节点；以及位于初始能量存储节点与附加能量节点之间的至少一个电元件。该装置还包括电连接到附加能量存储节点的电子网络，电子网络被配置为控制附加能量存储节点处的电压。

19、实现可以包括以下特征中的一个或多个特征。

20、电子网络可以包括至少一个可控开关，并且可控开关可以包括电流不在可控开关中流动的第一状态和电流在可控开关中流动的第二状态。当电连接到附加能量存储节点的能量存储设备正在接收电荷时，可控开关可以被控制为处于第一状态。当能量存储设备正在释放电荷时，可控开关可以被控制为处于第二状态。在电连接到附加能量存储节点的能量存储设备已经接收到阈值量的电荷之后，可控开关可以被控制为处于第一状态。在磁开关网络第一次激活激励机构之后，可控开关被控制为处于第一状态，并且在磁开关网络第二次激活激励机构之前，可控开关可以被控制为处于第二状态。第一次和第二次可以是激励机构的连续激活。在一些实现中，在激励机构的任何两个连续激活之间，可控开关被控制为处于第一状态，并且然后被控制为从第一状态转变到第二状态。

21、在另一方面，一种控制系统包括：被配置为触发电子网络的控制接口，电子网络电连接到第一磁开关网络中的第一能量存储节点、以及第二磁开关网络中的第二能量存储节点。第一磁开关网络和第二磁开关网络中的每个还包括从谐振充电器接收电荷的初始能量存储节点。控制系统还包括开关控制，开关控制被配置为命令控制接口以用于向电子网络提供触发，从而使得电子网络将第一能量存储节点电连接到第二能量存储节点并且减小第一能量存储节点与第二能量存储节点之间的电压差。

22、上述任何技术的实现可以包括系统、方法、过程、设备或装置。一个或多个实现的细节在附图和下面的描述中阐述。其他特征将从说明书和附图以及权利要求中很清楚。