基板保持装置以及基板处理系统的制作方法

本发明涉及保持基板的基板保持装置以及具备基板保持装置的基板处理系统。基板可列举例如半导体基板、fpd(flat panel display)用基板、光掩模用玻璃基板、光盘用基板、磁盘用基板、陶瓷基板、太阳能电池用基板等。fpd可列举例如液晶显示装置、有机el(electroluminescence)显示装置等。

背景技术：

1、基板处理装置具备将基板保持为大致水平的姿势并使该基板旋转的基板保持部。基板保持部具备：圆板状的旋转基座；以及以大致等角度间隔配置于旋转基座的周缘部的六根保持销(卡盘销)。六根保持销由三根固定保持销和三根可动保持销构成。

2、图9是局部地表示现有可动保持销103的纵向剖视图。可动保持销103具备：配置在旋转基座101的顶罩101a的上表面侧的头105；以及贯通顶罩101a并且上端与头105相接地配置的轴杆107。

3、头105具备头主体111和螺纹件罩113。在头主体111的上表面设有孔部115。头主体111通过配置于孔部115而且以从上朝向下的方式紧固的螺纹件117固定于轴杆107。另外，在螺纹件117配置于孔部115的状态下，螺纹件117暴露于处理液中，因此孔部115由螺纹件罩113堵塞(例如，参照专利文献1)。

4、现有技术文献

5、专利文献1：日本特开2010－010627号公报

6、但是，现有例具有以下的问题。具体地说明。配置有螺纹件117的孔部115由螺纹件罩113堵塞。但是，难以用螺纹件罩113完全密闭孔部115。因此，有处理液通过螺纹件罩113与头主体111的间隙而侵入到孔部115的可能性。由此，有腐蚀螺纹件117的可能性。另外，在使旋转基座101旋转时，有产生螺纹件罩113引起的气流的紊乱的可能性。

技术实现思路

1、本发明是鉴于这样的事情而提出的方案，目的在于提供一种能够解决螺纹件罩引起的问题的基板保持装置以及基板处理系统。

2、本发明为了实现这样的目的而采用如下的结构。即，本发明的基板保持装置的特征在于，具备：板状部件，其绕铅垂地延伸的旋转轴旋转；以及至少三根保持销，其绕上述旋转轴呈环状竖立设置于上述板状部件，以夹住基板的侧面的方式保持上述基板，上述保持销具备：头，其配置在上述板状部件的上表面侧，且在与上述板状部件的上表面对置的上述头的下表面形成有有底的螺纹孔；轴杆，其与上述螺纹孔同芯地配置并贯通上述板状部件，并且上端与上述头相接，且具有从下端铅垂地延伸至上述上端的第一贯通孔；以及头用螺纹件，其从上述轴杆的上述下端侧插入到上述轴杆的上述第一贯通孔，前端与上述头的上述螺纹孔螺纹结合，从而将上述头固定于上述轴杆。

3、根据本发明的基板保持装置，头用螺纹件从轴杆的下端侧插入到轴杆的第一贯通孔。另外，头用螺纹件通过头用螺纹件的前端与头的有底的螺纹孔螺纹结合从而将头固定于轴杆。由于不从头侧相对于轴杆紧固头用螺纹件，因此头不需要具备螺纹件罩。因此，能够解决螺纹件罩引起的问题。

4、另外，在上述的基板保持装置中，优选为，上述保持销具有至少一根固定保持销以及至少一根可动保持销，上述可动保持销具备上述头、上述轴杆以及上述头用螺纹件，上述可动保持销构成为，上述头、上述轴杆以及上述头用螺纹件绕铅垂轴一体地旋转。由此，在绕铅垂轴旋转的可动保持销中，能够解决螺纹件罩引起的问题。

5、另外，在上述的基板保持装置中，优选为，还具备旋转位置检测传感器单元，上述旋转位置检测传感器单元检测上述可动保持销绕上述铅垂轴的旋转位置，且具有被检测部件、以及对上述被检测部件进行检测的传感器，上述可动保持销具备：安装部件，其具有配置在上述轴杆的上述下端侧并且形成有与上述第一贯通孔同芯的第二贯通孔的第一筒状部；以及管状螺纹件，其以插入到上述第一筒状部的上述第二贯通孔的方式配置在上述轴杆的上述下端侧，具有形成有与上述第一贯通孔同芯的第三贯通孔的第二筒状部，而且在上述第二筒状部的上端侧形成有螺纹部，上述安装部件具有臂，该臂从上述第一筒状部沿水平方向延伸，而且保持上述被检测部件以及上述传感器的一方，上述轴杆在上述第一贯通孔的下端侧形成有内螺纹部，上述管状螺纹件插入到上述第一筒状部的上述第二贯通孔，上述第二筒状部的上端侧的螺纹部与上述轴杆的上述内螺纹部螺纹结合，由此将上述安装部件固定于上述轴杆，上述头用螺纹件从上述管状螺纹件侧插入到上述第一贯通孔、上述第二贯通孔以及上述第三贯通孔，上述头用螺纹件的上述前端与上述头的上述螺纹孔螺纹结合，由此将上述头固定于上述轴杆，上述可动保持销构成为，上述头、上述轴杆、上述安装部件、上述管状螺纹件以及上述头用螺纹件绕上述铅垂轴一体地旋转。

6、在将保持于安装部件的臂的被检测部件以及传感器的一方的位置相对于轴杆调整之后，安装部件由管状螺纹件固定。另外，在调整了基板的载置高度位置之后，头由头用螺纹件固定。即，这两个调整使用各自的螺纹件。因此，能够容易地进行两个调整。

7、另外，在上述的基板保持装置中，上述被检测部件的一例是磁铁。另外，上述传感器的一例是检测上述磁铁的磁性的磁性传感器。

8、另外，本发明的基板处理系统的特征在于，具备：上述基板保持装置；以及喷嘴，其向保持于上述基板保持装置的上述基板喷出处理液。

9、本发明的效果如下。

10、根据本发明的基板保持装置以及基板处理系统，能够解决螺纹件罩引起的问题。

技术特征：

1.一种基板保持装置，其特征在于，

2.根据权利要求1所述的基板保持装置，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的基板保持装置，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的基板保持装置，其特征在于，

5.一种基板处理系统，其特征在于，

技术总结
本发明涉及基板保持装置以及基板处理系统。在基板保持部(2)中，保持销(15)具备头(31)、轴杆(33)以及头用螺纹件(43)。头(31)配置在顶罩(13A)的上表面侧。头(31)在与顶罩(13A)的上表面对置的头(31)的下表面形成有底的螺纹孔(31D)。轴杆(33)与螺纹孔(31D)同芯地配置并贯通板状部件，并且上端与头(31)相接。轴杆(33)具有从下端铅垂地延伸至上端的第一贯通孔(33A)。头用螺纹件(43)从轴杆(33)的下端侧插入到轴杆(33)的第一贯通孔(33A)。另外，头用螺纹件(43)通过前端与头(31)的螺纹孔(31D)螺纹结合从而将头固定于轴杆。

技术研发人员：藤内裕史
受保护的技术使用者：株式会社斯库林集团
技术研发日：
技术公布日：2024/1/14