一种新型二合一TOF发射端模组的制作方法

本发明涉及半导体，尤其涉及一种新型二合一tof发射端模组。

背景技术：

1、垂直腔面发射激光器简称vcsel，又译垂直共振腔面射型激光，是一种半导体，其激光垂直于顶面射出，与一般用切开的独立芯片制程，激光由边缘射出的边射型激光有所不同，在制作的过程中，vcsel比边射型激光多了许多优点。边射型激光需要在制作完成后才可进行测试。若一个边射型激光无法运作，不论是因为接触不良或者是物质成长的品质不好，都会浪费制作过程与物质加工的处理时间。然而vcsel可以在制造的任何过程中，测试其品质并且作问题处理，因为vcsel的激光是垂直于反应区射出，与边射型激光平行于反应区射出相反，所以可以同时有数万个vcsel在一个三英寸大的砷镓芯片上被处理。此外，既使vcsel在制造的过程需要较多的劳动与较精细的材料，生产结果是可被控制的及更多可被预期的；

2、现有的通电点亮vcsel后只能依靠lens散射面状或者点状图，为了获得能散射出面状和点状的tof模组上面，为此我们提出一种新型二合一tof发射端模组来解决上述问题。

技术实现思路

1、本发明的目的是为了解决现有技术中存在的问题，而提出的一种新型二合一tof发射端模组。

2、为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

3、一种二合一tof发射端模组，包括vcsel主体，基板，支架及mla lens，所述vcsel主体与基板之间通过金线电连接，所述vcsel主体通过cob工艺与基板连接，所述基板、支架及mla lens通过胶水连接，所述vcsel主体分隔为a区与b区，所述vcsel主体上的a区内设有两个对称设置的第一电极，两个所述第一电极之间设有多个非正方形排列第一发光孔阵列，所述vcsel主体上的b区内设有两个对称设置的第二电极，两个所述第二电极之间设有多个规则排列第二发光孔阵列。

4、优选地，所述vcsel主体上的a区内的多个第一发光孔阵列以非正方形形式排列。

5、优选地，所述vcsel主体上的b区内的多个第二发光孔阵列以正方形排列，且第二发光孔阵列的排列间距为～μm。

6、优选地，所述aa对位时以vcsel主体上的b区为基准进行封装。

7、优选地，所述vcesl尺寸为长0.6～1.5mm，宽0.6～1.5mm，所述第一发光孔阵列与第二发光孔阵列孔径为6～15μm。

8、优选地，所述vcsel主体通过cob工艺与基板连接包括以下步骤：

9、1)清洁基板：对基板上的留有油污或者氧化层等等一些不洁的部分，用皮擦试帮定位或者测试针位，用毛刷刷干净或者使用气枪将其吹净，后续使用高子吹尘机清洁；

10、2)滴粘接胶：2.1针式转移：用针在容器里面取一小滴的粘剂点涂抹在基板上面；

11、2.2压力注射：将胶装入到注射器内，然后施加一定的气压将胶挤在基板上；

12、3)vcsel粘贴：使用真空吸笔对vcsel主体进行吸取，检测粘贴方向无误后，将vcsel主体覆于基板上；

13、4)焊线：将vcsel主体与基板之间以金线采用球形焊点进行焊接；

14、5)封胶：使用滴胶机对基板进行封胶处理；

15、6)测试：对封胶完成的vcsel基板进行非接触式检测及接触式检测，排除卷线、断线及假焊等不良现象。

16、通过aa技术将支架8、mla lens9、基板2三者准确对位并用胶粘合，进行5～6秒的uv光照表面固化，最后放进烘箱进行80℃、1-1.5h烘烤彻底固化。

17、本发明中有益效果如下：vcsel主体a区与b区上设置的第一发光孔及第二发光孔具备特殊的排列方式，通过mla lens就能间歇散射面状或者点状图，加上tof模组接受端，可输出符合算法的3d点云图，有望被用于识别3d物体同时识别该3d物体是否是活体的智能科技产品，有效解决只能识别3d死物的不安全性。

技术特征：

1.一种二合一tof发射端模组，包括vcsel主体(1)，基板(2)，支架(8)及mla lens(9)，其特征在于，所述vcsel主体(1)与基板(2)之间通过金线(3)电连接，所述vcsel主体(1)通过cob工艺与基板(2)连接，所述基板(2)、支架(8)及mla lens(9)通过胶水连接，所述vcsel主体(1)分隔为a区与b区，所述vcsel主体(1)上的a区内设有两个对称设置的第一电极(4)，两个所述第一电极(4)之间设有多个非正方形排列第一发光孔阵列(5)，所述vcsel主体(1)上的b区内设有两个对称设置的第二电极(6)，两个所述第二电极(6)之间设有多个规则排列第二发光孔阵列(7)。

2.根据权利要求1所述的一种新型二合一tof发射端模组，其特征在于，所述vcsel主体(1)上的a区内的多个第一发光孔阵列(5)以非正方形形式排列。

3.根据权利要求1所述的一种新型二合一tof发射端模组，其特征在于，所述vcsel主体(1)上的b区内的多个第二发光孔阵列(7)以正方形排列，且第二发光孔阵列(7)的排列间距为20～50μm。

4.根据权利要求1所述的一种新型二合一tof发射端模组，其特征在于，所述aa对位时以vcsel主体(1)上的b区为基准进行封装。

5.根据权利要求1所述的一种新型二合一tof发射端模组，其特征在于，所述vcesl尺寸为长0.6～1.5mm，宽0.6～1.5mm，所述第一发光孔阵列(5)与第二发光孔阵列(7)孔径为6～15μm。

6.根据权利要求1所述的一种新型二合一tof发射端模组，其特征在于，所述vcsel主体(1)通过cob工艺与基板(2)连接包括以下步骤：

技术总结
本发明公开了一种新型二合一TOF发射端模组，一种新型TX模组，包括VCSEL，基板，支架及MLA lens。所述VCSEL主体与基板之间通过金线电路连接，所述VCSEL主体通过COB工艺与基板连接，所述基板、支架及MLA lens通过胶水连接，所述基板、支架及MLA lens通过胶水连接，所述VCSEL主体分隔为A区与B区，所述VCSEL主体上的A区内设有两个对称设置的第一电极。本发明VCSEL主体A区与B区上设置的第一发光孔阵列及第二发光孔阵列具备特殊的排列方式，通过MLA lens就能间歇散射面状或者点状图，加上TOF模组接受端，可输出符合算法的3D点云图，有望被用于识别3D物体同时识别该3D物体是否是活体的智能科技产品，有效解决只能识别3D死物的不安全性。

技术研发人员：姚月辉,唐张庆
受保护的技术使用者：南通德谱微智能科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15