炉管用增压系统的制作方法

本发明是关于晶硅电池制造，特别是关于炉管用增压系统。

背景技术：

1、晶硅电池一般指晶体硅太阳能电池，制作太阳能电池主要是以半导体材料为基础，其工作原理是利用光电材料吸收光能后发生光电子转换反应。

2、晶硅太阳能电池片的生产工艺流程分为：硅片检测—表面制绒及酸洗—扩散制结—去磷硅玻璃—等离子刻蚀及酸洗—镀减反射膜—丝网印刷—快速烧结等，其中扩散制造pn结是太阳电池生产最基本也是最关键的工序。

3、随着技术不断进步，晶体硅太阳能电池片逐渐向大尺寸、超薄化、更高产能、更低的表面杂质浓度、更好方阻均匀性和更高能效比方向的发展，传统闭管常压扩散炉已不能满足要求，这些需求将带来对新型扩散技术和设备制造水平的进一步挑战，光伏行业市场亟待新一代的高性能扩散技术。

4、经世界各大光伏行业设备供应商的不断研究，发现低压扩散技术优势非常明显，经过行业内技术研发人员的不懈努力，低压扩散逐渐成为下一代高性能扩散炉的核心技术。它对156～162mm尺寸的电池片在每批次产能高达1000片/管甚至更高的情况下，其扩散方块电阻均匀性仍优于4％，与常压扩散炉相比片均能耗降低50％以上，化学品消耗降低更是超过50％，也不用额外增加工艺时间，是高品质扩散的首选与环境友好型的生产方式。

5、低压扩散炉是在常压闭管扩散炉的基础上，增加真空控制系统、源压力控制系统等一系列强化功能，在真空环境下进行掺杂扩散，在真空环境下进行掺杂扩散之后，硅片拉出炉管本体之前需要对炉管本体进行充氮破空回压。

6、现有技术中，由于掺杂扩散反应尾气富含五氧化二磷，遇到水蒸气后快速生成偏磷酸，偏磷酸甚至可以腐蚀316l不锈钢，因此在尾气管路上一般会加装水瓶氮气管路，通过氮气冷却尾气对偏磷酸进行收集，但效果十分不理想，并且浪费氮气，另外，充氮管路上一般使用10l/min大氮流量计，氮气流量较低，回压速度缓慢，浪费时间，产能受限较大。

7、因此，针对上述技术问题，有必要提供炉管用增压系统。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供炉管用增压系统，其能够解决回压速度缓慢，浪费时间，产能受限较大的问题。

2、为实现上述目的，本发明的实施例提供了炉管用增压系统，所述炉管包括：

3、炉管本体，所述炉管本体上安装有进气管和尾排管，所述进气管、炉管本体和尾排管形成气体流动通路；

4、所述增压系统包括：

5、储氮箱，所述储氮箱内部储存有氮气，所述储氮箱内部安装有换热组件，所述换热组件用于加热氮气增加储氮箱内部的气压，所述换热组件安装在尾排管上；

6、旁路管，所述旁路管并联固定在进气管上，所述旁路管能够将储氮箱内部的氮气注入进气管内部。

7、在本发明的一个或多个实施方式中，所述换热组件包括换热管和换热翅片，所述换热管串联在尾排管上，所述换热翅片在换热管上固定连接有多组。

8、在本发明的一个或多个实施方式中，所述换热管和换热翅片一体成型，所述换热管和换热翅片的材质可为奥氏体不锈钢、不锈钢316l、碳素钢或低合金钢中的一种。

9、在本发明的一个或多个实施方式中，所述储氮箱上固定连接有充氮管，所述充氮管上安装有第二止回阀。

10、在本发明的一个或多个实施方式中，所述尾排管上固定连接有真空释放管，所述真空释放管上安装有第二电磁阀。

11、在本发明的一个或多个实施方式中，所述进气管上依次安装有第一止回阀和第四电磁阀，所述尾排管上安装有第一电磁阀，所述第一电磁阀介于炉管本体与储氮箱之间。

12、在本发明的一个或多个实施方式中，所述旁路管的一端与储氮箱固定连接，所述旁路管的另一端与进气管固定连接，所述旁路管上依次设置有电子压力表、第三电磁阀和大氮流量计。

13、在本发明的一个或多个实施方式中，所述电子压力表设置在靠近储氮箱的一端，所述第三电磁阀介于电子压力表和大氮流量计之间。

14、在本发明的一个或多个实施方式中，所述储氮箱上开设有缓冲开口，所述缓冲开口上固定连接有防爆组件，所述防爆组件包括防爆气囊。

15、在本发明的一个或多个实施方式中，所述防爆气囊在储氮箱上固定连接有两组，所述防爆气囊上安装有气嘴。

16、与现有技术相比，根据本发明实施方式具有以下技术效果：

17、本发明通过对原有水瓶氮气管路的改造，在不影响对尾气冷却以及对偏磷酸收集的基础上，充分利用水瓶氮气管路上的氮气来增加回压气量，从而减少回压时间，提升产能。

技术特征：

1.炉管用增压系统，所述炉管包括炉管本体，所述炉管本体上安装有进气管和尾排管，所述进气管、炉管本体和尾排管形成气体流动通路，其特征在于，所述增压系统包括：

2.如权利要求1所述的炉管用增压系统，其特征在于，所述换热组件包括换热管和换热翅片，所述换热管串联在尾排管上，所述换热翅片在换热管上固定连接有多组。

3.如权利要求2所述的炉管用增压系统，其特征在于，所述换热管和换热翅片一体成型，所述换热管和换热翅片的材质可为奥氏体不锈钢、不锈钢316l、碳素钢或低合金钢中的一种。

4.如权利要求1所述的炉管用增压系统，其特征在于，所述储氮箱上固定连接有充氮管，所述充氮管上安装有第二止回阀。

5.如权利要求1所述的炉管用增压系统，其特征在于，所述尾排管上固定连接有真空释放管，所述真空释放管上安装有第二电磁阀。

6.如权利要求1所述的炉管用增压系统，其特征在于，所述进气管上依次安装有第一止回阀和第四电磁阀，所述尾排管上安装有第一电磁阀，所述第一电磁阀介于炉管本体与储氮箱之间。

7.如权利要求1所述的炉管用增压系统，其特征在于，所述旁路管的一端与储氮箱固定连接，所述旁路管的另一端与进气管固定连接，所述旁路管上依次设置有电子压力表、第三电磁阀和大氮流量计。

8.如权利要求7所述的炉管用增压系统，其特征在于，所述电子压力表设置在靠近储氮箱的一端，所述第三电磁阀介于电子压力表和大氮流量计之间。

9.如权利要求1所述的炉管用增压系统，其特征在于，所述储氮箱上开设有缓冲开口，所述缓冲开口上固定连接有防爆组件，所述防爆组件包括防爆气囊。

10.如权利要求9所述的炉管用增压系统，其特征在于，所述防爆气囊在储氮箱上固定连接有两组，所述防爆气囊上安装有气嘴。

技术总结
本发明公开了炉管用增压系统，关于晶硅电池制造技术领域，所述炉管包括炉管本体，所述炉管本体上安装有进气管和尾排管，所述进气管、炉管本体和尾排管形成气体流动通路，所述增压系统包括储氮箱和旁路管，所述储氮箱内部储存有氮气，所述储氮箱内部安装有换热组件，所述换热组件用于加热氮气增加储氮箱内部的气压，所述换热组件安装在尾排管上，所述旁路管并联固定在进气管上，所述旁路管能够将储氮箱内部的氮气注入进气管内部，所述换热组件包括换热管和换热翅片。本发明通过对原有水瓶氮气管路的改造，在不影响对尾气冷却以及对偏磷酸收集的基础上，充分利用水瓶氮气管路上的氮气来增加回压气量，从而减少回压时间，提升产能。

技术研发人员：谢新宁
受保护的技术使用者：徐州中辉光伏科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13