转移装置的制作方法

本揭露涉及一种转移装置，尤其涉及一种可转移电子元件的转移装置。

背景技术：

1、目前转移装置的旋转手臂相对于基板是呈水平旋转，因此基板的尺寸大小受限于旋转手臂的半径限制。举例来说，当旋转手臂的旋转半径为a时，此a即表示建置工作距离的限制，基板平放呈180度，因此最大可允许基板的尺寸为2a。也就是说，目前的转移装置的设计因受旋转手臂的半径限制，因此无法达到作业基板大型化。

技术实现思路

1、本揭露是针对一种转移装置，无须考虑基板的尺寸且可改善作业时间(tacttime)。

2、根据本揭露的实施例，转移装置包括基板以及多个取放模块。取放模块设置于基板上，用以转移多个电子元件至基板。至少一个取放模块包括旋转手臂，相对于所述基板垂直旋转。

3、基于上述，在本揭露的实施例中，取放模块的旋转手臂是相对于基板是呈垂直旋转，因此本揭露的转移装置不受旋转手臂的半径限制，可适用于大尺寸的基板。再者，因为本揭露的旋转手臂是呈垂直旋转，意即旋转手臂的半径减少，因此可有效地减少作业时间，进而可有效地进行大规模电子元件的转移。此外，由于本揭露的转移装置包括多个取放模块，因此可改善作业时间。

1.一种转移装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的转移装置，其特征在于，还包括：

3.根据权利要求2所述的转移装置，其特征在于，所述龙门结构包括第一部分、第二部分以及第三部分，所述第二部分设置于所述第一部分与所述第三部分之间，而所述多个取放模块设置于所述第二部分上。

4.根据权利要求3所述的转移装置，其特征在于，设置于所述第二部分上的所述多个取放模块沿第一方向移动，对应所述基板设置的所述龙门结构沿移动方向移动，其中所述移动方向垂直于所述基板的法线方向及所述第一方向。

5.根据权利要求3所述的转移装置，其特征在于，所述第一部分及所述第三部分设置于所述基板的对应两侧，且所述第二部分平行于所述基板。

6.根据权利要求3所述的转移装置，其特征在于，还包括：

7.根据权利要求1所述的转移装置，其特征在于，所述旋转手臂包括：

8.根据权利要求7所述的转移装置，其特征在于，所述多个取放模块中的所述至少一个还包括：

9.根据权利要求1所述的转移装置，其特征在于，所述转移装置或所述多个取放模块中的所述至少一个还包括：

10.根据权利要求9所述的转移装置，其特征在于，所述转移装置或所述多个取放模块中的所述至少一个还包括：