紫外线固化型液态树脂的固化判断方法、保护部件形成装置与流程

本发明涉及紫外线固化型液态树脂的固化判断方法和保护部件形成装置。

背景技术：

1、在对晶片进行磨削加工等时，形成对晶片的一个面整面进行保护的保护部件。形成保护部件的保护部件形成装置向载置于工作台的片上提供液态树脂，在工作台的上方使保持着晶片的保持部下降，在利用保持部所保持的晶片将液态树脂推展之后，使液态树脂固化，在晶片的一个面整面上形成由树脂和片构成的保护部件。

2、作为形成保护部件的液态树脂，已知有紫外线固化型树脂。在将紫外线固化型树脂在晶片的一个面与片之间推展的状态下，按照预先设定的时间照射紫外线，由此使紫外线固化型树脂固化。

3、专利文献1：日本特开2021-061333号公报

4、在使用紫外线固化型的液态树脂在晶片的一个面上形成保护部件的情况下，如下进行管理：根据提供至片上的液态树脂的量等，预先设定液态树脂的固化所需的紫外线的照射时间，按照所设定的规定的照射时间照射紫外线。但是，存在如下的问题：由于照射紫外线的紫外线照射部的劣化、液态树脂的批次不同，在固化的进行程度上产生偏差，即使照射规定时间的紫外线，也存在液态树脂未充分固化的部分。

技术实现思路

1、本发明是鉴于该点而完成的，其目的在于提供紫外线固化型液态树脂的固化判断方法、保护部件形成装置，能够可靠地判断紫外线固化型液态树脂固化的情况。

2、本发明的一个方式是紫外线固化型液态树脂的固化判断方法，对在晶片的一个面整面上推展的紫外线固化型的液态树脂照射紫外线而判断该液态树脂固化的情况，其中，在对该液态树脂照射紫外线而使该液态树脂固化时，若由该液态树脂反射该紫外线而得的荧光的波长超过预先设定的阈值，则判断为该液态树脂已固化。

3、本发明的一个方式是保护部件形成装置，其在比晶片的一个面的面积大的片与晶片之间将紫外线固化型的液态树脂在晶片的一个面整面上推展，然后照射紫外线而使该液态树脂固化，形成由固化的树脂和该片构成的保护部件，其中，该保护部件形成装置具有：紫外线照射部，其从该片侧对该液态树脂照射紫外线；受光部，其接受由该液态树脂反射紫外线而得的荧光；以及判断部，若该受光部所接受的荧光的波长超过预先设定的阈值，则该判断部判断为该液态树脂已固化。

4、也可以是，该受光部是相机，若该相机所拍摄的拍摄图像的rgb值中的g值超过预先设定的阈值，则该判断部判断为该液态树脂已固化。

5、根据本发明的紫外线固化型液态树脂的固化判断方法和保护部件形成装置，根据由紫外线固化型的液态树脂反射的荧光而进行固化的判断，因此能够可靠地判断液态树脂固化的情况。

技术特征：

1.一种紫外线固化型液态树脂的固化判断方法，对在晶片的一个面整面上推展的紫外线固化型的液态树脂照射紫外线而判断该液态树脂固化的情况，其中，

2.一种保护部件形成装置，其在比晶片的一个面的面积大的片与晶片之间将紫外线固化型的液态树脂在晶片的一个面整面上推展，然后照射紫外线而使该液态树脂固化，形成由固化的树脂和该片构成的保护部件，其中，

3.根据权利要求2所述的保护部件形成装置，其中，

技术总结
本发明提供紫外线固化型液态树脂的固化判断方法、保护部件形成装置，能够可靠地判断紫外线固化型液态树脂固化的情况。该紫外线固化型液态树脂的固化判断方法对在晶片(W)的一个面(Wb)整面上推展的紫外线固化型的液态树脂(31)照射紫外线(UV)而判断液态树脂固化的情况，其中，在对液态树脂照射紫外线而使该液态树脂固化时，若由液态树脂反射紫外线而得的荧光(SL)的波长超过预先设定的阈值，则判断为液态树脂已固化。

技术研发人员：右山芳国,生岛充,谷山优太,柿沼良典
受保护的技术使用者：株式会社迪思科
技术研发日：
技术公布日：2024/1/16