回收防护件用移动组件及基板处理装置的制作方法

本公开涉及一种在用于提供和回收处理液的基板处理设备中使用的用于回收防护件的移动组件，更具体地，涉及一种用于调节回收处理液的回收容器的高度的用于回收防护件的移动组件以及基板处理方法。

背景技术：

1、半导体(或显示器)制造工艺是用于在基板(例如，晶片)上制造半导体装置的工艺，并且包括例如曝光、沉积、蚀刻、离子注入、清洗等。详细地，各种有机和无机杂质存在于基板上。因此，为了提高制造产率，有效地去除基板上的杂质是非常重要的。

2、使用处理液(清洗液)的清洗工艺主要用于去除杂质。可通过在旋转支承基板的旋转卡盘的同时向基板的上表面或后表面提供处理液来执行清洗工艺，并且在清洗工艺之后，执行使用漂洗液的漂洗工艺和使用干燥气体的干燥工艺。

3、另一方面，有必要回收提供到基板的处理液，以便排放或再利用。为了回收从基板散落的处理液，可以提供围绕基板形成的回收容器(杯或碗)。为了有效地回收处理液，根据处理液的提供时机，回收容器向上和向下移动到比基板的位置高的位置。专利文献1(kr10-2022-0015668a)和专利文献2(kr 10-2007558b)中的设备被称为基板处理设备，其包括用于调节回收容器高度的结构。

4、另一方面，为了提高基板处理工艺的效率，基板处理设备越小越有利。随着装置尺寸的减小，用于调节回收容器的高度的构造也需要相应地减小。然而，专利文献1具有通过气缸和电机的组合而增加装置的高度的局限性，并且气缸的升降不能确保提升和下降的均匀性。在专利文献2的情况下，存在这样的限制，即由于将单个的回收容器与单个的处理容器相匹配而不适合于小型化设备。

技术实现思路

1、本公开的一个方面是提供一种用于回收防护件的移动组件以及基板处理设备，其可以安装在相对较窄的空间中并且易于控制。

2、根据本公开的一个方面，提供了一种如下所述的用于回收防护件的移动组件以及基板处理设备。

3、根据本公开的一个方面，一种用于回收防护件的移动组件包括：回收容器，包括第一回收容器和第二回收容器，所述第一回收容器设置成围绕基板支承件，所述第二回收容器与所述第一回收容器同心地设置在所述第一回收容器的内侧；以及升降驱动器，连接到所述第一回收容器和所述第二回收容器并使所述第一回收容器和所述第二回收容器升降，其中，所述升降驱动器包括：电机；驱动轴，连接到所述电机并且在第一方向上旋转；第一轴，连接到所述第一回收容器并且在垂直于所述第一方向的第二方向上延伸；第二轴，连接到所述第二回收容器并且在所述第二方向上延伸；第一离合器，连接所述驱动轴和所述第一轴；以及第二离合器，连接所述驱动轴和所述第二轴。

4、根据本公开的一个方面，一种用于回收防护件的移动组件包括：回收容器，包括第一回收容器和第二回收容器，所述第一回收容器设置成围绕基板支承件，所述第二回收容器在与所述第一回收容器具有相同的中心线的情况下设置在所述第一回收容器的内侧；以及升降驱动器，连接到所述第一回收容器和所述第二回收容器并使所述第一回收容器和所述第二回收容器升降，其中，所述升降驱动器包括：电机；驱动轴，连接到所述电机并在第一方向上旋转；第一轴，连接到所述第一回收容器并在垂直于所述第一方向的第二方向上延伸；第二轴，连接到所述第二回收容器并在所述第二方向上延伸；第一离合器，连接到所述驱动轴并传递所述驱动轴的旋转或阻止所述驱动轴的旋转被传递；第二离合器，连接到所述驱动轴并传递所述驱动轴的旋转或阻止所述驱动轴的旋转被传递；第一滑轮，连接到所述第一离合器；第二滑轮，连接到所述第二离合器；第三滑轮，设置在沿所述第二方向与所述第一滑轮间隔开的位置，通过第一带连接到所述第一滑轮并与所述第一滑轮一起旋转；第四滑轮，设置在沿所述第二方向与所述第二滑轮间隔开的位置，通过第二带连接到所述第二滑轮并与所述第二滑轮一起旋转；第一制动器，设置在所述第三滑轮的旋转轴上；以及第二制动器，设置在所述第四滑轮的旋转轴上，以及所述升降驱动器包括第一升降驱动器和第二升降驱动器，所述第一升降驱动器设置在所述第一回收容器和所述第二回收容器的一侧上，所述第二升降驱动器设置在相对于所述中心线与所述第一升降驱动器对称的位置。

5、根据本公开的一个方面，一种基板处理装置包括：基板支承件，在支承基板的同时旋转；处理液提供单元，向所述基板提供处理液；以及用于回收防护件的移动组件，包括：回收容器，回收从所述基板散落的所述处理液；以及升降驱动器，连接到所述回收容器并使所述回收容器升降；其中，所述回收容器包括：第一回收容器，围绕所述基板支承件；第二回收容器，与所述第一回收容器同心地设置在所述第一回收容器的内侧；第三回收容器，与所述第一回收容器同心地设置在所述第二回收容器的内侧；以及第四回收容器，与所述第一回收容器同心地设置在所述第三回收容器的内侧，所述升降驱动器包括：第一升降驱动器，连接到所述第一回收容器和所述第二回收容器；第二升降驱动器，在平面上设置在相对于所述回收容器的中心线与所述第一升降驱动器对称的位置处，并且连接到所述第一回收容器和所述第二回收容器；第三升降驱动器，连接到所述第三回收容器和所述第四回收容器；以及第四升降驱动器，设置在相对于所述回收容器的中心线与所述第三升降驱动器对称的位置处，并且连接到所述第三回收容器和所述第四回收容器，以及所述第一升降驱动器至所述第四升降驱动器包括：电机；驱动轴，连接到所述电机并且在第一方向上旋转；第一轴，连接到所述第一回收容器并且在垂直于所述第一方向的第二方向上延伸；第二轴，连接到所述第二回收容器并且在所述第二方向上延伸；第一离合器，连接所述驱动轴和所述第一轴；以及第二离合器，连接所述驱动轴和所述第二轴。

技术特征：

1.一种用于回收防护件的移动组件，包括：

2.如权利要求1所述的用于回收防护件的移动组件，其中，所述第一离合器连接到第一滑轮，并将所述驱动轴的旋转传递到所述第一滑轮或者阻止所述驱动轴的旋转传递到所述第一滑轮，

3.如权利要求2所述的用于回收防护件的移动组件，其中，所述升降驱动器还包括：

4.如权利要求3所述的用于回收防护件的移动组件，其中，所述升降驱动器还包括壳体，所述第一滑轮至所述第四滑轮以及所述驱动轴设置在所述壳体中，

5.如权利要求3所述的用于回收防护件的移动组件，其中，所述升降驱动器还包括：

6.如权利要求2所述的用于回收防护件的移动组件，其中，所述第一轴驱动块与所述第一轴以及所述第二轴驱动块与所述第二轴通过浮动接头连接。

7.如权利要求2所述的用于回收防护件的移动组件，其中，所述升降驱动器还包括：

8.如权利要求5所述的用于回收防护件的移动组件，其中，所述电机包括在所述第一方向上延伸的旋转轴，以及

9.如权利要求5所述的用于回收防护件的移动组件，其中，所述升降驱动器包括第一升降驱动器和第二升降驱动器，所述第一升降驱动器设置在所述第一回收容器和所述第二回收容器的一侧上，所述第二升降驱动器设置在相对于所述第一回收容器的中心与所述第一升降驱动器对称的位置上，以及

10.如权利要求1所述的用于回收防护件的移动组件，其中，所述升降驱动器包括连接所述第一轴和所述第一回收容器的第一连接部，以及连接所述第二轴和所述第二回收容器的第二连接部，

11.如权利要求3所述的用于回收防护件的移动组件，其中，所述升降驱动器还包括：

12.一种用于回收防护件的移动组件，包括：

13.如权利要求12所述的用于回收防护件的移动组件，其中，所述第一升降驱动器和所述第二升降驱动器的电机设置有编码器，所述编码器安装在所述电机上使得所述第一升降驱动器和所述第二升降驱动器被同步控制。

14.如权利要求13所述的用于回收防护件的移动组件，其中，所述第一制动器和所述第二制动器是电磁制动器，所述第一离合器和所述第二离合器是电磁离合器，

15.如权利要求14所述的用于回收防护件的移动组件，其中，所述第一滑轮连接到第一带，并且所述第一带连接到与所述第一轴连接的第一轴驱动块，以及

16.如权利要求14所述的用于回收防护件的移动组件，其中，所述第一轴驱动块与所述第一轴以及所述第二轴驱动块与所述第二轴通过浮动接头连接。

17.如权利要求12所述的用于回收防护件的移动组件，其中，所述升降驱动器还包括：

18.如权利要求12所述的用于回收防护件的移动组件，其中，所述第一轴和所述第二轴设置成与所述中心线成相同的方位角。

19.一种基板处理装置，包括：

20.如权利要求19所述的基板处理装置，其中，所述升降驱动器还包括：

技术总结
用于回收防护件的移动组件包括：回收容器，包括第一回收容器和第二回收容器，第一回收容器设置成围绕基板支承件，第二回收容器与第一回收容器同心地设置在第一回收容器的内侧；以及升降驱动器，连接到第一回收容器和第二回收容器并使第一回收容器和第二回收容器升降，其中，升降驱动器包括：电机；驱动轴，连接到电机并且在第一方向上旋转；第一轴，连接到第一回收容器并且在垂直于第一方向的第二方向上延伸；第二轴，连接到第二回收容器并且在第二方向上延伸；第一离合器，连接驱动轴和第一轴；以及第二离合器，连接驱动轴和第二轴。

技术研发人员：孙源湜,许弼覠,黄浩锺
受保护的技术使用者：细美事有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15