一种单晶片成品检测设备及其检测方法与流程

文档序号:35528258发布日期:2023-09-21 04:28阅读:31来源:国知局
一种单晶片成品检测设备及其检测方法与流程

本发明涉及单晶片成品检测,具体为一种单晶片成品检测设备及其检测方法。


背景技术:

1、单晶片,一种用于制作半导体的材料。硅是地球上储藏最丰富的材料之一,从19世纪科学家们发现了晶体硅的半导体特性后,它几乎改变了一切,甚至人类的思维。直到20世纪60年代开始,硅材料就取代了原有锗材料。硅材料,因其耐高温和抗辐射性能较好,特别适宜制作大功率器件的特性而成为应用最多的一种半导体材料,集成电路半导体器件大多数是用硅材料制造的。

2、在对单晶片进行制造过程中,需要对其成品进行质量检测,进而判断其结构的完整性;现有技术中,在对单晶片体的检测过程中,需要人工手动一个一个上料,造成人工参与程度较大,不具自动化,且无法根据要求进行检测程度的调节,使用不便。


技术实现思路

1、(一)解决的技术问题

2、针对现有技术的不足,本发明提供了一种单晶片成品检测设备及其检测方法,解决了自动化程度低且使用不便的问题。

3、(二)技术方案

4、为实现以上目的,本发明通过以下技术方案予以实现:一种单晶片成品检测设备,包括箱体、下料机构和检测机构;

5、所述箱体的左侧内壁固定连接有固定板,所述下料机构包括下料框和连接板,所述下料框贯穿于箱体的上表面左侧,所述连接板固定连接于箱体的左侧外表面,所述连接板的上表面设置有电动伸缩杆,所述电动伸缩杆的输出端固定连接有推板,所述推板推动下料框内部所放置的单晶片体的移动;

6、所述箱体的内部滑动连接有斜板,所述检测机构包括套筒,所述套筒固定连接于箱体的内底壁右侧,所述套筒的上端驱动有套杆,所述套杆的上端固定连接有弹簧,所述弹簧的上端与斜板的底部固定连接,所述箱体的右侧外表面开设有第一排料口,所述箱体的右侧外表面且位于第一排料口的下方开设有第二排料口;

7、所述箱体的正面设置有观察窗,所述箱体的正面底部铰接有箱门。

8、优选的,所述下料框的底部两侧均固定连接有垫块,所述下料框通过两个垫块与固定板固定连接。

9、优选的,所述箱体的内壁固定连接有隔板,所述隔板的中部开设有通口。

10、优选的,所述斜板的底部固定连接有滑块,所述斜板通过滑块与隔板所开设的滑槽滑动连接。

11、优选的,所述斜板的上表面两侧均固定连接有挡板。

12、优选的,所述套筒的内底壁转动连接有螺纹杆,所述螺纹杆的底部外壁固定套接有第一锥齿轮,所述第一锥齿轮的侧壁啮合连接有第二锥齿轮,所述第二锥齿轮的右侧固定连接有转动轴,所述转动轴的右端贯穿至套筒的外部,且固定连接有旋钮,所述螺纹杆的外壁螺纹连接有螺纹块,所述套杆固定连接于螺纹块的上表面。

13、优选的,所述螺纹块的两侧均固定连接有限位块,所述套筒的两侧内壁均开设有限位槽,所述限位块与该限位槽滑动连接。

14、优选的,所述螺纹块的正面固定连接有导杆,所述导杆的外端贯穿至套筒的外部,且固定连接有定位块,所述套筒的正面且位于定位块的右侧设置有刻度线。

15、本发明进一步公开了一种单晶片成品检测设备的检测方法,包括以下步骤:

16、步骤一:将若干待检测的单晶片体置于下料框内,打开电动伸缩杆的开关,电动伸缩杆推动推板右移,并将最底部的单晶片体推出,并形成往复循环;

17、步骤二:单晶片体依次被推出,并落在斜板上,在单晶片体自身重力的作用下,压缩弹簧,并根据压缩量的不同,斜板会下落不同的高度,即可通过第一排料口和第二排料口排出不同等级质量的单晶片体,完成质量的检测和分类。

18、(三)有益效果

19、本发明提供了一种单晶片成品检测设备及其检测方法。具备以下有益效果:

20、1、设置有下料机构,通过将若干个单晶片体放置于下料框内,并在电动伸缩杆的往复推动作用下,推动推板右移,即可将最底部的单晶片体依次推出,并形成往复循环,完成单晶片体的依次下料,实现自动化。

21、2、通过单晶片体被推出,并落在斜板上,在单晶片体自身重力的作用下,压缩弹簧,并根据压缩量的不同,斜板会下落不同的高度,即可通过第一排料口和第二排料口排出不同等级质量的单晶片体,完成质量的检测和分类。

22、3、设置有检测机构,通过转动旋钮,在第一锥齿轮和第二锥齿轮的转动作用下,带动螺纹杆转动,进而带动螺纹块进行移动调节,即可压缩弹簧,使得弹簧最有初始势能,进而可对不同等级质量的单晶片体进行检测和分类。



技术特征:

1.一种单晶片成品检测设备,其特征在于:包括箱体(1)、下料机构(2)和检测机构(3);

2.根据权利要求1所述的一种单晶片成品检测设备,其特征在于:所述下料框(21)的底部两侧均固定连接有垫块(26),所述下料框(21)通过两个垫块(26)与固定板(4)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种单晶片成品检测设备,其特征在于:所述箱体(1)的内壁固定连接有隔板(5),所述隔板(5)的中部开设有通口(6)。

4.根据权利要求1所述的一种单晶片成品检测设备,其特征在于:所述斜板(7)的底部固定连接有滑块(11),所述斜板(7)通过滑块(11)与隔板(5)所开设的滑槽(12)滑动连接。

5.根据权利要求1所述的一种单晶片成品检测设备,其特征在于:所述斜板(7)的上表面两侧均固定连接有挡板(8)。

6.根据权利要求1所述的一种单晶片成品检测设备,其特征在于:所述套筒(31)的内底壁转动连接有螺纹杆(32),所述螺纹杆(32)的底部外壁固定套接有第一锥齿轮(36),所述第一锥齿轮(36)的侧壁啮合连接有第二锥齿轮(37),所述第二锥齿轮(37)的右侧固定连接有转动轴(38),所述转动轴(38)的右端贯穿至套筒(31)的外部,且固定连接有旋钮(39),所述螺纹杆(32)的外壁螺纹连接有螺纹块(33),所述套杆(34)固定连接于螺纹块(33)的上表面。

7.根据权利要求6所述的一种单晶片成品检测设备,其特征在于:所述螺纹块(33)的两侧均固定连接有限位块(13),所述套筒(31)的两侧内壁均开设有限位槽(14),所述限位块(13)与该限位槽(14)滑动连接。

8.根据权利要求6所述的一种单晶片成品检测设备,其特征在于:所述螺纹块(33)的正面固定连接有导杆(15),所述导杆(15)的外端贯穿至套筒(31)的外部,且固定连接有定位块(16),所述套筒(31)的正面且位于定位块(16)的右侧设置有刻度线(17)。

9.根据权利要求1所述的一种单晶片成品检测设备的检测方法,其特征在于:包括以下步骤:


技术总结
本发明提供一种单晶片成品检测设备及其检测方法,涉及单晶片成品检测技术领域。该单晶片成品检测设备,包括箱体、下料机构和检测机构,所述箱体的左侧内壁固定连接有固定板,所述下料机构包括下料框和连接板,所述连接板的上表面设置有电动伸缩杆,所述电动伸缩杆的输出端固定连接有推板,所述推板推动下料框内部所放置的单晶片体的移动,所述箱体的内部滑动连接有斜板,所述检测机构包括套筒,所述套筒的上端驱动有套杆,所述套杆的上端固定连接有弹簧,所述弹簧的上端与斜板的底部固定连接,所述箱体的右侧外表面开设有第一排料口和第二排料口。本发明,可对单晶片体的质量进行检测和分类,自动化程度高。

技术研发人员:李充,郭英云
受保护的技术使用者:济南科盛电子有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/1/15
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