用于基座提升工具的方法和设备与流程

本公开总体涉及用于基座提升工具的方法和设备。更具体地，本公开涉及用于促进从反应室提升基座和/或将基座移动到反应室的设备。

背景技术：

1、半导体制造中使用的基座设置在反应室内。基座可能需要不时地从反应室中取出进行维护。由于存在损坏基座的风险，拆卸/安装过程可能具有挑战性，如果操作不当，还会有危险。用于从反应室移除基座的传统工具可能体积庞大和/或难以操作，导致损坏基座或其他工具部件的风险较高。

技术实现思路

1、本技术的各种实施例可以提供用于促进移动基座的提升工具。提升工具包括板形中心区域、连接到中心区域并从中心区域向外延伸的多个臂，其中每个臂包括通孔。提升工具还包括延伸穿过相应臂的通孔的多个钩。每个钩可以包括腿和连接到腿的脚。

2、根据一方面，一种提升工具包括：板；连接到中心板并从中心板向外延伸的多个臂，其中每个臂包括通孔；以及多个钩，每个钩包括：延伸穿过相应臂的通孔并且包括第一端和第二端的腿；以及连接到第二端的脚。

3、在上述提升工具的一个实施例中，多个臂包括至少6个臂。

4、在上述提升工具的一个实施例中，每个臂包括连接到板的第一端和第二端，并且其中通孔与该第二端相邻。

5、在上述提升工具的一个实施例中，腿是线性的并且垂直于臂。

6、在上述提升工具的一个实施例中，脚垂直于腿。

7、在上述提升工具的一个实施例中，腿和脚形成l形。

8、在上述提升工具的一个实施例中，钩可移动地联接到臂。

9、在上述的一个实施例中，提升工具还包括联接到多个臂中的第一和第二臂的第一手柄，以及联接到多个臂中的第三和第四臂的第二手柄。

10、根据另一方面，一种组件包括：提升工具，包括：板；连接到中心板并从中心板向外延伸的多个臂，其中每个臂包括通孔；多个钩，每个钩包括：延伸穿过相应臂的通孔并且包括第一端和第二端的腿；以及连接到第二端的脚；以及支架，包括：包括第一表面和第二表面的基底；第一多个支撑件，其中每个支撑件包括连接到基底的第一表面的第一端和远离基底延伸的第二端；包括第一表面和第二表面的环，其中第二表面连接到第一多个支撑件的第二端；以及辅助支撑结构，包括具有槽的盘和将盘连接到基底的第一表面的第二多个支撑件。

11、在上述组件的一个实施例中，腿和脚形成l形。

12、在上述组件的一个实施例中，钩可移动地联接到臂。

13、在上述组件的一个实施例中，多个臂包括至少6个臂。

14、在上述组件的一个实施例中，第一多个支撑件具有第一长度，第二多个支撑件具有小于第一长度的第二长度。

15、在上述组件的一个实施例中，每个腿的长度在90至120mm的范围内，每个脚的宽度在3至6.5mm的范围内。

16、根据又一实施例，一种提升工具包括：包括金属材料的板；从中心板径向向外延伸的多个臂，其中每个臂包括通孔；多个钩，每个钩包括：延伸穿过相应臂的通孔并且包括具有螺纹部分的第一端和第二端的腿；以及连接到第二端的脚。

17、在上述提升工具的一个实施例中，每个腿的长度在90至120mm的范围内，每个脚的宽度在3至6.5mm的范围内。

18、在上述提升工具的一个实施例中，钩通过螺纹紧固件在第一端可旋转地联接到臂。

19、在上述提升工具的一个实施例中，腿和脚形成l形。

20、在上述的一个实施例中，提升工具还包括联接到板的中心的紧固件。

21、在上述提升工具的一个实施例中，腿是线性的并且垂直于臂。

技术特征：

1.一种提升工具，包括：

2.根据权利要求1所述的提升工具，其中，所述多个臂包括至少6个臂。

3.根据权利要求1所述的提升工具，其中，每个臂包括连接到所述板的第一端和第二端，并且其中，所述通孔与该第二端相邻。

4.根据权利要求1所述的提升工具，其中，所述腿是线性的，并且垂直于所述臂。

5.根据权利要求1所述的提升工具，其中，所述脚垂直于所述腿。

6.根据权利要求1所述的提升工具，其中，所述腿和脚形成l形。

7.根据权利要求1所述的提升工具，其中，所述钩可移动地联接到所述臂。

8.根据权利要求1所述的提升工具，还包括联接到所述多个臂中的第一和第二臂的第一手柄和联接到所述多个臂中的第三和第四臂的第二手柄。

9.一种组件，包括：

10.根据权利要求9所述的组件，其中，所述腿和脚形成l形。

11.根据权利要求9所述的组件，其中，所述钩可移动地联接到所述臂。

12.根据权利要求9所述的组件，其中，所述多个臂包括至少6个臂。

13.根据权利要求9所述的组件，其中，所述第一多个支撑件具有第一长度，并且所述第二多个支撑件具有小于第一长度的第二长度。

14.根据权利要求9所述的组件，其中，每个腿的长度在90至120mm的范围内，每个脚的宽度在3至6.5mm的范围内。

15.一种提升工具，包括：

16.根据权利要求15所述的提升工具，其中，每个腿的长度在90至120mm的范围内，每个脚的宽度在3至6.5mm的范围内。

17.根据权利要求15所述的提升工具，其中，所述钩通过螺纹紧固件在所述第一端可旋转地联接到所述臂。

18.根据权利要求15所述的提升工具，其中，所述腿和脚形成l形。

19.根据权利要求15所述的提升工具，还包括联接到所述板的中心的紧固件。

20.根据权利要求15所述的提升工具，其中，所述腿是线性的，并且垂直于所述臂。

技术总结
本发明的实施例提供了一种用于促进移动基座的提升工具。提升工具包括板形中心区域、连接到中心区域并从中心区域向外延伸的多个臂，其中每个臂包括通孔。提升工具还包括延伸穿过相应臂的通孔的多个钩。每个钩可以包括腿和连接到腿的脚。

技术研发人员：R·巴特,M·里基茨
受保护的技术使用者：ASM IP私人控股有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/2/25