基板传送装置的制作方法

本发明的示例性实施例涉及一种基板传送装置。更具体地，本发明的示例实施例涉及一种能够同时传送多个基板的基板传送装置。

背景技术：

1、在制造如半导体器件的集成电路器件的工艺中，基板(substrate)在用于执行如此工艺的各种设备之间非常频繁地传送。在这种情况下，可检测放置在传送装置上的基板，使得如果基板的位置偏离预先设定的位置，则可根据检测结果将基板移动到预先设定的位置。

2、近来，为了有效地制造集成电路器件，可在设备之间同时传送两个基板。然而，因为两个基板的位置可能彼此干扰，在设备之间同时传送两个基板的同时大致上不可能同时检测两个基板的位置。因此，当同时传送两个基板时，可检测一个基板的位置，然后检测另一基板的位置。然而，这样的检测过程可能不会提高集成电路器件的生产率。

3、现有技术文献：

4、专利文献：

5、专利文献1：韩国授权专利第1931061号；

6、专利文献2：韩国公开专利第2022-0094021号。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种可同时传送多个基板且可同时检测多个基板的位置的基板传送装置。

2、根据本发明的一方面，提供一种基板传送装置。所述基板传送装置可包括传送部分、检测部分以及控制部分。

3、所述传送部分可包括传送第一基板的第一传送构件和传送第二基板的第二传送构件。当传送部分传送第一基板与第二基板时，所述传送部分可移动所述第一基板和所述第二基板，使得所述第一基板和所述第二基板彼此重叠。所述检测部分可同时检测所述第一基板在所述第一传送构件上的位置和所述第二基板在所述第二传送构件上的位置。所述检测部分可检测距所述第一基板和所述第二基板重叠的参考点第一距离处的多个点的所述第一基板的第一位置和所述第二基板的第一位置，且可检测距所述第一基板和所述第二基板重叠的所述参考点第二距离处的多个点的所述第一基板的第二位置和所述第二基板的第二位置。所述控制部分可控制传送部分。所述控制部分可控制传送部分对所述第一基板和所述第二基板的移动，使得所述检测部分在距所述参考点的所述第一距离的所述多个点处检测所述第一基板的所述第一位置，并同时检测所述第二基板在距所述参考点的所述第二距离的所述多个点处的第二位置。所述控制部分可控制所述传送部分对所述第一基板和所述第二基板的移动，使得所述检测部分可检测所述第一基板距所述参考点第二距离的所述多个点的第二位置，并同时可检测所述第二基板在距所述参考点所述第一距离的所述多个点处的第一位置。

4、于示例实施例中，所述第一基板的所述第一位置和所述第二基板的所述第一位置可分别对应于所述第一基板的一个端部和所述第二基板的一个端部。所述第一基板的所述第二位置和所述第二基板的所述第二位置可分别对应于所述第一基板的另一端部和所述第二基板的另一端部。

5、于示例实施例中，所述第一基板的所述第一位置和所述第二基板的所述第一位置可分别对应于所述第一基板的一侧的两个外围部分和所述第二基板的一侧的两个外围部分。所述第一基板的所述第二位置和所述第二基板的所述第二位置可分别对应于所述第一基板的另一侧的两个外围部分和所述第二基板的另一侧的两个外围部分。

6、于示例实施例中，距所述参考点所述第一距离的所述点可为距所述参考点距离+d的点，距所述参考点所述第二距离的所述点可为距所述参考点距离+d的点。

7、于示例实施例中，所述检测部分可包括设置在沿所述第一基板和所述第二基板的路径为中心的垂直方向上彼此面对的发光构件和光接收构件。

8、于示例实施例中，所述控制部分可基于由所述检测部分检测到的所述第一基板和所述第二基板的所述多个位置来控制所述第一传送构件和所述第二传送构件，使得所述第一基板和所述第二基板的所述位置被移动至设定的位置。

9、根据本发明的另一方面，提供一种基板传送装置。所述基板传送装置可以包括传送部分、检测部分和控制部分。所述传送部分可包括传送第一基板的第一传送构件和传送第二基板的第二传送构件。所述第一传送构件和所述第二传送构件可分别于水平方向上移动所述第一基板与所述第二基板。所述传送部分可移动所述第一基板与所述第二基板，使得当所述传送部分传送所述第一基板和所述第二基板时，所述第一基板和所述第二基板可彼此重叠。所述检测部分可同时检测所述第一基板在所述第一传送构件上的位置和所述第二基板在所述第二传送构件上的位置。所述检测部分可检测距所述第一基板和所述第二基板重叠的参考点第一距离处的多个点的所述第一基板的第一位置和所述第二基板的第一位置，以及所述检测部分可检测距所述第一基板和所述第二基板重叠的所述参考点第二距离处的多个点的所述第一基板的第二位置和所述第二基板的第二位置。所述控制部分可控制由所述第一传送构件和所述第二传送构件的所述第一基板和所述第二基板的移动。所述控制部分可控制所述第一传送构件和所述第二传送构件，使得所述检测部分在距所述参考点的所述第一距离的所述多个点处检测所述第一基板的所述第一位置，并同时检测所述第二基板在距所述参考点的所述第二距离的所述多个点处的第二位置。所述控制部分可控制所述第一传送构件和所述第二传送构件，使得所述检测部分检测所述第一基板距所述参考点第二距离的所述多个点的第二位置，并同时检测所述第二基板在距所述参考点所述第一距离的所述多个点处的第一位置。

10、于示例实施例中，所述第一基板的所述第一位置和所述第二基板的所述第一位置可分别对应于所述第一基板的一个端部和所述第二基板的一个端部。所述第一基板的所述第二位置和所述第二基板的所述第二位置可分别对应于第一基板的另一端部和第二基板的另一端部。

11、于示例实施例中，所述第一基板的第一位置和所述第二基板的第一位置可分别对应于所述第一基板的一侧的两个外围部分和所述第二基板的一侧的两个外围部分。所述第一基板的所述第二位置和所述第二基板的所述第二位置可分别对应于所述第一基板的另一侧的两个外围部分和所述第二基板的另一侧的两个外围部分。

12、于示例实施例中，距所述参考点所述第一距离的所述点可为距所述参考点距离+d的点，距所述参考点所述第二距离的所述点可为距所述参考点+距离-d的点。

13、于示例实施例中，所述检测部分可包括发光构件和光接收构件，所述发光构件和所述光接收构件可设置为在以沿所述第一基板和所述第二基板的路径为中心的垂直方向上彼此面对。

14、于示例实施例中，所述控制部分基于由所述检测部分检测到的所述第一基板和所述第二基板的所述多个位置来控制所述第一传送构件和所述第二传送构件，使得所述第一基板和所述第二基板的所述位置被移动至设定的位置。

15、根据本发明的一方面，提供一种基板传送装置。所述基板传送装置可包括传送部分、检测部分和控制部分。所述传送部分可包括传送第一基板的第一传送构件和传送第二基板的第二传送构件。所述第一传送构件和所述第二传送构件可分别旋转所述第一基板与所述第二基板，且当传送部分传送第一基板与第二基板时，所述传送部分移动所述第一基板和所述第二基板，使得所述第一基板和所述第二基板彼此重叠。所述检测部分可同时检测所述第一基板在所述第一传送构件上的位置和所述第二基板在所述第二传送构件上的位置。所述检测部分可检测距所述第一基板和所述第二基板重叠的参考点第一距离处的多个点的所述第一基板的第一位置和所述第二基板的第一位置，以及所述检测部分检测距所述第一基板和所述第二基板重叠的所述参考点第二距离处的多个点的所述第一基板的第二位置和所述第二基板的第二位置。所述控制部分可通过所述第一传送构件和所述第二传送构件控制所述第一基板和所述第二基板的移动。所述控制部分可控制传送部分，使得所述检测部分在距所述参考点的所述第一距离的所述多个点处检测所述第一基板的所述第一位置，并同时检测所述第二基板在距所述参考点的所述第二距离的所述多个点处的第二位置。所述控制部分可控制所述传送部分，使得所述检测部分检测所述第一基板距所述参考点第二距离的所述多个点的第二位置，并同时检测所述第二基板在距所述参考点所述第一距离的所述多个点处的第一位置。

16、于示例实施例中，所述第一基板的所述第一位置和所述第二基板的所述第一位置可分别对应于所述第一基板的一个端部和所述第二基板的一个端部。所述第一基板的所述第二位置和第二基板的所述第二位置可分别对应于所述第一基板的另一端部和所述第二基板的另一端部。

17、于示例实施例中，所述第一基板的所述第一位置和所述第二基板的所述第一位置可分别对应于所述第一基板的一侧的两个外围部分和所述第二基板的一侧的两个外围部分。所述第一基板的所述第二位置和所述第二基板的所述第二位置可分别对应于所述第一基板的另一侧的两个外围部分和所述第二基板的另一侧的两个外围部分。

18、于示例实施例中，距所述参考点所述第一距离的所述点可为距所述参考点距离+d的点，距所述参考点所述第二距离的所述点可为距所述参考点距离-d的点。

19、于示例实施例中，所述检测部分可包括发光构件和光接收构件，所述发光构件和所述光接收构件设置为在以沿所述第一基板和所述第二基板的路径为中心的垂直方向上彼此面对。

20、于示例实施例中，所述控制部分可基于由所述检测部分检测到的所述第一基板和所述第二基板的所述多个位置来控制所述第一传送构件和所述第二传送构件，使得所述第一基板和所述第二基板的位置移动至设定的位置。

21、于示例实施例中，所述第一传送构件和所述第二传送构件可分别以公共轴为中心旋转所述第一基板和所述第二基板。所述第一传送构件和所述第二传送构件在水平方向上移动所述第一基板和所述第二基板。

22、于示例实施例中，所述第一传送构件以及所述第二传送构件可分别具有多关节结构。

23、根据示例实施例，所述基板传送装置可以在沿水平方向和/或沿垂直方向传送多个基板的同时同时检测多个基板的位置。另外，所述基板传送装置可以在通过旋转多个基板传送多个基板的同时同时检测多个基板的位置。因此，基板传送装置可以用在制造各种半导体器件(如存储器件、非存储器件、系统半导体器件等)的工艺中。

24、本发明的效果不限于上述事项，在不脱离本发明的思想和领域的范围内可以扩大为多种效果。