机械手定位装置及半导体设备的制作方法

本技术涉及半导体，具体而言，涉及一种机械手定位装置及半导体设备。

背景技术：

1、随着半导体设备自动化程度的日益提升，机械手传输系统越来越多的应用到设备中。因半导体设备各工位对物料定位精度要求较高，为了实现较高的定位精度往往需要在机械手系统的零部件结构、电气元件和运动控制等方面花费较高的成本。

技术实现思路

1、本技术的目的在于针对背景技术中所涉及的至少一个技术问题，提供一种机械手定位装置及半导体设备。

2、为了实现上述目的，本技术采用以下技术方案：

3、本技术的一个方面提供一种机械手定位装置，包括定位卡块、定位组件和用于安装机械手的支板，所述定位组件包括均安装于所述支板的第一弹性件和限位件，在第一方向上所述第一弹性件的两端分别为第一连接端和第二连接端，所述第一连接端与所述支板连接，所述第二连接板与所述限位件连接，

4、所述定位卡块用于安装在工位处，在所述定位卡块上形成有第一卡槽，所述第一卡槽用于与所述限位件卡合以使所述第一弹性件在所述第一方向上弹性变形。

5、可选地，所述限位件为轴承，所述定位组件包括轴和两个所述第一弹性件，所述轴承套装于所述轴，所述轴的两端一一对应的与两个所述第一弹性件连接，所述轴垂直于所述支板的板面设置，所述第一弹性件为簧片。

6、该技术方案的有益效果在于：将限位件涉及成轴承，使限位件在进入第一卡槽之前，限位件能够在定位卡块上顺利移动，减小阻力；使第一弹性件为弹片，则减小了第一弹性件占据的空间，使定位组件在移动时不易与外界产生碰撞，并且为设备上其他部件提供了布置空间。

7、可选地，所述定位组件还包括压块和第二弹性件，在所述第一方向上所述第二弹性件的一端为与所述压块连接的压块连接端，所述第二弹性件的另一端为安装端，所述安装端与所述支板固定连接，所述第一连接端与所述压块连接，所述安装端靠近所述第二连接端设置。

8、该技术方案的有益效果在于：当限位件与定位卡块接触是，第一弹性件表现为被压缩，第二弹性件表现为被拉伸，同一个作用力由第一弹性件和第二弹性件共同，增加了定位组件承受压力的能力，进而提高了机械手定位装置的可靠性。

9、可选地，所述第二弹性件为弹片，所述定位组件包括两个弹片组，每个所述弹片组包括两个所述第二弹性件，在所述第一方向上两个所述弹片组设置在所述第一弹性件两侧，每个所述弹片组中两个所述第二弹片在平行于所述轴的方向上排列。

10、该技术方案的有益效果在于：这样，增加了第二弹性件的数量，进一步提高了机械手定位装置的可靠性，而由于第二弹性件为弹片，所以占据空间相对较小。

11、可选地，本技术所提供的机械手定位装置，包括两个所述定位组件，所述机械手定位装置还包括连接块，所述连接块与所述支板固定连接，在所述第一方向上两个所述定位组件设置在所述连接块的两侧，所述安装端与所述连接块固定连接。

12、该技术方案的有益效果在于：连接块固定到支板上，两个定位组件均安装在连接块上，支板及定位组件作为整体移动至物料获取工位时，两个定位组件的限位件同时与定位卡块压力接触，两个压力使支板及其上的定位组件达到一个平衡状态，这样机械手在获取物料时，支板及定位组件不易产生晃动，进而提高对机械手的定位精度。

13、可选地，在所述定位卡块上还形成有用于与所述限位件压力接触的导向面，所述第一卡槽和所述导向面在第二方向上排列，所述导向面的一端为与所述第一卡槽的槽口边沿连接的第一端，在所述第一方向上所述导向面的另一端为靠近所述第一卡槽的槽底设置的第二端，从所述第一端到所述第二端所述导向面的延伸方向相对于所述第一方向和所述第二方向均倾斜，所述第二方向垂直于所述第一方向，且所述第一方向和所述第二方向均平行于所述支板的板面，所述支板用于在所述第二方向上移动。

14、该技术方案的有益效果在于：在半导体设备控制机械手向获取工位移动时，支板及支板上的定位组件在第二方向上移动，限位件首先与导向面接触，限位件沿着导向面逐渐向第一卡槽的槽口移动，随着限位件逐渐靠近第一卡槽的槽口，第一弹性件的弹性变形逐渐增大，当限位件移动至第一卡槽的槽口内，限位件在弹力的作用下进入卡槽，并与卡槽的内壁压力接触。通过设置导向面，使限位件能够在导向面的导向下比较顺利的进入卡槽，完成限位件与第一卡槽之间的自动卡合。

15、可选地，在所述定位卡块上还形成有第二卡槽，在所述第二方向上所述第一卡槽位于所述第二卡槽和所述导向面之间，所述第一卡槽的边沿和所述第二卡槽的边沿之间通过过渡面连接，所述过渡面用于与所述限位件压力接触，且所述过渡面平行于第二方向。

16、该技术方案的有益效果在于：通过设置第一卡槽和第二卡槽可实现机械手在工位处的不同位置获取物料；过渡面一方面起到导向作用，另一方面使支板及定位组件作为整体的移动总是处在第一弹性件的弹力作用下，使支板及定位组件的移动更加稳定，提高机械手移动的稳定性。

17、可选地，所述限位件为轴承，所述第一卡槽和所述第二卡槽中至少一个为v形槽，所述v形槽的内壁用于与所述轴承的外壁压力接触。

18、该技术方案的有益效果在于：限位件在v形槽中时，v形槽的两侧侧壁同时形成对轴承较稳定的支撑，使得在v形槽中轴承不易产生滚动。

19、可选地，在所述定位卡块上还形成有支撑平面，所述第一卡槽的槽口边沿、所述导向面和所述支撑平面依次连接，所述机械手定位装置包括两个所述定位组件，所述支撑平面用于在一个所述定位组件的限位件与第一卡槽或第二卡槽配合时与另一个所述定位组件的限位件压力接触，进而使两个所述限位件的底端的连线平行于第一方向。

20、该技术方案的有益效果在于：两个所述限位件的底端的连线平行于第一方向，说明两个定位组件中的第一弹性件所受压缩量相同，支板承受的两个第一弹性件的压力达到一个平衡状态，支板及两个定位组件形成一个相对稳定的整体，进而提高对机械手的定位精度；当定位组件包括第二弹性件的时，一个定位组件中的第一弹性件和第二弹性件作为整体的弹性变形，与另一个定位组件中的第一弹性件和第二弹性件作为整体的弹性变形相同。

21、本技术的另一个方面提供一种半导体设备，包括机械手和本技术所提供的机械手定位装置，所述机械手安装于所述支板。

22、本技术提供的技术方案可以达到以下有益效果：

23、本技术所提供的机械手定位装置，在使用时，支板上安装机械手，机械手、支板及定位组件随机械臂移动至物料获取工位，限位件与第一卡槽卡合，且第一弹性件弹性变形使限位件与第一卡槽的内壁之间产生压力，进而产生摩擦力，使限位件与第一卡槽之间的卡合不易失效，达到对支板和定位组件的位置进行限定，并最终对机械手进行定位的目的；本技术所提供的机械手定位装置，仅通过传统的机械结构在物料获取工位对机械手进行定位，相对于采用机械手系统的零部件结构、电气元件和运动控制等需克服一些复杂苛刻的要求实现机械手的定位，结构相对简单，制作相对容易，且相对于采用电气元件和运动控制等对机械手进行定位，成本相对较低，且可靠性更高。

24、本技术的附加技术特征及其优点将在下面的描述内容中阐述地更加明显，或通过本技术的具体实践可以了解到。