一种低温等离子体材料处理设备的制作方法

本发明属于材料处理，尤其涉及一种低温等离子体材料处理设备。

背景技术：

1、目前在专业化工厂的实践生产中平面材料表面处理多采用人工表面的机械性强制处理，或酸洗及磷化等化学处理，主要目的是增加表面粗糙度增大粘接面积，或通过化学处理表面形成特殊物质，其缺点比较明显，效率低下，表面处理不够均匀，表面细小污物由于静电影响很难处理，存在污染环境风险，而等离子体中存在大量的活性粒子，比通常的化学反应器所产生的活性粒子种类更多活性更强，更易于和所接触的材料表面以及各类气体发生反应。

2、等离子体是一种高能量的物质聚集态，其中含有大量的电子、离子、激发态的原子、分子、光子和自由基等活性粒子，利用等离子体对材料进行处理可引起材料表面的物理变化(如刻蚀、解吸、溅射、注入、激发和电离等)和化学变化(如氧化、分解、交联、聚合和接枝等)，以达到改变材料表面特性(包括亲水性、疏水性、粘合性、阻燃性、防腐性、防静电性以及生物适应性)的目的。

3、现有的低温等离子体材料处理设备在使用过程中，通常直接采用等离子发生器以及与等离子发生器连接的多个喷头对呈工件的表面进行处理，但不便保证其等离子体流之间密度以及喷射均匀性，易导致多个喷头之间的等离子体流密度、喷射速度和喷射量产生不一致，进而对工件的表面处理效果造成影响，从而对设备的处理效率及其精度造成影响，需要进行一定的改进。

技术实现思路

1、本发明的目的在于：为了解决现有的低温等离子体材料处理设备在使用过程中，通常直接采用等离子发生器以及与等离子发生器连接的多个喷头对呈工件的表面进行处理，但不便保证其等离子体流之间密度以及喷射均匀性，易导致多个喷头之间的等离子体流密度、喷射速度和喷射量产生不一致，进而对工件的表面处理效果造成影响，从而对设备处理效率及其精度造成影响的问题，而提出的一种低温等离子体材料处理设备。

2、为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

3、一种低温等离子体材料处理设备，包括底座，所述底座的顶部一侧固定连接有龙门架，所述龙门架上设置有调节组件，所述调节组件的下方两侧均设置有连接管，所述连接管的底部线性分布有多个喷头，所述喷头的内部顶侧设置有调节组件，所述调节组件的底部四角均设置有固定组件；

4、所述调节组件包括圆形块，所述圆形块的底部固定连接有固定杆，所述固定杆的底端固定连接有平板，所述平板的顶部设置有弹性阀片，所述弹性阀片套设在固定杆的外侧，所述弹性阀片的顶部四角均设置有第一通孔，所述第一通孔位于圆形块的内部，所述圆形块的顶部固定连接有吊环。

5、作为上述技术方案的进一步描述：

6、所述圆形块的两侧均固定连接有限位滑块，所述限位滑块的另一侧设置有滑槽，所述滑槽位于喷头的内部。

7、作为上述技术方案的进一步描述：

8、所述固定组件包括球形杆，所述球形杆的顶端与限位滑块固定连接，所述球形杆的底部设置有卡槽，所述卡槽位于喷头的内部。

9、作为上述技术方案的进一步描述：

10、所述卡槽的顶部固定连接有环形弹性件，所述环形弹性件套设在球形杆的外侧。

11、作为上述技术方案的进一步描述：

12、所述调节组件包括安装座，所述安装座通过螺钉与龙门架固定连接，所述安装座的内部设置有第一丝杠，所述第一丝杠的顶端延伸至安装座的顶部后固定连接有转柄。

13、作为上述技术方案的进一步描述：

14、所述第一丝杠的底部螺纹连接有第一螺纹套，所述第一螺纹套的一侧固定连接有l型固定板，所述l型固定板的底部通过螺钉固定连接有横梁，所述横梁的顶部设置有多个气体接口，所述横梁的底部通过管道与连接管相连通。

15、作为上述技术方案的进一步描述：

16、所述横梁的底部两侧均固定连接有固定座，两个固定座之间固定连接有两个透明的石英板，两个固定座之间设置有陶瓷高压电极，所述陶瓷高压电极设置在两个透明的石英板之间，且陶瓷高压电极设置在两个连接管之间。

17、作为上述技术方案的进一步描述：

18、所述第一螺纹套的内部固定连接有限位滑板，所述限位滑板通过内部开设的第二通孔与第一丝杠滑动连接，所述限位滑板的两侧均固定连接有两个限位凸块，所述限位凸块的另一侧设置有限位滑槽，限位滑槽设置在龙门架的内部。

19、作为上述技术方案的进一步描述：

20、所述底座的内部开设有第一内腔，第一内腔的内部一侧设置有步进电机，步进电机的输出端固定连接有第二丝杠，所述第二丝杠上螺纹连接有第二螺纹套，所述第二螺纹套的顶部固定连接有地电极，所述地电极滑动设置在底座的内部，所述底座的一侧通过螺钉固定连接有操作面板。

21、作为上述技术方案的进一步描述：

22、所述第二螺纹套的底部两侧均固定连接有滑块，滑块的底部滑动连接有滑轨，滑轨的另一侧与底座固定连接，所述底座采用的铝合金型材及角接件组合成框架，其周边配有门及底板。

23、综上所述，由于采用了上述技术方案，本发明的有益效果是：

24、1、本发明中，先将待处理的工件放置到地电极上，步进电机带动第二丝杠转动，使第二螺纹套带动地电极和工件移动，更加平稳可靠，平台可参数设置式移动，操作较为方便，手动操作转柄使其带动第一丝杠进行转动，使第一螺纹套只能带动l型固定板和横梁进行竖直移动，便于对陶瓷高压电极和地电极的使用高度和其之间的使用间隙进行调节，进而对陶瓷高压电极和地电极之间产生电离层进行调整，有效的提高了设备对工件的表面处理效果，外部供气装置会将反应气体通过气体接口和管道输送至连接管的内部，随着其内部压力的不断升高，会大于弹性阀片的开启值，此时反应气体会第一通孔和喷头喷出，使反应气体在陶瓷高压电极的两侧形成气体风幕，防止外部空气中的浮尘因陶瓷高压电极和地电极之间产生的电离，而导致浮尘吸附在陶瓷高压电极和地电极之间，进而导致对工件的表面处理质量造成影响，从而有效的提高了设备的处理效果。

25、2、本发明中，通过设置的弹性阀片防止连接管内部的气体直接通过距离较近的喷头喷出，导致反应气体在多个喷头产生不均匀现象，有效减少了不同位置喷头的喷出速度差异，大大减少了其喷出流量及其喷射量不同带来的不良影响，进而防止对陶瓷高压电极两侧气体风幕的使用稳定性造成影响，有效的提高了设备在使用时的防护性能，进一步提高了设备对工件的处理加工精度，通过设置的透明石英板防止喷头喷出的气体产生发散现象，有效的保证了设备在使用时的稳定性，同时透明石英板进一步对外部空气中的浮尘进行防护，进一步提高了设备的使用性能。

26、3、本发明中，当弹性阀片长时间使用产生损坏时，手动操作喷头对其进行拆卸，然后手动操作圆形块的顶部的吊环使其带动球形杆脱离卡槽和环形弹性件，即可解除对圆形块的固定状态，便于对其进行快速更换和维护，大大提高了设备在使用时的便携性，防止对设备的适用性能及其处理效率造成影响。

27、4、本发明中，本设备处理精度高、效率快、表面处理的均匀、产生细小的刻蚀粗糙面，比面积增大有利于形成致密的粘接层，结构简单、操作方便、处理效果好，且节能无污染，适用性能较高。