一种晶圆单面刻蚀夹持模块的制作方法

本发明涉及晶圆刻蚀加工，尤其涉及一种晶圆单面刻蚀夹持模块。

背景技术：

1、晶圆的刻蚀加工采用刻蚀溶液对精元的一侧表面进行刻蚀，另一侧表面不能进行刻蚀，因此，常规的刻蚀加工中需要将晶圆中不需要进行刻蚀加工的表面进行贴膜保护，这种保护膜在完成晶圆的刻蚀后需要进行铲除，常规的方式采用的是人工铲除的方式，操作效率低下；因此，需要一种新的晶圆刻蚀辅助夹持模块，实现将夹持状态的下的晶圆直接放入到刻蚀槽内，无需对晶圆表面贴膜保护的操作，提高生产效率。

技术实现思路

1、本发明要解决的技术问题是提供一种晶圆单面刻蚀夹持模块，能够解决常规的晶圆单元刻蚀背面需要贴保护膜，在完成单面刻蚀后再人工揭去保护膜，费时费力，生产效率低的问题。

2、为解决上述技术问题，本发明的技术方案为：一种晶圆单面刻蚀夹持模块，其创新点在于：包括夹持基座和密封压环；

3、所述夹持基座呈圆盘状，夹持基座的两端表面上均设置有放置晶圆的负压凹腔，且负压凹腔处分别独立设置有与夹持基座侧面导通的真空负压孔；

4、所述密封压环呈圆环状结构，且压扣在夹持基座的两端表面上，密封压环的内侧表面压紧晶圆的边缘位置，将晶圆的压紧的夹持基座的负压凹腔处。

5、进一步的，所述夹持基座的侧面位于真空负压孔位置处开设有接管孔，且接管孔处连接有手柄，手柄呈中空管状结构，两端开口设置，手柄的一端通过螺纹连接在接管孔处，手柄的另一端设置有端塞；所述手柄内设置有一对抽真空软管，且端塞上开有容纳抽真空软管穿出的圆孔；抽真空软管的一端连接在夹持基座的真空负压孔处，抽真空软管的另一端穿过端塞上的圆孔；通过设置手柄结构，可以取放该夹持基座，且手柄结构端部设置端塞结构，可在连接好手柄与夹持基座后堵住手柄端部，防止抽真空软管跟随转动，产生软管缠绕现象。

6、进一步的，所述夹持基座的两端面上位靠近边缘位置处，在周向设置有若干螺栓孔，所述密封压环上对应夹持基座的锁紧螺栓孔位置设置有锁紧孔，通过锁紧螺栓将密封压环连接在夹持基座上；在夹持基座的周向上设置多组锁紧螺栓，可增强密封效果。

7、进一步的，所述夹持基座上位于负压凹腔的外侧设置有一对第一密封槽，且该对第一密封槽内均设置有密封胶条；所述密封压环上设置有与第一密封槽对应的一对第二密封槽；通过在夹持基座上设置两层密封槽，可有效的进行负压吸附，避免刻蚀液进入晶圆的背面。

8、进一步的，所述夹持基座的端面边缘位置处垂直设置有若干定位销，所述密封压环上开有若干与定位销配合的定位孔；通过设置定位销，可快速的将密封压环在夹持基座上定位，提升晶圆的装夹效率。

9、进一步的，所述夹持基座上位于负压凹腔的外侧边缘处设置有若干晶圆定位柱，所述密封压环上设置有与晶圆定位柱配合的晶圆限位孔；通过设置晶圆定位柱，可有效的防止晶圆在夹持位置的窜动，提升密封效果。

10、进一步的，所述夹持基座的侧面沿着周向设置有若干立放支撑平面，且在密封压环上对应设置立放支撑平面；通过设置立放支撑平面，可实现该夹持基座在刻蚀槽内立式摆放，通过手柄取放更加方便。

11、本发明的优点在于：

12、1)本发明中通过设置夹持基座结构，在晶圆放置在夹持基座上后并用密封压环连接锁紧后，通过抽真空机抽出夹持基座内负压凹腔内的空气，使得晶圆紧贴在夹持基座上；该晶圆单面刻蚀夹持模块一次装夹两个晶圆，也可装夹一个晶圆，操作简单，密封效果好；无需采用贴膜的方式来避免晶圆背面刻蚀，也无需人工后续费时费力的揭除贴膜，极大的提高了晶圆的刻蚀工序的生产效率。

技术特征：

1.一种晶圆单面刻蚀夹持模块，其特征在于：包括夹持基座和密封压环；

2.根据权利要求1所述的一种晶圆单面刻蚀夹持模块，其特征在于：所述夹持基座的侧面位于真空负压孔位置处开设有接管孔，且接管孔处连接有手柄，手柄呈中空管状结构，两端开口设置，手柄的一端通过螺纹连接在接管孔处，手柄的另一端设置有端塞；所述手柄内设置有一对抽真空软管，且端塞上开有容纳抽真空软管穿出的圆孔；抽真空软管的一端连接在夹持基座的真空负压孔处，抽真空软管的另一端穿过端塞上的圆孔。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆单面刻蚀夹持模块，其特征在于：所述夹持基座的两端面上位靠近边缘位置处，在周向设置有若干螺栓孔，所述密封压环上对应夹持基座的锁紧螺栓孔位置设置有锁紧孔，通过锁紧螺栓将密封压环连接在夹持基座上。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆单面刻蚀夹持模块，其特征在于：所述夹持基座上位于负压凹腔的外侧设置有一对第一密封槽，且该对第一密封槽内均设置有密封胶条；所述密封压环上设置有与第一密封槽对应的一对第二密封槽。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆单面刻蚀夹持模块，其特征在于：所述夹持基座的端面边缘位置处垂直设置有若干定位销，所述密封压环上开有若干与定位销配合的定位孔。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆单面刻蚀夹持模块，其特征在于：所述夹持基座上位于负压凹腔的外侧边缘处设置有若干晶圆定位柱，所述密封压环上设置有与晶圆定位柱配合的晶圆限位孔。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆单面刻蚀夹持模块，其特征在于：所述夹持基座的侧面沿着周向设置有若干立放支撑平面，且在密封压环上对应设置立放支撑平面。

技术总结
本发明涉及一种晶圆单面刻蚀夹持模块，其特征在于：包括夹持基座和密封压环；通过设置夹持基座结构，在晶圆放置在夹持基座上后并用密封压环连接锁紧后，通过抽真空机抽出夹持基座内负压凹腔内的空气，使得晶圆紧贴在夹持基座上，晶圆的背面得到了有效的密封；该晶圆单面刻蚀夹持模块一次装夹两个晶圆，也可装夹一个晶圆，操作简单，密封效果好；无需采用贴膜的方式来避免晶圆背面刻蚀，也无需人工后续费时费力的揭除贴膜，极大的提高了晶圆的刻蚀工序的生产效率。

技术研发人员：刘为海,钟贻鼎,唐鸣鸣,刘鹏程
受保护的技术使用者：如皋市海鹏光学科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15