本发明涉及基板加工的领域,尤其是涉及多层陶瓷基板制造工艺。
背景技术:
1、随着电子器件、模块向微型化、集成化和高频化方向发展,要求基板能够满足高传输速度、高布线密度等需求,低温共烧陶瓷技术运用而生。高温共烧陶瓷技术与低温共烧陶瓷技术工艺流程相近,都需要经过混料、生瓷带流延、冲孔、填孔、印刷、叠片、压合、热切割、共烧、烧后处理、成品分离等关键工序。
2、本发明提供一种多层陶瓷基板制造工艺。
技术实现思路
1、为了解决上述技术问题,本发明提供多层陶瓷基板制造工艺。
2、本发明提供的多层陶瓷基板制造工艺采用如下的技术方案:
3、多层陶瓷基板制造工艺,陶瓷双列直插封装、陶瓷无引线芯片载体、陶瓷格栅阵列、陶瓷针栅阵列和陶瓷球栅阵列,且均为底座和堤坝构成的空腔结构,芯片通过导热胶粘贴固定在底座上,引线键合完成后进行堤坝顶端光学玻璃盖板封帽,陶瓷格栅阵列、陶瓷针栅阵列和陶瓷球栅阵列的引脚数高于100的芯片,陶瓷双列直插封装、陶瓷无引线芯片载体的引脚数低于100的芯片,陶瓷无引线芯片载体的封装面积只有陶瓷双列直插封装的1/5~1/7。
4、可选的,陶瓷无引线芯片载体为长方形,节距e=0.70mm,键合区通过四周的半圆柱形镀金凹槽与底部引出焊盘连接,74个镀金凹槽排布在陶瓷无引线芯片载体的长边和宽边上,半圆柱形镀金凹槽的高度h=0.80mm半径r1=0.15mm。
5、可选的,键合区的键合指设计成单层排布。
6、可选的,多层陶瓷基板不同层间的线路图形由过孔连接起来进行冲孔。
7、可选的,在孔内填充导体浆料,完成孔壁金属化,将导体浆料经不锈钢网版压入生瓷带上冲好的孔中,不锈钢网版的孔径略小于生瓷带上对应孔的孔径。
8、可选的,印刷压强为0.2mpa~0.6mpa,速度为5mm/s~30mm/s,刮刀角度为45°~75°,刮刀硬度为hs65~hs85。
9、可选的,填孔完成后,采用烘干箱对孔内导体浆料进行烘干,烘干温度为50℃~80℃,烘干时间为5min~40min,采用整平机对孔周围进行整平,压强为0.5mpa~5mpa,时间为10s~120s。
10、可选的,采用丝网印刷,印刷时,刮刀施加压力并沿着丝网移动,丝网发生弹性变形从而与生瓷带接触,导体浆料发生剪切变稀从而顺利通过网孔并开始润湿生瓷带。
11、可选的,丝网采用250~500目、丝径13~30μm、张力20~40n/cm的不锈钢丝网。
12、综上所述,本发明包括以下至少一种有益技术效果:
13、1.在孔内填充导体浆料,完成孔壁金属化,将导体浆料经不锈钢网版压入生瓷带上冲好的孔中,不锈钢网版的孔径略小于生瓷带上对应孔的孔径,通过刮刀施加的切向和法向力,将导体浆料经不锈钢网版压入生瓷带上冲好的孔中,不锈钢网版的孔径略小于生瓷带上对应孔的孔径,这种方式效率高,填充量易于控制;
14、2.导体浆料发生剪切变稀从而顺利通过网孔并开始润湿生瓷带,网孔中的导体浆料底面受生瓷带粘附力,侧面受丝网线粘附力,并且生瓷带粘附力大于丝网线粘附力,刮刀扫过印刷区域后,丝网弹性变形恢复,网孔中的小柱状导体浆料在网孔侧壁附近断裂,沉积到生瓷带上,形成线路图形。
1.多层陶瓷基板制造工艺,其特征在于:陶瓷双列直插封装、陶瓷无引线芯片载体、陶瓷格栅阵列、陶瓷针栅阵列和陶瓷球栅阵列,且均为底座和堤坝构成的空腔结构,芯片通过导热胶粘贴固定在底座上,引线键合完成后进行堤坝顶端光学玻璃盖板封帽,陶瓷格栅阵列、陶瓷针栅阵列和陶瓷球栅阵列的引脚数高于100的芯片,陶瓷双列直插封装、陶瓷无引线芯片载体的引脚数低于100的芯片,陶瓷无引线芯片载体的封装面积只有陶瓷双列直插封装的1/5~1/7。
2.根据权利要求1所述的多层陶瓷基板制造工艺,其特征在于:陶瓷无引线芯片载体为长方形,节距e=0.70mm,键合区通过四周的半圆柱形镀金凹槽与底部引出焊盘连接,74个镀金凹槽排布在陶瓷无引线芯片载体的长边和宽边上,半圆柱形镀金凹槽的高度h=0.80mm半径r1=0.15mm。
3.根据权利要求1所述的多层陶瓷基板制造工艺,其特征在于:键合区的键合指设计成单层排布。
4.根据权利要求1所述的多层陶瓷基板制造工艺,其特征在于:多层陶瓷基板不同层间的线路图形由过孔连接起来进行冲孔。
5.根据权利要求4所述的多层陶瓷基板制造工艺,其特征在于:在孔内填充导体浆料,完成孔壁金属化,将导体浆料经不锈钢网版压入生瓷带上冲好的孔中,不锈钢网版的孔径小于生瓷带上对应孔的孔径。
6.根据权利要求5所述的多层陶瓷基板制造工艺,其特征在于:印刷压强为0.2mpa~0.6mpa,速度为5mm/s~30mm/s,刮刀角度为45°~75°,刮刀硬度为hs65~hs85。
7.根据权利要求6所述的多层陶瓷基板制造工艺,其特征在于:填孔完成后,采用烘干箱对孔内导体浆料进行烘干,烘干温度为50℃~80℃,烘干时间为5min~40min,采用整平机对孔周围进行整平,压强为0.5mpa~5mpa,时间为10s~120s。
8.根据权利要求7所述的多层陶瓷基板制造工艺,其特征在于:采用丝网印刷,印刷时,刮刀施加压力并沿着丝网移动,丝网发生弹性变形从而与生瓷带接触,导体浆料发生剪切变稀从而顺利通过网孔并开始润湿生瓷带。
9.根据权利要求8所述的多层陶瓷基板制造工艺,其特征在于:丝网采用250~500目、丝径13~30μm、张力20~40n/cm的不锈钢丝网。