硅片人工检查的中转载台及快检方法与流程

本发明涉及中转载台，具体为硅片人工检查的中转载台及快检方法。

背景技术：

1、现有的硅片人工检查的中转载台及快检方法，通常能使硅片随着承载台的转动而旋转，由于需要对硅片的正面和背面进行反复观察，频繁用手翻动硅片不仅容易造成污染，还容易造成划伤，缺乏在不污染、划伤硅片的情况下能对硅片进行多个角度翻转的结构，操作不便，因此，有必要提供硅片人工检查的中转载台及快检方法解决上述技术问题。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本发明提供了硅片人工检查的中转载台及快检方法，解决了通常能使硅片随着承载台的转动而旋转，由于需要对硅片的正面和背面进行反复观察，频繁用手翻动硅片不仅容易造成污染，还容易造成划伤，缺乏在不污染、划伤硅片的情况下能对硅片进行多个角度翻转的结构，操作不便的问题。

2、为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：硅片人工检查的中转载台，包括透明放置箱，所述透明放置箱的内腔底部中间转动设置有中转轴，所述中转轴的顶部固定设置有承载台，所述透明放置箱的底部固定设置有伺服电机，所述承载台的顶部外侧一圈均匀设置有若干用于夹持待检查硅片的硅片限位机构，所述透明放置箱的内腔顶部中间固定设置有衔接竖轴，所述衔接竖轴的底部固定设置有齿盘，所述透明放置箱的前端通过铰链设置有透明密封门，所述硅片限位机构包括支杆轴，所述支杆轴底部转动连接在承载台的顶部，所述支杆轴的外部固定套设有第一齿轮，所述支杆轴的顶部固定设置有顶板，所述顶板的顶部两侧均固定设置有侧板，其中一个所述侧板的上部贯穿有第一限位夹板组件，另一个所述侧板的上部贯穿有第二限位夹板组件，所述第一限位夹板组件与第二限位夹板组件之间设置有硅片。

3、优选的，所述伺服电机的输出轴贯穿透明放置箱的底部且与中转轴的底部固定连接，所述齿盘位于承载台的正上方，所述透明放置箱的右侧前端固定设置有控制面板。

4、优选的，所述第一限位夹板组件包括第一横轴，所述第一横轴贯穿对应侧板的上部，所述第一横轴靠近第二限位夹板组件的一端转动设置有第一弧形夹板，所述第一弧形夹板靠近第二限位夹板组件的一侧固定设置有第一防滑橡胶垫，所述第一横轴远离第一弧形夹板的一端固定设置有拉块，所述第一横轴的外部套设有第一弹簧，所述第一弹簧固定连接在拉块与相邻侧板之间。

5、优选的，所述第二限位夹板组件包括第二横轴，所述第二横轴贯穿对应侧板的上部，所述第二横轴靠近第一限位夹板组件的一端固定设置有第二弧形夹板，所述第二弧形夹板靠近第一限位夹板组件的一侧固定设置有第二防滑橡胶垫。

6、优选的，所述第二横轴的外部固定套设有第二齿轮，所述第二横轴远离第二弧形夹板的一端固定设置有旋拧块，所述第二齿轮的下方设置有调节板，所述调节板与相邻侧板的侧壁固定连接，所述调节板的顶部开设有滑槽，所述滑槽的内部滑动设置有滑块。

7、优选的，所述滑块的顶部固定设置有齿条，所述滑块与滑槽的侧壁之间通过第二弹簧固定连接，所述齿条的顶部与第二齿轮的底部相啮合。

8、本发明还提供了硅片人工检查的中转载台的快检方法，具体方法包括以下步骤：

9、步骤一、打开透明密封门，对经过最前方的硅片进行检查，过程中由于伺服电机工作，带动中转轴、承载台以及硅片限位机构逆时针转动，其中第一齿轮与齿盘啮合，第一齿轮、顶板以及硅片随之进行自转，当硅片转动到最前方，使伺服电机暂停工作，接着对最前方硅片限位机构中的硅片进行角度调节；

10、步骤二、过程中先将齿条向靠近侧板的一侧推动，解除齿条与第二齿轮之间的锁定，然后转动旋拧块，使第二弧形夹板、硅片以及第一弧形夹板随之转动，过程中对翻动的硅片进行检查，检查结束使硅片恢复原始位置；

11、步骤三、接着松开对齿条的推动，在第二弹簧的弹性作用下，齿条恢复原位与第二齿轮相啮合，实现对第二齿轮位置的锁定，即实现对硅片位置的锁定，过程中从多个角度对硅片的正面和背面进行观察，再次启动伺服电机，同理对下一个硅片限位机构中的硅片进行检查。

12、优选的，所述第一齿轮与齿盘相啮合。

13、有益效果

14、本发明提供了硅片人工检查的中转载台及快检方法。与现有技术相比具备以下有益效果：

15、1、硅片人工检查的中转载台及快检方法，通过第一齿轮、第一限位夹板组件、第二限位夹板组件以及齿盘之间的相互配合，当硅片转动到前方，调节第二限位夹板组件就能翻转硅片，无需用手触摸硅片进行翻动，实现对硅片的多个角度翻转，对硅片的正面和背面进行反复观察，同时能避免硅片造成污染和划伤。

16、2、硅片人工检查的中转载台及快检方法，通过中转轴、承载台、硅片限位机构以及齿盘之间的相互配合，能使硅片进行公转的同时还能进行自转，可以从多个角度对硅片的正面和背面进行反复观察，操作方便，提高了人工检查的效率。

17、3、硅片人工检查的中转载台及快检方法，通过第一弧形夹板、第一防滑橡胶垫、第二弧形夹板以及第二防滑橡胶垫之间的相互配合，由于第一防滑橡胶垫和第二防滑橡胶垫均具有弹性，使得第一弧形夹板和第二弧形夹板相互配合能夹持多种尺寸的硅片，适用范围广。

技术特征：

1.硅片人工检查的中转载台，包括透明放置箱(1)，其特征在于：所述透明放置箱(1)的内腔底部中间转动设置有中转轴(2)，所述中转轴(2)的顶部固定设置有承载台(3)，所述透明放置箱(1)的底部固定设置有伺服电机(4)，所述承载台(3)的顶部外侧一圈均匀设置有若干用于夹持待检查硅片的硅片限位机构(5)，所述透明放置箱(1)的内腔顶部中间固定设置有衔接竖轴(6)，所述衔接竖轴(6)的底部固定设置有齿盘(7)，所述透明放置箱(1)的前端通过铰链设置有透明密封门(9)；

2.根据权利要求1所述的硅片人工检查的中转载台，其特征在于：所述伺服电机(4)的输出轴贯穿透明放置箱(1)的底部且与中转轴(2)的底部固定连接，所述齿盘(7)位于承载台(3)的正上方，所述透明放置箱(1)的右侧前端固定设置有控制面板(8)。

3.根据权利要求1所述的硅片人工检查的中转载台，其特征在于：所述第一限位夹板组件(55)包括第一横轴(551)，所述第一横轴(551)贯穿对应侧板(54)的上部，所述第一横轴(551)靠近第二限位夹板组件(56)的一端转动设置有第一弧形夹板(552)，所述第一弧形夹板(552)靠近第二限位夹板组件(56)的一侧固定设置有第一防滑橡胶垫(553)，所述第一横轴(551)远离第一弧形夹板(552)的一端固定设置有拉块(554)，所述第一横轴(551)的外部套设有第一弹簧(555)，所述第一弹簧(555)固定连接在拉块(554)与相邻侧板(54)之间。

4.根据权利要求3所述的硅片人工检查的中转载台，其特征在于：所述第二限位夹板组件(56)包括第二横轴(561)，所述第二横轴(561)贯穿对应侧板(54)的上部，所述第二横轴(561)靠近第一限位夹板组件(55)的一端固定设置有第二弧形夹板(562)，所述第二弧形夹板(562)靠近第一限位夹板组件(55)的一侧固定设置有第二防滑橡胶垫(563)。

5.根据权利要求4所述的硅片人工检查的中转载台，其特征在于：所述第二横轴(561)的外部固定套设有第二齿轮(564)，所述第二横轴(561)远离第二弧形夹板(562)的一端固定设置有旋拧块(565)，所述第二齿轮(564)的下方设置有调节板(566)，所述调节板(566)与相邻侧板(54)的侧壁固定连接，所述调节板(566)的顶部开设有滑槽(567)，所述滑槽(567)的内部滑动设置有滑块(568)。

6.根据权利要求5所述的硅片人工检查的中转载台，其特征在于：所述滑块(568)的顶部固定设置有齿条(569)，所述滑块(568)与滑槽(567)的侧壁之间通过第二弹簧(5610)固定连接，所述齿条(569)的顶部与第二齿轮(564)的底部相啮合。

7.实施权利要求6所述硅片人工检查的中转载台的快检方法，其特征在于：该方法包括以下步骤：

8.根据权利要求7所述的硅片人工检查的中转载台的快检方法，其特征在于：所述第一齿轮(52)与齿盘(7)相啮合。

技术总结
本发明公开了硅片人工检查的中转载台及快检方法，包括透明放置箱，所述透明放置箱的内腔底部中间转动设置有中转轴，本发明涉及中转载台技术领域。该硅片人工检查的中转载台及快检方法，通过第一齿轮、第一限位夹板组件、第二限位夹板组件以及齿盘之间的配合，当硅片转动到前方，调节第二限位夹板组件就能翻转硅片，无需用手触摸硅片进行翻动，实现对硅片的多个角度翻转，对硅片的正面和背面进行反复观察，同时能避免硅片造成污染和划伤，通过中转轴、承载台、硅片限位机构以及齿盘之间的相互配合，能使硅片进行公转的同时还能进行自转，可以从多个角度对硅片的正面和背面进行反复观察，操作方便，提高了人工检查的效率。

技术研发人员：杨自立,李鹏,唐鸿钦,包亚平
受保护的技术使用者：杭州中欣晶圆半导体股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/24