粒子束检测方法、存储介质和电子设备与流程

本发明涉及电学测量，尤其涉及一种粒子束检测方法、存储介质和电子设备。

背景技术：

1、扫描电镜的粒子枪可以发出具有蚀刻效果的粒子束，用于进行蚀刻作业。

2、粒子束的密度特征会影响样品上加工点的孔径和缝宽的蚀刻效果，例如，密度较低的粒子束能量较小，缝宽较浅。因此在蚀刻作业中需要控制粒子枪发射的粒子束的密度条件，以保证蚀刻效果符合预期。

3、相关技术中，虽然可以事先设置粒子枪的与密度相关的工作参数，对粒子束进行控制，但是实际发射的粒子束存在散射、环境因素等不确定影响，其包括的粒子可能减少，造成实际产生的粒子束与上述工作参数的设置不同，因此，需要对粒子束进行密度检测。

技术实现思路

1、本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本发明的一个目的在于提出一种粒子束检测方法、存储介质和电子设备，以实现对粒子束进行密度检测。

2、根据本发明实施例的第一方面，提供了一种粒子束检测方法，应用于粒子束检测系统，所述粒子束检测系统包括：粒子源、偏转电极、法拉第杯；所述粒子束检测方法包括：

3、在所述偏转电极引导所述粒子源发射的粒子束运动至所述法拉第杯的情况下，确定所述法拉第杯检测到的电流的电流参数和所述粒子束检测系统的状态参数；

4、基于所述电流参数、所述状态参数、所述粒子束的截面积，确定所述粒子束的密度特征数据；

5、判断所述密度特征数据是否满足预设的密度条件，得到检测结果。

6、根据本发明实施例的第二方面，提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时，实现上述粒子束检测方法。

7、根据本发明实施例的第三方面，提供了一种电子设备包括：存储器、处理器；所述存储器上存储有计算机程序，所述计算机程序被所述处理器执行时，实现上述粒子束检测方法。

8、本发明实施例提供的方案中，粒子源发射的粒子束通过偏转电极的引导，运动至法拉第杯，从而能够实现粒子束检测，并且，基于电流参数、状态参数、粒子束的截面积，能够在实际检测到粒子束运动的情况下获得粒子束的密度特征数据，而不仅仅通过预设的工作参数获得，使得所得密度特征数据表示实际工作状态下的密度特征，因而能够实时地捕捉粒子束系统中产生的粒子束的密度特征的变化，因此，可以较为准确地实现对粒子束的密度检测。

9、本发明附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

技术特征：

1.一种粒子束检测方法，其特征在于，应用于粒子束检测系统，所述粒子束检测系统包括：粒子源、偏转电极、法拉第杯；所述粒子束检测方法包括：

2.根据权利要求1所述的粒子束检测方法，其特征在于，所述状态参数包括所述粒子束的运动速度；

3.根据权利要求1所述的粒子束检测方法，其特征在于，所述状态参数包括表示所述偏转电极的电压变化的电压增量，所述电流参数包括表示所述法拉第杯检测到的电流变化的电流增量；

4.根据权利要求1所述的粒子束检测方法，其特征在于，所述状态参数包括表示所述法拉第杯和所述偏转电极之间的距离变化的距离增量，所述电流参数包括表示所述法拉第杯检测到的电流变化的电流增量；

5.根据权利要求1所述的粒子束检测方法，其特征在于，所述法拉第杯包括检测器和束流通孔；相对于所述检测器，所述束流通孔靠近所述粒子枪的出口。

6.根据权利要求5所述的粒子束检测方法，其特征在于，所述粒子束检测系统还包括光阑；所述光阑包括多个孔径不同的光阑孔；

7.根据权利要求6所述的粒子束检测方法，其特征在于，所述目标粒子束与所述法拉第杯的接触面积基于所述目标粒子束的截面积以及所述目标粒子束的散射范围确定。

8.根据权利要求7所述的粒子束检测方法，其特征在于，所述目标粒子束的散射范围按照以下方式确定：

9.根据权利要求8所述的粒子束检测方法，其特征在于，所述基于所述目标粒子束的运动速度、宽度确定表示所述，目标粒子束散射性大小的参数阈值，包括：

10.根据权利要求8所述的粒子束检测方法，其特征在于，所述基于所述目标粒子束的运动速度、宽度确定表示所述目标粒子束散射性大小的参数阈值，包括：

11.根据权利要求1所述的粒子束检测方法，其特征在于，所述法拉第杯与所述偏转电极、所述粒子源位于同一粒子枪内。

12.根据权利要求2所述的粒子束检测方法，其特征在于，所述运动速度按照以下方式获得：

13.根据权利要求12所述的方法，其特征在于，所述基于所述目标加速度、所述第一距离、所述偏转电极的长度、第二距离，确定所述粒子束的运动速度，包括：

14.根据权利要求12所述的方法，其特征在于，在所述第一距离为预设的目标距离的情况下，所述获得所述偏转电极的目标电压值，包括：

15.根据权利要求12所述的方法，其特征在于，在所述目标电压值为预设的电压值的情况下，所述获得所述偏转电极与所述法拉第杯的第一距离，包括：

16.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时，实现如权利要求1-15中任一项所述的粒子束检测方法。

17.一种电子设备，其特征在于，包括：存储器、处理器；所述存储器上存储有计算机程序，所述计算机程序被所述处理器执行时，实现如权利要求1-15中任一项所述的粒子束检测方法。

技术总结
本发明公开了一种粒子束检测方法、存储介质和电子设备，应用于粒子束检测系统，所述粒子束检测方法包括：在所述偏转电极引导所述粒子源发射的粒子束运动至所述法拉第杯的情况下，确定所述法拉第杯检测到的电流的电流参数和所述粒子束检测系统的状态参数；基于所述电流参数、所述状态参数、所述粒子束的截面积，确定所述粒子束的密度特征数据；判断所述密度特征数据是否满足预设的密度条件，得到检测结果。应用本发明实施例提供的方案能够对粒子束进行密度检测。

技术研发人员：陈禹滔,徐龙泉,曹峰,张伟
受保护的技术使用者：国仪量子技术（合肥）股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/24