一种可防止晶片磨损的晶片夹持机构的制作方法

本技术涉及半导体加工，具体为一种可防止晶片磨损的晶片夹持机构。

背景技术：

1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨、抛光、切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，晶圆在半导体集成领域有重要作用，在晶圆加工输送过程中，为防止晶圆碰撞损伤，基本采用夹持工具对晶圆进行夹持固定后再进行输送，但现有的夹持设备夹持固定晶圆时，会对晶圆表面施加一定的夹持力度，很容易导致晶圆表面受到磨损，影响后续使用。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种可防止晶片磨损的晶片夹持机构，解决了现今存在的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种可防止晶片磨损的晶片夹持机构，包括固定台，所述固定台的内侧滑动卡接有输送板，所述输送板的顶部设置有放置板，所述放置板的顶部开设有放置槽，所述放置槽的尺寸与待输送晶圆的尺寸吻合，所述放置板的顶部且位于放置槽的外侧对称开设有滑动槽，所述滑动槽的内侧滑动连接有滑动块，所述滑动块的顶部固定安装有弧形挡块，所述弧形挡块滑动连接在放置板的顶部且可覆盖在放置槽的上方，所述弧形挡块的底端固定安装有橡胶垫。

3、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述放置板内侧的底部转动连接有转动杆，所述转动杆的外侧缠绕有牵引绳，所述放置板的内侧滑动连接有传动块，所述牵引绳远离转动杆的一端固定安装在传动块的侧面，所述滑动槽的内侧开设有连通槽，所述滑动块的底部穿过连通槽与传动块固定相连，所述传动块与放置板的内侧之间固定安装有拉伸弹簧。

4、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述转动杆的底部固定安装有方形杆，所述输送板的内侧转动连接有传动齿轮，所述传动齿轮的中心位置开设有方形孔，所述方形杆的底端贯穿放置板与输送板并插接在方形孔内。

5、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述输送板的外侧且位于放置板的侧面开设有调节槽，所述调节槽的内侧滑动连接有螺杆，所述螺杆的底端延伸至输送板的内侧且固定安装有衔接杆，所述衔接杆的外侧固定安装有与传动齿轮啮合的齿条，所述齿条滑动连接在输送板的内侧。

6、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述螺杆的顶部延伸至输送板的上方且螺纹套接有螺帽，所述螺帽可与输送板的顶部贴合。

7、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述输送板的顶部开设有定位槽，所述放置板的底部均匀固接有定位柱，所述定位柱卡接在定位槽的内侧。

8、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述放置板有多个且均匀分布在输送板的顶部。

9、与现有技术相比，本实用新型提供了一种可防止晶片磨损的晶片夹持机构，具备以下有益效果：

10、1、该一种可防止晶片磨损的晶片夹持机构，通过将待输送晶圆放入放置槽内，推动螺杆带动衔接杆与齿条运动，当弧形挡块覆盖在晶圆的顶部时，转动螺帽，使得螺帽的底端与输送板的顶部紧密贴合，即可将螺杆固定，进而完成对弧形挡块的固定，使得弧形挡块底端的橡胶垫与晶圆顶部多处贴合，如此，即可将晶圆固定在放置槽的内侧，且不会对晶圆表面产生磨损，提高晶圆输送过程中的安全性。

11、2、该一种可防止晶片磨损的晶片夹持机构，通过定位柱与定位槽的卡接，可将放置板安装在输送板的顶部且在安装放置板时，方形杆会插接进传动齿轮中心位置处的方形孔内，因此，当需要输送不同尺寸的晶圆时，只需更换开设有相应尺寸放置槽的放置板即可，无需对输送板进行过多调整，如此可节省大量的输送成本，提高设备的灵活度与适应性。

技术特征：

1.一种可防止晶片磨损的晶片夹持机构，包括固定台（1），其特征在于：所述固定台（1）的内侧滑动卡接有输送板（2），所述输送板（2）的顶部设置有放置板（15），所述放置板（15）的顶部开设有放置槽（18），所述放置槽（18）的尺寸与待输送晶圆的尺寸吻合，所述放置板（15）的顶部且位于放置槽（18）的外侧对称开设有滑动槽（16），所述滑动槽（16）的内侧滑动连接有滑动块（20），所述滑动块（20）的顶部固定安装有弧形挡块（17），所述弧形挡块（17）滑动连接在放置板（15）的顶部且可覆盖在放置槽（18）的上方，所述弧形挡块（17）的底端固定安装有橡胶垫。

2.根据权利要求1所述的一种可防止晶片磨损的晶片夹持机构，其特征在于：所述放置板（15）内侧的底部转动连接有转动杆（9），所述转动杆（9）的外侧缠绕有牵引绳（10），所述放置板（15）的内侧滑动连接有传动块（11），所述牵引绳（10）远离转动杆（9）的一端固定安装在传动块（11）的侧面，所述滑动槽（16）的内侧开设有连通槽（8），所述滑动块（20）的底部穿过连通槽（8）与传动块（11）固定相连，所述传动块（11）与放置板（15）的内侧之间固定安装有拉伸弹簧（12）。

3.根据权利要求2所述的一种可防止晶片磨损的晶片夹持机构，其特征在于：所述转动杆（9）的底部固定安装有方形杆（13），所述输送板（2）的内侧转动连接有传动齿轮（3），所述传动齿轮（3）的中心位置开设有方形孔，所述方形杆（13）的底端贯穿放置板（15）与输送板（2）并插接在方形孔内。

4.根据权利要求3所述的一种可防止晶片磨损的晶片夹持机构，其特征在于：所述输送板（2）的外侧且位于放置板（15）的侧面开设有调节槽（14），所述调节槽（14）的内侧滑动连接有螺杆（6），所述螺杆（6）的底端延伸至输送板（2）的内侧且固定安装有衔接杆（5），所述衔接杆（5）的外侧固定安装有与传动齿轮（3）啮合的齿条（4），所述齿条（4）滑动连接在输送板（2）的内侧。

5.根据权利要求4所述的一种可防止晶片磨损的晶片夹持机构，其特征在于：所述螺杆（6）的顶部延伸至输送板（2）的上方且螺纹套接有螺帽（7），所述螺帽（7）可与输送板（2）的顶部贴合。

6.根据权利要求1所述的一种可防止晶片磨损的晶片夹持机构，其特征在于：所述输送板（2）的顶部开设有定位槽，所述放置板（15）的底部均匀固接有定位柱（19），所述定位柱（19）卡接在定位槽的内侧。

7.根据权利要求1所述的一种可防止晶片磨损的晶片夹持机构，其特征在于：所述放置板（15）有多个且均匀分布在输送板（2）的顶部。

技术总结
本技术属于半导体加工技术领域，尤其为一种可防止晶片磨损的晶片夹持机构，包括固定台，所述固定台的内侧滑动卡接有输送板，所述输送板的顶部设置有放置板，所述放置板的顶部开设有放置槽，所述放置槽的尺寸与待输送晶圆的尺寸吻合，所述放置板的顶部且位于放置槽的外侧对称开设有滑动槽。该一种可防止晶片磨损的晶片夹持机构，通过将待输送晶圆放入放置槽内，推动螺杆带动衔接杆与齿条运动，当弧形挡块覆盖在晶圆的顶部时，转动螺帽，使得螺帽的底端与输送板的顶部紧密贴合，即可将螺杆固定，使得弧形挡块底端的橡胶垫与晶圆顶部多处贴合，可将晶圆固定在放置槽的内侧，且不会对晶圆表面产生磨损，提高晶圆输送过程中的安全性。

技术研发人员：孙伟
受保护的技术使用者：苏州文芯纳精密科技有限公司
技术研发日：20230207
技术公布日：2024/1/13