自动化晶圆清洗装置的制作方法

本技术涉及晶圆清洗设备，具体为自动化晶圆清洗装置。

背景技术：

1、晶圆的原始材料是硅，是指制作硅半导体电路所用的硅晶片。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。

2、硅晶圆片加工过程中表面附着有晶圆粉末，有机物、颗粒、金属杂质、自然氧化层、石英、塑料等污染物，影响硅晶原片的透光度，因此需要在出厂前对硅晶原片进行清洗。

3、但现有的自动化晶圆清洗装置缺乏对硅晶圆片的批量夹持部件，不利于提升硅晶圆片的清洗效率，基于此，本实用新型设计了自动化晶圆清洗装置，以解决上述问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供自动化晶圆清洗装置，以解决上述背景技术中提出的硅晶圆片的清洗效率有待提升的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：自动化晶圆清洗装置，包括清洗箱，所述清洗箱的内部安装有沥水槽，沥水槽的内部贯穿连接有方向调节轴，方向调节轴的一端与电机的输出端连接，方向调节轴的中间处固定连接有晶圆片定位槽，晶圆片定位槽的两侧连接有稳定架，稳定架的顶端胶合连接有弹性卡柱，清洗箱的两侧分别安装有滑轨，滑轨的内部贯穿连接有龙门架，龙门架的顶部安装有冲洗部件和烘干部件。

3、优选的，所述清洗箱的下端连接有储水槽，储水槽的底部连接有带阀门的排水管，所述储水槽的底部焊接有支撑架，支撑架为钢架。

4、优选的，所述清洗箱的顶部开口处焊接有对称的防水挡板，防水挡板与水平面所成夹角为六十度。

5、优选的，所述沥水槽包括围板和底面的滤过网，沥水槽的俯视投影轮廓与清洗箱的互成相似图形。

6、优选的，所述弹性卡柱为柱状的弹性硅胶，弹性卡柱的一端设置有圆角面，晶圆片定位槽内活动卡接有晶圆件，弹性卡柱与晶圆件的圆心贴合接触。

7、优选的，所述清洗箱的一侧固定有机架，电机的一端与机架的侧面固定。

8、优选的，所述冲洗部件包括旋转喷头，旋转喷头的顶部连接有缓存腔，缓存腔的顶部贯穿连接有输水管，龙门架的顶部中间处贯穿安装有滑槽，缓存腔与滑槽的滑动部固定。

9、优选的，所述烘干部件为烘干风机。

10、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

11、(1)本实用新型通过设置批量安装晶圆件的晶圆片定位槽，实现对晶圆件的批量清洗和烘干，弹性卡柱对晶圆件的夹持稳定，且夹持部件与晶圆件间的拆装操作简单、方便，有利于提升晶圆件的清洗效率；

12、(2)本实用新型的储水槽用于存储清洗后的污水，便于清洗后水体的集中收集，支撑架用于支撑清洗装置底部，防水挡板用于避免清洗水溅出清洗箱外，用于防水、挡水，滤过网能有效过滤大颗粒杂质，避免大颗粒杂质堵塞排水管道。

技术特征：

1.自动化晶圆清洗装置，包括清洗箱(1)，其特征在于：所述清洗箱(1)的内部安装有沥水槽(6)，沥水槽(6)的内部贯穿连接有方向调节轴(7)，方向调节轴(7)的一端与电机(12)的输出端连接，方向调节轴(7)的中间处固定连接有晶圆片定位槽(8)，晶圆片定位槽(8)的两侧连接有稳定架(9)，稳定架(9)的顶端胶合连接有弹性卡柱(10)，清洗箱(1)的两侧分别安装有滑轨(13)，滑轨(13)的内部贯穿连接有龙门架(14)，龙门架(14)的顶部安装有冲洗部件和烘干部件。

2.根据权利要求1所述的自动化晶圆清洗装置，其特征在于：所述清洗箱(1)的下端连接有储水槽(2)，储水槽(2)的底部连接有带阀门的排水管，所述储水槽(2)的底部焊接有支撑架(3)，支撑架(3)为钢架。

3.根据权利要求2所述的自动化晶圆清洗装置，其特征在于：所述清洗箱(1)的顶部开口处焊接有对称的防水挡板(101)，防水挡板(101)与水平面所成夹角为六十度。

4.根据权利要求1所述的自动化晶圆清洗装置，其特征在于：所述沥水槽(6)包括围板和底面的滤过网(601)，沥水槽(6)的俯视投影轮廓与清洗箱(1)的互成相似图形。

5.根据权利要求1所述的自动化晶圆清洗装置，其特征在于：所述弹性卡柱(10)为柱状的弹性硅胶，弹性卡柱(10)的一端设置有圆角面，晶圆片定位槽(8)内活动卡接有晶圆件(11)，弹性卡柱(10)与晶圆件(11)的圆心贴合接触。

6.根据权利要求1所述的自动化晶圆清洗装置，其特征在于：所述清洗箱(1)的一侧固定有机架(4)，电机(12)的一端与机架(4)的侧面固定。

7.根据权利要求1所述的自动化晶圆清洗装置，其特征在于：所述冲洗部件包括旋转喷头(17)，旋转喷头(17)的顶部连接有缓存腔(161)，缓存腔(161)的顶部贯穿连接有输水管(16)，龙门架(14)的顶部中间处贯穿安装有滑槽(15)，缓存腔(161)与滑槽(15)的滑动部固定。

8.根据权利要求7所述的自动化晶圆清洗装置，其特征在于：所述烘干部件为烘干风机(5)。

技术总结
本技术公开了晶圆清洗设备技术领域的自动化晶圆清洗装置，包括清洗箱，所述清洗箱的内部安装有沥水槽，沥水槽的内部贯穿连接有方向调节轴，方向调节轴的一端与电机的输出端连接，方向调节轴的中间处固定连接有晶圆片定位槽，晶圆片定位槽的两侧连接有稳定架，稳定架的顶端胶合连接有弹性卡柱，清洗箱的两侧分别安装有滑轨，滑轨的内部贯穿连接有龙门架，龙门架的顶部安装有冲洗部件和烘干部件。本技术通过设置批量安装晶圆件的晶圆片定位槽，实现对晶圆件的批量清洗和烘干，弹性卡柱对晶圆件的夹持稳定，且夹持部件与晶圆件间的拆装操作简单、方便，有利于提升晶圆件的清洗效率。

技术研发人员：李德平,强音
受保护的技术使用者：德赢创新（上海）半导体设备技术有限公司
技术研发日：20230220
技术公布日：2024/1/12